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电波流速仪在赵石窑水文站渠道的应用分析
1
作者 马忠平 《陕西水利》 2024年第5期14-16,共3页
赵石窑水文站渠道位于横山区响水镇无定河左岸,常年平均流量六点多立方米每秒,下游一公里有发电站一座,水流流态常年受其影响,水位变幅较大。平常测验使用的是旋浆式流速仪进行测验,由于北方地区泥沙大,漂浮物多,旋浆式流速仪易被水草缠... 赵石窑水文站渠道位于横山区响水镇无定河左岸,常年平均流量六点多立方米每秒,下游一公里有发电站一座,水流流态常年受其影响,水位变幅较大。平常测验使用的是旋浆式流速仪进行测验,由于北方地区泥沙大,漂浮物多,旋浆式流速仪易被水草缠绕,对测验影响较大,且测验时间较长。而电波流速仪属非接触水面式的,测验时间短且安全。对赵石窑水文站渠道电波流速仪法和旋浆式流速仪法进行比测分析,率定电波流速仪的水面系数。 展开更多
关键词 电波流速仪 分析 系数 赵石窑水文站
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直流电法与钻孔物探在采空区探查中的应用
2
作者 连晨光 《煤炭与化工》 CAS 2024年第6期63-66,共4页
由于彬长矿区水帘洞矿采煤工艺等问题,导致采空区分布不规律且无详细水文地质资料,严重威胁了煤矿高效安全生产。为了精准探查煤矿采空区的分布规律,避免灾害事故的发生,采用孔中雷达、孔中窥视、轨迹测量及孔间无线电波透视与常规直流... 由于彬长矿区水帘洞矿采煤工艺等问题,导致采空区分布不规律且无详细水文地质资料,严重威胁了煤矿高效安全生产。为了精准探查煤矿采空区的分布规律,避免灾害事故的发生,采用孔中雷达、孔中窥视、轨迹测量及孔间无线电波透视与常规直流电测深法相结合的方式进行探测,利用孔中物探勾画出采空区的边界,结合直流电测深对采空区的反映规律及钻孔揭露情况,圈定出5处采空区,为煤矿安全开采提供有力依据。 展开更多
关键词 采空区 直流电测深 孔中雷达 孔间无线电波透视
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某汽车收音机自动开机问题分析及解决方法
3
作者 喻威 欧阳杰 《汽车实用技术》 2024年第5期148-151,共4页
某汽车品牌收音机在零公里和售后阶段均存在自动开机的问题,会造成电瓶馈电等后果。文章从该收音机电路原理出发,利用示波器等工具测试了触发自动开机的原因,锁定了失效的电子元件,并对其进行了金相切片分析,找到了电子元件失效的原因... 某汽车品牌收音机在零公里和售后阶段均存在自动开机的问题,会造成电瓶馈电等后果。文章从该收音机电路原理出发,利用示波器等工具测试了触发自动开机的原因,锁定了失效的电子元件,并对其进行了金相切片分析,找到了电子元件失效的原因。根据电子元件的失效现象,进一步对其封装进行了研究,对各末端因素进行了逐一排查,对不利因素进行了优化。跟踪结果表明,元件的性能改善和良率提升,大幅降低了该收音机缺陷率,提升了客户满意度。文章对收音机电源电路的介绍和自动开机问题的分析方法为其他车载电器类故障提供了一些解决思路。 展开更多
关键词 汽车收音机 自动开机 电源电路 静电抑制器 ESD管漏电电流
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基于Julia加速的射频大地电磁法正演模拟与位移电流作用研究 被引量:2
4
作者 梅竹虚 原源 +2 位作者 周峰 周聪 张林成 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期153-167,共15页
射频大地电磁法(Radio-magnetotelluric, RMT)是浅地表电磁勘探的重要手段之一。由于勘探频段为10~300 kHz,其电磁场传播受地下介质介电常数的影响较大。传统准静态条件下的电磁响应严重制约RMT正演模拟精度,并进一步影响反演成像分辨... 射频大地电磁法(Radio-magnetotelluric, RMT)是浅地表电磁勘探的重要手段之一。由于勘探频段为10~300 kHz,其电磁场传播受地下介质介电常数的影响较大。传统准静态条件下的电磁响应严重制约RMT正演模拟精度,并进一步影响反演成像分辨率。针对这一问题,提出了一种基于Julia并行加速的全电流RMT电磁响应数值模拟方法,利用Julia的分布式计算将各频点的计算发送到不同进程进行求解,从而达到加速计算的目的,同时在计算中考虑位移电流的影响,提升正演的模拟精度。