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微机械梁-膜结构的压力传感器 被引量：2
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作者 鲍敏杭 王言 于连忠 《传感技术学报》 CAS CSCD 1990年第2期1-7,共7页
本文提出了一种用于压阻压力传感器中的微机械梁膜结构.这种结构除有灵敏度高、线性好等优点外,还有其他优良性能,而工艺要求又较已有的各种结构为低.有限元素法的应力分析和实验结果证明了这种结构的优良性能.
关键词 压力传感器 微机械梁-膜结构
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