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Surface segregation of InGaAs films by the evolution of reflection high-energy electron diffraction patterns 被引量:6
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作者 周勋 罗子江 +5 位作者 郭祥 张毕禅 尚林涛 周清 邓朝勇 丁召 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第4期428-431,共4页
Surface segregation is studied via the evolution of reflection high-energy electron diffraction (RHEED) patterns under different values of As4 BEP for InGaAs films. When the As4 BEP is set to be zero, the RHEED patt... Surface segregation is studied via the evolution of reflection high-energy electron diffraction (RHEED) patterns under different values of As4 BEP for InGaAs films. When the As4 BEP is set to be zero, the RHEED pattern keeps a 4x3/(nx3) structure with increasing temperature, and surface segregation takes place until 470 ℃ The RHEED pattern develops into a metal-rich (4x2) structure as temperature increases to 495℃. The reason for this is that surface segregation makes the In inside the InGaAs film climb to its surface. With the temperature increasing up to 515℃, the RHEED pattern turns into a GaAs(2x4) structure due to In desorption. While the As4 BEP comes up to a specific value (1.33 x 10-4 Pa-1.33 x 10-3 Pa), the surface temperature can delay the segregation and desorption. We find that As4 BEP has a big influence on surface desorption, while surface segregation is more strongly dependent on temperature than surface desorption. 展开更多
关键词 reflection high-energy electron diffraction InGaAs films surface segregation surface desorption
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Design of a novel correlative reflection electron microscope for in-situ real-time chemical analysis
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作者 Tian-Long Li Zheng Wei Wei-Shi Wan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第12期334-338,共5页
A novel instrument that integrates reflection high energy electron diffraction(RHEED),electron energy loss spectroscopy(EELS),and imaging is designed and simulated.Since it can correlate the structural,elemental,and s... A novel instrument that integrates reflection high energy electron diffraction(RHEED),electron energy loss spectroscopy(EELS),and imaging is designed and simulated.Since it can correlate the structural,elemental,and spatial information of the same surface region via the simultaneously acquired patterns of RHEED,EELS,and energy-filtered electron microscopy,it is named correlative reflection electron microscopy(c-REM).Our simulation demonstrates that the spatial resolution of this c-REM is lower than 50 nm,which meets the requirements for in-situ monitoring the structural and chemical evolution of surface in advanced material. 展开更多
关键词 reflection high energy electron diffraction(RHEED) electron energy loss spectroscopy(EELS) parallel detection energy-filtered electron microscopy
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Possible Relevance of the Allende Meteorite Conditions in Prebiotic Chemistry: An Insight into the Chondrules and Organic Compounds
3
作者 Alejandro Heredia Barbero Héctor G. Vázquez López +8 位作者 Adriana L. Meléndez López Jorge A. Cruz Castañeda Daniel Luna Laviada Karina E. Cervantes de la Cruz Victor Meza Laguna Vladimir A. Basiuk Ivonne Rosales Chávez Alicia Negrón Mendoza Sergio Ramos Bernal 《Advances in Biological Chemistry》 2023年第3期82-99,共18页
