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一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计
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作者 南敬昌 高飞 +3 位作者 李德润 翟雷应 李朝启 刘世泽 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期812-818,共7页
针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压... 针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压。分别使用HFSS和COMSOL对开关的射频性能和机械性能进行仿真,开关最终优化后,在8-12 GHz内,插入损耗为0.26~0.57 dB,隔离度大于31.30 dB。在10.1 GHz达到最优值,插入损耗为0.40 dB,隔离度为50.25 dB。开关电压在11V时就能够实现状态转换,开关的响应时间为18μs。此开关可与射频可重构器件结合,应用于新一代射频微波领域。 展开更多
关键词 射频微机械开关 ANSOFT HFSS COMSOL
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高频压电MEMS微镜设计与仿真
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作者 张浩 汪洋 武震宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期76-80,共5页
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方... 阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23 000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率。 展开更多
关键词 微机电系统 压电驱动 微镜阵列 高频
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静电式RF MEMS开关的可靠性 被引量:6
3
作者 张永华 曹如平 赖宗声 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第11期701-707,共7页
MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件。长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题。主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展。欧姆式开关通常由于黏附或接触电阻的增大而失效,电容式开... MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件。长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题。主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展。欧姆式开关通常由于黏附或接触电阻的增大而失效,电容式开关的主要失效机理则与电介质层的充电有关。接触材料的选择是决定欧姆开关可靠性最重要的一个因素,"主动断开/被动接触"MEMS开关适用于软金属材料欧姆接触的可靠性要求。改善电容式开关可靠性的途径是改善介电层、优化驱动电压波形等以减小介质层的充电。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统(rf mems) 开关 可靠性 欧姆接触 介质充电
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RF-MEMS谐振器和滤波器研究进展 被引量:1
4
作者 潘武 宋茂叶 +1 位作者 吴文雯 张雪莲 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期76-81,共6页
介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统(RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行讨论;分析RF-MEMS谐振器及滤波器设计和制造中的有关问题及其处理方法;RF-MEMS谐振器及滤波器性能优异,能... 介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统(RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行讨论;分析RF-MEMS谐振器及滤波器设计和制造中的有关问题及其处理方法;RF-MEMS谐振器及滤波器性能优异,能与其他器件实现片上集成,且与集成电路工艺兼容,在射频无线通信系统中的应用有着良好前景。 展开更多
关键词 射频微机电系统 微机械谐振器 综述 微机械滤波器
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基于RF MEMS开关的移相器设计 被引量:1
5
作者 陈华君 郭东辉 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期32-35,共4页
传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通... 传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通路,以实现从0°-180°步进22.5°的相移功能.仿真结果表明,该移相器在5.8 GHz时,插入损耗在-0.3--0.7 dB变化,输入回损低于-20 dB,相移功能正确. 展开更多
关键词 移相器 开关线式移相器 相控阵天线 射频微机电系统
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新型RF MEMS开关的动态表征
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作者 张永华 刘蕾 +2 位作者 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期118-122,140,共6页
一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(D... 一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动,开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20μs. 展开更多
关键词 微电子机械系统 射频开关 双稳态 动态测量
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基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制 被引量:3
7
作者 康中波 韩国威 +3 位作者 司朝伟 钟卫威 赵永梅 宁瑾 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第7期467-470,共4页
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接... 采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接两个结构尺寸和谐振频率完全相同的MEMS双端固支梁谐振器构成,MEMS谐振器的结构决定了滤波器的中心频率,弹性耦合梁的刚度决定了滤波器的带宽。在大气环境下测试器件的频响特性,得到中心工作频率为41.5MHz,带宽为3.5MHz,品质因数Q为11.8。 展开更多
关键词 射频微机电系统(rfmems) 滤波器 谐振原理 碳化硅 亚微米间隙
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RF MEMS开关的研究进展及其应用 被引量:12
8
作者 黄成远 张斌珍 +2 位作者 段俊萍 王雄师 徐永庆 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期652-659,共8页
