利用多层光刻胶工艺的准LIGA技术

ＬＩＧＡ技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对ＬＩＧＡ技术所存在的缺点，提出了一种利用多层光刻胶工艺的准ＬＩＧＡ技术。利用此技术，可以用普通光学曝光机将光刻图形转移到较厚的光刻胶上，而且深宽比可以做得很大。