通过计算几种典型高阻/高介电模型的RMT响应,分析并总结了位移电流对射频段电磁场视电阻率及相位响应的影响规律。数值模拟结果表明:当浅部存在高阻覆盖层时,基于准静态假设条件计算的RMT视电阻率和相位响应偏高,且频率越高、覆盖层电阻率越大,响应偏差越大;对于煤炭采空区模型,RMT法能有效反映异常体位置,但忽略位移电流会在采空区及其附近引起较大计算误差;起伏地形的算例表明地形会覆盖地下异常体的RMT数值响应,尤其是地形拐角处;2种不同规模的并行算例对比证明了并行算法的高效性,且随着求解问题规模增大,并行算法效率也随之增大。本文研究提高了RMT的正演速度与精度,为后续快速反演算法的实现奠定基础,数值算例表明RMT法在煤田采空区等实际勘探中具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 射频大地电磁法 位移电流 有限元正演 并行计算 Julia语言
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内蒙古—京津冀直流工程投运后系统稳定特性影响分析 被引量:1
5
作者 郭琪 李丹丹 +5 位作者 闫桂红 杨志国 慕腾 雷轲 赵越 武海燕 《内蒙古电力技术》 2023年第5期95-100,共6页
内蒙古电网首个网对网直流工程内蒙古—京津冀2回±660kV直流及其配套工程投运后,对内蒙古电网特性产生影响,从短路电流、短路比、暂态稳定特性等方面进行了仿真分析,仿真结果表明,该直流工程接入后,电网短路电流水平整体上升,直流... 内蒙古电网首个网对网直流工程内蒙古—京津冀2回±660kV直流及其配套工程投运后,对内蒙古电网特性产生影响,从短路电流、短路比、暂态稳定特性等方面进行了仿真分析,仿真结果表明,该直流工程接入后,电网短路电流水平整体上升,直流送端电网为强交流系统,直流短路比较高,有利于内蒙古电网大规模新能源外送,但在网汇方式发生直流双极闭锁后,存在电压稳定问题,需合理切除配套电源,进一步加强网架结构建设。 展开更多
关键词 直流工程 短路电流 短路比 暂态稳定
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二维直流电阻率与射频大地电磁双参数聚类联合反演
6
作者 易柯 张志勇 +2 位作者 李曼 周峰 鄢毛毛 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期3893-3903,共11页
考虑到射频大地电磁(RMT)法反演介电常数具有可行性,但目前RMT与直流电阻率(DC)联合反演研究中均只进行了电阻率参数的反演,本文基于模糊C均值(FCM)聚类算法,开展了RMT与DC的电阻率与介电常数联合反演.首先,检验了介电常数对RMT观测的影... 考虑到射频大地电磁(RMT)法反演介电常数具有可行性,但目前RMT与直流电阻率(DC)联合反演研究中均只进行了电阻率参数的反演,本文基于模糊C均值(FCM)聚类算法,开展了RMT与DC的电阻率与介电常数联合反演.首先,检验了介电常数对RMT观测的影响,并通过DC与RMT法的电阻率参数反演,分析了联合反演相较于单一方法反演的优势;基于双数据集反演电阻率的优势,辅以FCM聚类的双参数联合约束,进一步实现最佳介电常数模型反演.理论试算表明,DC与RMT法的电阻率联合反演,可补足RMT浅部高阻分辨率不理想的缺点,同时改善DC法深部反演能力的不足;此外,通过FCM聚类的联合约束以及真实物性的引导,相较于单一RMT方法,DC与RMT的联合反演可恢复更准确的地下介电常数分布. 展开更多
关键词 射频大地电磁 直流电阻率 电阻率 介电常数 FCM聚类 联合反演
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落实《海上交通安全法》第23条打通航海保障“最后一公里”
7
作者 王丽娜 周海 《中国海事》 2023年第12期65-67,共3页
根据新《海上交通安全法》第23条中对海上无线电监测系统建设及信号监测的相关要求,结合海上无线电电磁环境现状,归纳总结出海上无线电干扰现象产生的原因,并站在行业主管单位的角度分析水上安全通信发展趋势和当前海上无线电监测面临... 根据新《海上交通安全法》第23条中对海上无线电监测系统建设及信号监测的相关要求,结合海上无线电电磁环境现状,归纳总结出海上无线电干扰现象产生的原因,并站在行业主管单位的角度分析水上安全通信发展趋势和当前海上无线电监测面临的技术难题。通过借鉴陆上无线电监管模式,结合航保资源优势,从海上通信盲区弱区查找、配全配齐专业装备、探索海上监测模式三方面提出海上无线电监测建议,以期全面提升水上电磁环境监管水平和效率,补齐航海保障“最后一公里”短板。 展开更多