射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性的成果,并对比了其结构特点及性能参数,指出国内RF MEM... 射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性的成果,并对比了其结构特点及性能参数,指出国内RF MEMS开关正向着小体积、宽频化、低驱动电压、高性能指标的方向发展。此外,还阐述了RF MEMS开关在多位移相器、可调滤波器、可重构天线等方面的应用,其在与多器件的集成和联合运用中潜力巨大。最后,分析了现有的RF MEMS开关的发展瓶颈,并展望了其以设计新结构、探寻新材料、探索新工艺、多种驱动方式相结合、多器件相集成为未来发展新方向。研发制作新的RF MEMS开关及其功能系统必将会对射频微波领域造成巨大影响。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统(rf mems)开关 移相器 可调滤波器 可重构天线 微波
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RF MEMS开关的静电斥力驱动研究 被引量:5
9
作者 李梁 赵清华 于洋 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第7期15-17,21,共4页
针对射频微机电系统(RF MEMS)开关工作时因介质充电而发生"粘连"失效的问题,提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式,使RF MEMS开关在工作时介质层不存在电势差,从根源上消除介质充电。通过COMSOL仿真软件,分析了... 针对射频微机电系统(RF MEMS)开关工作时因介质充电而发生"粘连"失效的问题,提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式,使RF MEMS开关在工作时介质层不存在电势差,从根源上消除介质充电。通过COMSOL仿真软件,分析了静电斥力的产生机理,重点探究了静电斥力驱动结构中尺寸参数对可动极板位移的影响,并通过结构优化有效降低了驱动电压,为开关后续设计提供了参考。 展开更多
关键词 射频微机电系统 静电斥力 介质充电
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一种基于Au-TiW触点的提高RF MEMS开关寿命的方法 被引量:2
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作者 朱光州 王志斌 +1 位作者 吴倩楠 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第8期801-806,812,共7页
针对基于Au-Au触点的射频微电子机械系统(RF MEMS)开关寿命低的问题,提出了一种高寿命RF MEMS开关的研制方法。对比Au与其他金属的硬度、杨氏模量以及方阻,最终选择性能优良的TiW金属作为新触点材料,其制备参数为溅射功率300 W,气压5 mT... 针对基于Au-Au触点的射频微电子机械系统(RF MEMS)开关寿命低的问题,提出了一种高寿命RF MEMS开关的研制方法。对比Au与其他金属的硬度、杨氏模量以及方阻,最终选择性能优良的TiW金属作为新触点材料,其制备参数为溅射功率300 W,气压5 mTorr(1 mTorr=0.133 Pa),溅射时间1 568 s。设计了基于Au-TiW触点的RF MEMS开关工艺流程,给出了详细工艺参数,为进一步提高可靠性,设计了RF MEMS开关封装工艺流程并制作了封装样品。测试比较了基于Au-Au触点的RF MEMS开关与基于Au-TiW触点的RF MEMS开关的寿命与射频性能。结果表明,虽然基于Au-TiW触点的RF MEMS开关的射频性能有所降低,但开关寿命提高了两个数量级。该研究为提高RF MEMS开关的寿命提供了一种解决办法。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 射频(rf)开关 开关寿命 触点材料 可靠性
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RFMEMS技术对小型化雷达的作用 被引量:2
11
作者 魏恭 邓成 +1 位作者 鲍景富 黄伟 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2012年第12期68-73,共6页
该文采用至上而下的方式,介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统,将雷达子系统与RF MEMS技术联系起来,具体分析了应用于雷达的RF MEMS开关、移相器、滤波器和谐振器。同时,文中以开关和移相器为例,讨论了如何提高RFMEMS雷达的性能:修改空气... 该文采用至上而下的方式,介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统,将雷达子系统与RF MEMS技术联系起来,具体分析了应用于雷达的RF MEMS开关、移相器、滤波器和谐振器。同时,文中以开关和移相器为例,讨论了如何提高RFMEMS雷达的性能:修改空气桥形状可以提高RF MEMS收发(T/R)组件的功率处理能力,从而减少雷达相控阵的T/R组件数量;缩短转换时间的RF MEMS移相器能够应用于高速电扫描阵列;蜿蜒型5位分布式MEMS传输线移相器面积仅为5.36mm×4.72mm,相比传统移相器长度降低70%,易于实现雷达阵列的小型化。 展开更多
关键词 射频微机电系统 雷达 相控阵 收发组件 开关
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基于改进PSO算法优化RF MEMS功分器设计 被引量:1
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作者 回海生 刘建霞 梁军 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第4期254-260,272,共8页
为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32~36 GHz的RF MEMS功分器进行了建模仿真,并得到初始的电路设计参数。通过使用结合... 为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32~36 GHz的RF MEMS功分器进行了建模仿真,并得到初始的电路设计参数。通过使用结合柯西变异的改进的粒子群优化(PSO)算法对RF MEMS功分器的初始电路设计参数进行优化,采用矩阵实验室(MATLAB)软件和高频结构仿真器(HFSS)软件进行联合仿真实现优化过程,最终得到满足设计目标的RF MEMS功分器的性能曲线,以及对应的功分器优化后的电路设计参数。结果表明,优化后的RF MEMS功分器回波损耗比设计目标优化了2.5 dB,插入损耗优化了0.3 dB,隔离度达到了-20 dB的设计要求。最终通过仿真验证了改进的PSO算法能够快速有效地对RF MEMS功分器的电路参数进行优化达到RF MEMS功分器设计的性能要求。 展开更多
关键词 粒子群优化(PSO)算法 射频微电子机械系统(rf mems) 功分器 先进设计系统(ADS) 高频结构仿真器(HFSS)
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Sensitivity analysis of pull-in voltage for RF MEMS switch based on modified couple stress theory 被引量:1
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作者 Junhua ZHU Renhuai LIU 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2015年第12期1555-1568,共14页
