改进型晶圆预对准算法

随着半导体生产工艺的升级,在晶圆处理过程中需要对晶圆圆心进行更加准确的定位。传统的晶圆预对准系统采用的回转半径法、质心法以及圆最小二乘法无法有效避免测量误差引入的异常采样点问题。因此,本文在圆最小二乘法基础上,提出一种增加权重的改进型晶圆预对准算法,即在剔除干扰点的同时增加权重函数,在确定晶圆圆心坐标的同时,尽可能减少异常采样点对拟合结果的影响。

面向IC制造的硅片机器人传输系统综述

介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.

基于高精度预对准的硅片传输控制系统

高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对预对准方法的有效性进行了试验验证。然后,给出了硅片传输系统的构成和控制流程,并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的重定位环节进行了简要介绍。最后,给出了输片重复精度的试验结果。试验结果表明,在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度。

晶圆对心转台亚微米级径跳误差补偿方法

为了消除转台径跳误差对晶圆预对准台重复性定位精度的影响,提出径跳误差的在线检测与补偿方法。转台上方并与之一起旋转的心轴作为转台径跳的检测元件,电涡流传感器测量心轴径向距离,其测量值由固定误差和径跳误差组成,借助集合平均法或者转台径跳特性,离线求解固定误差,据此在线工作时从电涡流传感器数据中分离出径跳误差。利用该误差对激光位移传感器检测的晶圆边缘数据进行径跳误差补偿,分析误差特性,据此简化补偿算法。试验证明,径跳误差补偿方法的使用提高了系统的预对准精度,并最终使系统达到了微米级的定位精度要求。

晶圆预对准精确定位算法

针对IC制造工艺中传统的晶圆预对准控制系统预对准精度不高和占用空间较大的不足,提出了一种采用高精度激光位移传感器和低成本的透射式激光传感器的新型晶圆预对准系统,并结合该系统的特点提出了相应的晶圆预对准精确对位算法,而且进行了晶圆预对准重复性精度检测和实验验证.该系统用两种传感器数据融合的方式来检测晶圆的边缘,用质点系重心法确定晶圆形心和缺口位置,最终实现了微米级的晶圆预对准.该系统提高了对准算法的精度,减小了预对准台占用的实际空间,降低了成本.实验结果验证了该系统的有效性.

采用线阵型光学传感器的晶圆预对准方法

为提高晶圆圆心定位算法的效率和缺口定位算法的精度,设计了基于线阵型光学传感器的晶圆预对准装置。圆心定位采用改进的线性化最小二乘圆拟合方法,缺口定位采用Leven-berg-Marquardt算法。仿真结果表明,该方法可有效减少圆心定位算法的计算时间,缺口定位精度较现有定位方法提高近1倍。该方法可用于晶圆预对准的实际应用。

美国楔子战略与亚太联盟预阻

冷战结束以来,联盟与分化联盟的思维始终贯穿于美国历任政府的国家安全政策之中。特朗普就任美国总统之后,其外交安全战略虽尚未定型,但在国际安全层面仍然延续了联盟思维。本文认为,楔子战略是美国目前亚太战略的重要组成部分,其战略目标是在亚太地区实现联盟预阻,即致力于预先阻止亚太地区形成任何反对美国的潜在安全联盟或联合。楔子战略的具体运行机制主要依靠"选择性调适"型楔子战略的"认可"及"补偿"两种手段,对目标行为体施加分化压力,在利诱一方的同时施压另一方,并利用美国在特定国际政治议题上的立场,撬开并扩大目标行为体与相关国家之间的罅隙,从而获取战略利益。尽管中国奉行"结伴而不结盟"的外交政策,但美国基于威胁制衡理论及联盟预阻思维,仍然寻求在中国与其他亚太国家之间打入楔子,以谋求其自身在亚太地区地缘政治格局中的利益。对此,中国必须保持战略定力并有效应对。

全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究

提出了一种硅片传输系统的预对准算法,根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性,计算出圆心坐标和切边位置,实现硅片的预对准。经过实验验证,该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性。