关键词 海上无线电监测 电磁环境现状 通信弱区盲区 航海保障短板 水上安全通信发展
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中波广播转播台的防雷措施研究
8
作者 元旦加措 《中国科技纵横》 2023年第20期94-96,共3页
中波广播转播台是传输中波信号电磁波的重要场所,为广播节目的播出提供必要的服务。中波广播转播台在宽阔的地域上建造,受自然环境与气候条件的影响比较大,发生雷击的风险大。因此,需要采取有效的防雷措施,避免中波广播转播台发生雷击... 中波广播转播台是传输中波信号电磁波的重要场所,为广播节目的播出提供必要的服务。中波广播转播台在宽阔的地域上建造,受自然环境与气候条件的影响比较大,发生雷击的风险大。因此,需要采取有效的防雷措施,避免中波广播转播台发生雷击事件。基于此,说明中波广播转播台的防雷意义,介绍中波广播转播台的防雷现状,指明中波广播转播台的有效防雷措施。希望通过研究可以加强对中波广播转播台防雷措施的落实及优化,进一步提高中波广播转播台防雷效果,保证中波广播转播台安全运行。 展开更多
关键词 中波广播转播台 防雷 意义 现状 措施
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交流电晕笼无线电干扰试验校准方法的讨论 被引量:8
9
作者 王晓燕 邬雄 +2 位作者 赵建国 张广洲 陈豫朝 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期112-117,共6页
利用电晕笼试验可以获得不同型号导线的激发函数,进而估计导线电晕产生的无线电干扰水平。通常在进行无线电干扰试验之前要首先完成校准试验,获得校准因子、求取导线产生的全部射频电流,然后代入公式计算某种导线的激发函数。文中给出... 利用电晕笼试验可以获得不同型号导线的激发函数,进而估计导线电晕产生的无线电干扰水平。通常在进行无线电干扰试验之前要首先完成校准试验,获得校准因子、求取导线产生的全部射频电流,然后代入公式计算某种导线的激发函数。文中给出了两种校准试验方法:一种是电路分析方法,这种方法需要计算测量耦合回路各组成部分阻抗;另一种是试验方法,该方法采用稳定放电间隙完成对电晕源产生的电晕电流的测量。依据给出的两种方法,定义了理论校准因子、电容校准因子和试验校准因子3个概念。理论校准因子是电晕笼校准因子的上限,通过试验测量是无法得到的。电容校准因子可以通过测量导线与笼壁之间的电容获得,试验校准因子则需要通过放电试验结合电晕笼各部分的阻抗分析最终获得,电容校准因子和试验校准因子的结果可以相互印证。此外,还指出了影响校准试验因子精度的相关因素并与国际无线电干扰委员会提供的试验结果作了对比。 展开更多
关键词 电晕笼 无线电干扰 激发函数 电晕电流 校准因子 耦合回路
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高频电路辐射干扰快速分析与预估方法 被引量:24
10
作者 赵阳 罗永超 +4 位作者 颜伟 赵波 李世锦 陆婋泉 邱晓晖 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期466-471,共6页
针对高频电路辐射干扰测量时间长,实验配置成本较高的问题,提出一种基于射频电压和射频电流参数测量的高频电路电磁辐射干扰快速分析与预估方法。给出了相应的理论分析和实验系统设计。实验表明:电路射频参数测量与近场及电波暗室测量... 针对高频电路辐射干扰测量时间长,实验配置成本较高的问题,提出一种基于射频电压和射频电流参数测量的高频电路电磁辐射干扰快速分析与预估方法。给出了相应的理论分析和实验系统设计。实验表明:电路射频参数测量与近场及电波暗室测量结果吻合较好,说明基于射频电压探头测量可有效实现对电磁兼容措施改进前后高频电路的辐射干扰快速分析,另基于射频电流探头测量亦可实现对电路电磁辐射场的快速估计。该方法简单快速,对高频电路设计和性能改进有一定参考价值。 展开更多
关键词 电磁兼容 电磁辐射 高频电路 射频电压测量 射频电流测量
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有限长高压直流输电线路无线电干扰电磁场的计算方法研究 被引量:12
11