An approximate analytical model for calculating the pull-in voltage of a stepped cantilever-type radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch is developed based on the Euler-Bernoulli beam an... An approximate analytical model for calculating the pull-in voltage of a stepped cantilever-type radio frequency (RF) micro electro-mechanical system (MEMS) switch is developed based on the Euler-Bernoulli beam and a modified couple stress theory, and is validated by comparison with the finite element results. The sensitivity functions of the pull-in voltage to the designed parameters are derived based on the proposed model. The sensitivity investigation shows that the pull-in voltage sensitivities increase/decrease nonlinearly with the increases in the designed parameters. For the stepped cantilever beam, there exists a nonzero optimal dimensionless length ratio, where the pull-in voltage is insensitive. The optimal value of the dimensionless length ratio only depends on the dimensionless width ratio, and can be obtained by solving a nonlinear equation. The determination of the designed parameters is discussed, and some recommendations are made for the RF MEMS switch optimization. 展开更多
关键词 stepped cantilever beam pull-in voltage modified couple stress theory radio frequency rf micro electro-mechanical system mems switch analytical solution sensitivity analysis
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RF MEMS国内外现状及发展趋势 被引量:5
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作者 焦海龙 赵广宏 +2 位作者 李文博 骆伟 金小锋 《遥测遥控》 2017年第5期1-10,61,共11页
概述基于微电子机械系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的各类射频RF(Radio Frequency)无源器件及微小型单片集成系统的概念与内涵及其应用市场,重点介绍RF MEMS电容电感、开关、移相器、谐振器、滤波器、微型同轴结构、天... 概述基于微电子机械系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的各类射频RF(Radio Frequency)无源器件及微小型单片集成系统的概念与内涵及其应用市场,重点介绍RF MEMS电容电感、开关、移相器、谐振器、滤波器、微型同轴结构、天线、片上集成微纳系统等的国内外研究现状、典型研究成果和产品、技术方案和微纳制造工艺及性能特点等,最后浅析RF MEMS领域的发展趋势。 展开更多
关键词 rfmems 微电子机械系统 射频 研究现状 发展趋势
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Small MEMS smart antenna for software radio fuze
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作者 韩琦 徐立新 丛琳 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2016年第2期159-163,共5页
The signal transceiver of the software radio fuze depends on the front-end radio frequency( RF) antenna. RF micro-electro-mechanical-system( MEMS) smart antennas have the capability of flexible beam rapid scanning... The signal transceiver of the software radio fuze depends on the front-end radio frequency( RF) antenna. RF micro-electro-mechanical-system( MEMS) smart antennas have the capability of flexible beam rapid scanning,multi-beam forming and so on,which can improve the ability of detecting,sensing and tracking multiple targets of the fuze. The small RF MEMS smart antenna consists of a 2 × 2 aperture coupled antenna array and six 1-bit MEMS phase shifters. Simulated results demonstrate that the antenna can complete beam steering angles of ± 30° in both X and Y plane at 17. 3 GHz. All components can be fabricated and monolithically integrated with MEMS technology which causes the system low cost and small volume. The RF MEMS smart antenna presents a good and important prospect for the development of the software radio fuze antenna. 展开更多
关键词 software radio fuze micro-electro-mechanical-system mems antenna smart anten-na monolithically-integrated
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RF MEMS Based Reconfigurable Rectangular Slotted Self Similar Antenna
16
作者 S. Anand J. Josephine Pon Gloria 《Circuits and Systems》 2016年第6期859-876,共18页
Wireless communication systems which require flexibility and reconfigurability in antenna systems faces main problems like antenna performance, size, weight and cost. A wide band Frequency Reconfigurable Rectangular S... Wireless communication systems which require flexibility and reconfigurability in antenna systems faces main problems like antenna performance, size, weight and cost. A wide band Frequency Reconfigurable Rectangular Slotted Self Similar Antenna has been proposed in this paper. The rectangular slotted patch is repeated for two iterations at different scales and is separated by means of Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems (RF MEMS) switches in order to provide reconfigurability. The antenna can operate in three frequency bandsi.e. K-band, Ku-band and Ka-band by altering the states of RF MEMS switches. To avoid fringing effects and to improve antenna performance, quarter wavelength (λ/4) spacing is required between the antenna and the ground plane. However, a Reconfigurable Antenna requires different λ/4 spacing which is difficult to achieve using a common ground plane. So the Frequency Reconfigurable antenna is integrated with high impedance surface (HIS) like Electronic Band Gap (EBG) structures to suppress standing waves and surface waves with a unified profile thickness of 1.75 mm. The overall dimension of the proposed antenna along with RF MEMS Switch, feed element and HIS is about 8 mm × 8 mm × 1.75 mm. The simulated results of the proposed antenna reveal enhancement in antennas performance like Voltage Standing Wave Ratio (VSWR), Front to Back Ratio (FBR) and bandwidth when it is placed over HIS EBG. Also the radiation patterns of the proposed antenna when placed over EBG shows the suppression of side lobe and backward radiation. 展开更多
关键词 frequency Reconfigurable Antenna radio frequency micro electro mechanical systems High Impedance Structure Self Similar Structures
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双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真 被引量:12
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作者 李建利 房建成 +1 位作者 盛蔚 董海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期484-491,共8页
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利... 提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利用马蒂厄方程分析了双端音叉谐振器的运动数学表达式及陀螺仪标度因数方程。ANSYS分析表明:谐振器固有谐振频率为4.0431×106Hz;在谐振器端部施加1×106Pa预载荷后,谐振频率偏移量为20.7 kHz。仿真结果验证了理论推导的正确性。该陀螺仪减少了振动噪声及能量损耗,消除了外界共模加速度引起的误差。 展开更多
关键词 微机电系统 陀螺仪 双质量块 双端音叉谐振器 频率输出
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MEMS陀螺仪芯片级温控系统的设计 被引量:5
18
作者 曹慧亮 杨波 +2 位作者 徐露 李宏生 王寿荣 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期55-59,共5页
为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Z... 为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Ziegler-Nichols经验参数法,确定了PID参数并进行系统仿真,验证了控制系统的快速性和稳定性.最后,结合模型和仿真参数设计了温控电路,并通过温度实验得到了微热敏电阻的温度特性曲线.结果显示:温控系统可将表头内温度控制在设定温度点附近;表头腔内温度和驱动模态谐振频率在-20~60℃范围内的变化量分别由温控前的78.453℃和3.76 Hz下降到温控后的4.949℃和0.48 Hz,由此验证了芯片级温控技术的可行性. 展开更多
关键词 芯片级温控 mems陀螺仪 温度模型 谐振频率
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电容式MEMS器件模态频率的电学测试方法研究 被引量:6
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作者 侯占强 肖定邦 +1 位作者 江平 吴学忠 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期12-14,共3页
针对电容式MEMS器件,提出了一种基于调制解调原理的模态频率测试方法,详细介绍了该测试方法的测试原理和测试系统的组成。利用Ansys对某插齿式微加速度计进行了模态仿真分析,分析得到的模态频率为3 941 Hz,利用该测试方法对该微加速度... 针对电容式MEMS器件,提出了一种基于调制解调原理的模态频率测试方法,详细介绍了该测试方法的测试原理和测试系统的组成。利用Ansys对某插齿式微加速度计进行了模态仿真分析,分析得到的模态频率为3 941 Hz,利用该测试方法对该微加速度计进行模态频率测试,得到的测试结果为3 440Hz。仿真与测试得到的结果接近,验证了该测试方法的有效性,产生偏差的主要原因可能是制造过程中的加工误差。 展开更多
关键词 微机电系统 模态频率 电容 调制解调
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MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用 被引量:4
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作者 刘梦然 简泽明 +1 位作者 张国军 张文栋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1387-1393,共7页
针对水听器的频响曲线会在透声帽谐振频率处出现共振峰,使水听器频响曲线失真,工作频带变窄等问题。本文考虑水听器的工作环境,通过研究流体-结构相互作用对透声帽谐振频率进行了分析。首先理论分析流体对结构模态频率的影响,分析显示... 针对水听器的频响曲线会在透声帽谐振频率处出现共振峰,使水听器频响曲线失真,工作频带变窄等问题。本文考虑水听器的工作环境,通过研究流体-结构相互作用对透声帽谐振频率进行了分析。首先理论分析流体对结构模态频率的影响,分析显示在流体作用下透声帽谐振频率会降低。然后利用LMS Virtual.lab Acoustics有限元软件对空气中和液体中的MEMS矢量水听器芯片和透声帽进行了模态分析;并利用振动平台和驻波管对有否进行透声帽封装的MEMS矢量水听器进行了测试以验证上述分析。验证结果显示:透声帽在水中的实际一阶谐振频率为550 Hz,与仿真结果非常吻合,表明该谐振频率可使水听器工作频带变窄。实验结果表明:对水听器中透声帽的流固耦合模态分析非常必要,通过准确地获得透声帽在实际状态下的固有频率并预测水听器的接收频响特性,可为改进封装结构提供理论依据,为进一步优化水听器奠定基础。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) mems矢量水听器 流固耦合 透声帽 谐振频率 频带
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