一个分数阶四维超混沌系统的同步研究

本文对一个分数阶四维超混沌系统应用一步耦合法进行同步设计构造,并利用拉普拉斯终值定理从理论上证明了其同步的有效性,应用预校-估正法将分数阶系统离散化,用数值模拟仿真验证了理论分析的正确性,实现初值不同的分数阶超混沌系统的耦合同步。

Study of wafer pre-aligning approaches

Wafer pre-aligning system is an important component in IC manufacturing industry.A wafer pre-aligning platform with a CCD sensor is presented in this paper.The centering and notch detecting approaches are extended based on this platform. Least square circle fitting approach is adopted to calculate the center and radius of the wafer, and a formula for calculating the fitting error is derived. An approach called edge variation rate is also proposed to detect the range of wafer notch, and the fiducial is calculated by curve fitting approach. These approaches can improve the accuracy effectively as indicated by experiments.

从属侧施压:同盟强化还是同盟瓦解?——“进攻性楔子战略”成败的政治条件及其类型化研究

在研究同盟分化的议程中,关于“楔子战略”的类型化研究很多,但是关于不同类型“楔子战略”背后差异化的因果机制及其传导过程的研究却很少。“从属侧施压”是“进攻性楔子战略”的一个重要组成部分,它特指利用危机向特定类型敌对联盟中的次要盟友进行安全施压,进而促成敌对联盟内部关系紧张直至瓦解的一种同盟分化手段。通过对“从属侧施压”这一微观同盟理论各要素间共变关系的研究发现,大国间“现有权势对比”“权力变动趋势”和“权力盈亏态势判定”是决定“从属侧施压”战略实施效果的三个核心变量。同盟主导国在“实力较强”且“趋势焦虑”情势下介入盟友危机的意愿最强,反之则最弱。对于“实力较强但趋势占优”和“实力较弱且趋势焦虑”两种不确定情况,借助于“前景理论”对同盟主导国“权力盈亏态势”进行辅助判别,则具有较强的解释力。该理论的提出,不仅对现有“进攻性楔子战略”具体实施条件、时机把握与策略选择有着较强的现实指导意义,也有助于战略实施方避免因条件与时机误判而促成事与愿违的敌对同盟强化。

晶片传输系统中切边探测和预对准技术

介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。

光刻设备中硅片预对准的算法模型分析

分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。

楔子战略与联盟预阻

楔子战略在古今中外被频繁使用,但对其在理论和战略层面的研究尚显不足。楔子战略是联盟、国家行为体或次国家行为体为阻止潜在的敌对联盟形成或分化、破坏、瓦解已经形成的敌对联盟,综合运用政治、经济、军事等资源,采取对抗或调适等战略手段的艺术与科学。楔子战略具有长期性、间接性、慎武性、预防性、灵活性等特点。楔子战略主要以一种"反联盟战略"的姿态出现,其功能主要通过影响联盟关系特别是核心机制利益关系而实现。对楔子战略的评估需要考虑战略环境、战略目标、联盟关系三个层次的因素。将反事实推理与过程追踪相结合是目前检验楔子战略效果最为适宜的方法。联盟重组、联盟分化、联盟解除和联盟预阻是楔子战略的四大目标。作者通过对二战前夕德国和冷战初期美国的以联盟预阻为目标的楔子战略进行分析,揭示了楔子战略的重要作用和成败条件。展望未来,权力斗争不会很快从国际关系中消失,"集势以胜众"将成为各国获取竞争优势的重要法宝,研究楔子战略对于理解国际影响力、地区领导权、地区一体化竞争等问题具有重要借鉴意义。

楔子战略研究:回顾与评价——兼论对中国的政策启示

楔子战略是国际关系中的常见现象,旨在阻止潜在的对手联盟形成或分化削弱已经形成的对手联盟。以往对此研究主要基于制衡、战略和历史三种视角。制衡视角主要将楔子战略视为制衡失败解释的重要补充和外部制衡的重要方式;战略视角将楔子战略视为一种战略,研究相对比较零散,概念界定并不明晰;历史视角叙述了历史上有关楔子战略的大量案例,但缺乏对其理论性分析。未来对于楔子战略的研究需要采取理论与案例相结合路径,对楔子战略概念、作用机制和运作过程进行深入研究。