作者 谢莉 赵录兴 +1 位作者 陆家榆 鞠勇 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期96-102,共7页
首先计算单个电晕源在两端开路的短输电线路上产生的电晕电流,根据电晕电流计算整个线路在地面上方空间中产生的电磁场,然后假定电晕源均匀注入,分析多个电晕源在线路上产生的总电晕电流的空间电磁场,将几种方法的计算结果进行对比,并... 首先计算单个电晕源在两端开路的短输电线路上产生的电晕电流,根据电晕电流计算整个线路在地面上方空间中产生的电磁场,然后假定电晕源均匀注入,分析多个电晕源在线路上产生的总电晕电流的空间电磁场,将几种方法的计算结果进行对比,并与两种类型天线的测试结果进行对比,验证了在一定范围内采用无限长线路无线电干扰的方法计算试验线段的无线电干扰不会带来较大误差,可满足工程要求。 展开更多
关键词 无线电干扰 电晕电流 试验线段 高压直流输电
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类金刚石膜的结构与性能研究 被引量:14
12
作者 程宇航 吴一平 +2 位作者 陈建国 乔学亮 谢长生 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期452-457,共6页
用激光Raman谱和XRD谱对用直流射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率、内应力和直流电阻率的影响。结果表明:类金刚石膜是由sp2和sp3键组成的非晶态碳膜,当负... 用激光Raman谱和XRD谱对用直流射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率、内应力和直流电阻率的影响。结果表明:类金刚石膜是由sp2和sp3键组成的非晶态碳膜,当负偏压高于300V时,膜中sp3/sp2键的比值随负偏压的升高而降低。类金刚石膜的沉积速率与负偏压Vb成正比。膜内存在1~4.7GPa的压应力,随负偏压的升高而降低。膜的电阻率随负偏压的升高先增后降,这与膜中sp2/sp3的比值相对应。 展开更多
关键词 类金刚石膜 化学气相沉积 结构 性能 金刚石薄膜
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交流电晕笼无线电干扰试验校准系数研究 被引量:3
13
作者 裴春明 陈豫朝 +3 位作者 陈小月 蓝磊 肖国洲 文习山 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第24期6566-6572,共7页
电晕笼无线电干扰试验得到的导线激发函数应进行校准等效之后再应用于输电线路的无线电干扰计算中。校准系数通常通过校准试验获得,但校准实验的准确性受试验条件和环境的影响。若能通过理论分析代替校准试验得到较为精确的校准系数,会... 电晕笼无线电干扰试验得到的导线激发函数应进行校准等效之后再应用于输电线路的无线电干扰计算中。校准系数通常通过校准试验获得,但校准实验的准确性受试验条件和环境的影响。若能通过理论分析代替校准试验得到较为精确的校准系数,会更加经济和便捷。该文基于电路分析方法,建立电晕笼试验回路的分布参数模型,依据电晕放电脉冲在空间和时间上的独立性,通过求取放电点不同位置时校准系数的响应曲线计算得到校准系数,并与分段电容获得的理论校准系数进行对比分析。结果表明,校准系数的理论分析模型可以较好地应用于电晕笼试验和实际线路无线电干扰计算之间的等效,且兼具经济性和实用性。 展开更多
关键词 电晕笼 无线电干扰 电晕电流 激发函数 校准系数
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基于场线耦合理论的电爆装置射频感应电流仿真研究 被引量:9
14
作者 李贵兰 李国新 汪佩兰 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期265-269,共5页
针对有效天线口径法只能分析最危险情况下电爆装置射频安全性的不足,采用场线耦合理论进行一般情况下平行脚线电爆装置的射频危害分析。首先,分析射频危害能量与电爆装置的耦合机理。然后,在此基础上推导得到电爆装置射频感应电流的数... 针对有效天线口径法只能分析最危险情况下电爆装置射频安全性的不足,采用场线耦合理论进行一般情况下平行脚线电爆装置的射频危害分析。首先,分析射频危害能量与电爆装置的耦合机理。然后,在此基础上推导得到电爆装置射频感应电流的数学表达式。最后,通过数值仿真得到,对于一定的电爆装置物理参数,存在使感应电流最大的入射方向和入射频率;对于一定的电磁场入射条件,随着脚线间距的增加,感应电流变大,随着桥丝电阻的增大,感应电流变小。仿真结果表明,场线耦合理论可以为电爆装置射频危害分析提供一种新的方法。 展开更多
关键词 电爆装置 场线耦合 射频 感应电流 仿真
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锂离子电池容量的预测建模及其仿真研究 被引量:21
15
作者 李欣然 户龙辉 +1 位作者 吕超贤 胡京 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1733-1740,1746,共9页
锂离子电池因其优越性能在电动汽车领域和电网储能系统中有着广泛应用。准确预测电池容量变化,评估电池的健康状态(SoH)和荷电状态(SoC)对电池的安全使用、延长寿命及性能的充分发挥有关键的作用。锂电池容量变化主要由静态的存储容量... 锂离子电池因其优越性能在电动汽车领域和电网储能系统中有着广泛应用。准确预测电池容量变化,评估电池的健康状态(SoH)和荷电状态(SoC)对电池的安全使用、延长寿命及性能的充分发挥有关键的作用。锂电池容量变化主要由静态的存储容量衰减、动态的循环容量衰减和运行中的电流效应(电流倍率效应和恢复效应)三方面共同决定。从工程实用的角度、利用综合测辨的方法分别对上述三方面容量变化进行研究,建立容量预测模型,系统地提出了锂电池容量建模理论及实验方法,综合考虑了温度、电流倍率等因素的影响,通过实验辨识参数,从容量的角度给出锂电池SoH和SoC的计算方法。在Matlab/simulink建立模型,通过对比仿真验证了所建立的锂电池容量预测模型的准确度和工程实用性。 展开更多
关键词 锂离子电池 容量预测 存储容量衰减 循环容量衰减 电流效应动态变化 仿真建模
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驱动电流密度对低压容性射频鞘电势及离子动能的影响 被引量:2
16
作者 李志刚 丁玉成 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1241-1245,共5页
研究了离子轰击被加工材料表面的能量与射频驱动电流密度之间的关系.在Lieberman的低压容性射频等离子鞘模型基础上,考虑Bohm速度对应的鞘前电势差,将鞘前电势差与Lieberman的鞘内电势合并,发展了Lieberman的模型,并推出了总电势差与驱... 研究了离子轰击被加工材料表面的能量与射频驱动电流密度之间的关系.在Lieberman的低压容性射频等离子鞘模型基础上,考虑Bohm速度对应的鞘前电势差,将鞘前电势差与Lieberman的鞘内电势合并,发展了Lieberman的模型,并推出了总电势差与驱动电流密度的关系式.利用总鞘电势差计算了经时间平均的鞘电场加速后离子获得的动能,由于鞘电势差和平均离子动能及其增幅随电流密度的增加而增加,因此射频驱动电流密度对鞘电势差及平均离子动能起激励作用.通过实验,测量了时间平均鞘电势差及驱动电流密度值,实验结果与理论结果吻合较好,因此验证了理论分析的正确性. 展开更多
关键词 等离子鞘 射频 电流密度 电势 离子动能
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弱电流测量中的I-F变换电路 被引量:6
17
作者 董成富 苏弘 +2 位作者 邢建萍 李小刚 马晓莉 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期488-489,505,共3页
介绍了一种用于弱电流测量中的I-F变换电路,它将输入的电流信号直接变换为脉冲频率输出,然后送入计数器计数和送入计算机处理。并对其电路原理作了较详细的阐述。经过在现场检验和使用,该电路工作稳定可靠,灵敏度高,抗干扰能力强等特点... 介绍了一种用于弱电流测量中的I-F变换电路,它将输入的电流信号直接变换为脉冲频率输出,然后送入计数器计数和送入计算机处理。并对其电路原理作了较详细的阐述。经过在现场检验和使用,该电路工作稳定可靠,灵敏度高,抗干扰能力强等特点,得到了满意的结果。 展开更多
关键词 弱电流测量 I-F变换电路 灵敏度 抗干扰能力 辐射测量
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试验线段无线电干扰试测量方法仿真分析 被引量:10
18
作者 杨彬 张波 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期2978-2983,共6页
试验线段可直接用于研究输电线路无线电干扰特性,在国内外得到了较为广泛的应用。与实际输电线路不同,试验线段电晕产生的无线电干扰电流在端部会产生反射,需要研究短线与长线无线电干扰频谱间存在的关系,以保证测试结果和数据分析方法... 试验线段可直接用于研究输电线路无线电干扰特性,在国内外得到了较为广泛的应用。与实际输电线路不同,试验线段电晕产生的无线电干扰电流在端部会产生反射,需要研究短线与长线无线电干扰频谱间存在的关系,以保证测试结果和数据分析方法的有效性。为此,基于无线电干扰电流传播机理建立计算模型,验证了短线测量无线电干扰的有效性,研究了试验线段无线电干扰的测量方法和数据分析方法,分析了不同终端特性(开路、短路、接电容)等效以及测量点对无线电干扰测量的影响。分析表明,这些方法都可以用于测量无线电干扰电流和空间无线电干扰。短线频谱上极大值和极小值的包络线取平均值就可以得到同样电晕电流情况下实际输电线路无线电干扰频谱。 展开更多
关键词 特高压输电线路 电晕电流 无线电干扰 试验线段 长线段 开路
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射频电子源数值仿真及实验研究 被引量:4
19
作者 李兴达 张兴民 +2 位作者 李建鹏 张天平 孙新锋 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2394-2400,共7页
射频电子源以其结构简单、不易受污染、寿命长、瞬时启动等优点,可以作为离子和霍尔电推进的中和器,显著提升其寿命和性能。为了研究射频电子源的优化设计方法,基于放电室等离子体整体模型和非双极流动模型开展了射频电子源性能的仿真评... 射频电子源以其结构简单、不易受污染、寿命长、瞬时启动等优点,可以作为离子和霍尔电推进的中和器,显著提升其寿命和性能。为了研究射频电子源的优化设计方法,基于放电室等离子体整体模型和非双极流动模型开展了射频电子源性能的仿真评估,并对研制的1A级电子源样机开展了实验测试。研究结果显示:仿真与实验结果一致性较好,引出电子电流与收集电压、小孔直径、工质流率、射频功率相关,各参数相互耦合且存在最优组合,样机额定工作点下,电子源放电损耗为99W/A,工质利用率系数为11。 展开更多
关键词 电推进 电子源 感性耦合等离子体 整体模型 引出电流 射频
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类金刚石膜结构的红外分析 被引量:8
20
作者 程宇航 吴一平 +3 位作者 陈建国 乔学亮 谢长生 孙育斌 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期508-512,共5页
采用直流-射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜,用Fourier透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究.类金刚石膜中大部分碳原子以sp3组态存在.结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成sp3C—CH2,sp... 采用直流-射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜,用Fourier透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究.类金刚石膜中大部分碳原子以sp3组态存在.结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成sp3C—CH2,sp3C—CH3和sp2C—CH2基,其含量以sp3C—CH2基为主.增加Ar气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响是相似的,增大极板负偏压或Ar气的含量将减小类金刚石膜中sp3/sp2比值和H的含量以及CH2基的含量,同时增加薄膜的交联,减少聚合相的含量. 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 结构 红外光谱 气相沉积
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