The study of the mineral and organic content of the Allende meteorite is important for our understanding of the molecular evolution of the universe as well as the ancient Earth. Previous studies have characterized the... The study of the mineral and organic content of the Allende meteorite is important for our understanding of the molecular evolution of the universe as well as the ancient Earth. Previous studies have characterized the magnetic minerals present in ordinary and carbonaceous chondrites, providing information on the evolution of magnetic fields. The interaction of organic compounds with magnetic minerals is a possible source of chemical diversity, which is crucial for molecular evolution. Carbon compounds in meteorites are of great scientific interest for a variety of reasons, such as their relevance to the origins of chirality in living organisms. This study presents the characterization of organic and mineral compounds in the Allende meteorite. The structural and physicochemical characterization of the Allende meteorite was accomplished through light microscopy, powder X-ray diffraction with complementary Rietveld refinement, Raman and infrared spectroscopy, mass spectrometry, scanning electron microscopy, and atomic force microscopy using magnetic signal methods to determine the complex structure and the interaction of organic compounds with magnetic Ni-Fe minerals. The presence of Liesegang-like patterns of chondrules in fragments of the Allende structure may also be relevant to understanding how the meteorite was formed. Other observations include the presence of magnetic materials and nanorod-like solids with relatively similar sizes as well as the heterogeneous distribution of carbon in chondrules. Signals observed in the Raman and infrared spectra resemble organic compounds such as carbon nanotubes and peptide-like molecules that have been previously reported in other meteorites, making the Mexican Allende meteorite a feasible sample for the study of the early Earth and exoplanetary bodies. 展开更多
关键词 Allende Meteorite Carbonaceous Chondrite Light Microscopy X-Ray diffraction with the Rietveld Method Raman Spectroscopy Attenuated Total reflectance Infrared Spectroscopy Mass Spectrometry Scanning electron Mi-croscopy Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy Magnetic Force Microscopy
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衰荡腔测量中的腔参数选择 被引量:6
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作者 易亨瑜 吕百达 +2 位作者 张凯 胡晓阳 万永兴 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期523-527,共5页
基于谐振腔失调灵敏度参量随腔长的变化关系,提出了一种衰荡腔,它是由共焦腔将腔长缩短为原来的0. 73得到的稳定腔。根据光束传输规律和失调腔矩阵方法,以及光腔衰荡法测量原理和曲线拟合方法,建立了腔长、腔镜角度失调下光腔衰荡法的... 基于谐振腔失调灵敏度参量随腔长的变化关系,提出了一种衰荡腔,它是由共焦腔将腔长缩短为原来的0. 73得到的稳定腔。根据光束传输规律和失调腔矩阵方法,以及光腔衰荡法测量原理和曲线拟合方法,建立了腔长、腔镜角度失调下光腔衰荡法的反射率测量模型。通过数值模拟,研究了这种稳定衰荡腔中,腔微小失调对反射率测量结果的影响,并与相同失调情况下共焦衰荡腔的测量结果进行了对比分析。结果表明,这种稳定腔用作衰荡腔,测量结果受腔镜角度失调影响较大,而受腔长失调影响小;其长度较短,便于工程应用;衍射损耗较小,测量精度高。 展开更多
关键词 光学测量 光腔衰荡 反射率 测量精度 腔镜角度失调 腔长失调
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PLD方法生长ZnO/Si异质外延薄膜的研究 被引量:4
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作者 赵杰 胡礼中 +4 位作者 王兆阳 李银丽 王志俊 张贺秋 赵宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1879-1882,共4页
用脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。RHEED和XRD测试表明,直接沉积在Si衬底上的ZnO薄膜为多晶薄膜,且薄膜的结晶质量随衬底温度的升高而下降。相比之下,生长在一低温同质缓冲层上的ZnO薄膜则展现出规则的斑点状RHEED图像,... 用脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。RHEED和XRD测试表明,直接沉积在Si衬底上的ZnO薄膜为多晶薄膜,且薄膜的结晶质量随衬底温度的升高而下降。相比之下,生长在一低温同质缓冲层上的ZnO薄膜则展现出规则的斑点状RHEED图像,说明它们都是外延生长的高质量ZnO薄膜。XRD与室温PL谱分析表明,外延ZnO薄膜的质量随衬底温度的升高得到明显的改善。在650℃生长的样品具有最好的结构和发光特性,其(002)衍射峰的半高宽为0.185°,UV峰的半高宽仅为86meV。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 反射式高能电子衍射 X射线衍射 光致发光
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应力对LaAlO_3/BaTiO_3超晶格结构及性能的影响 被引量:3
6
作者 李燕 郝兰众 +2 位作者 邓宏 张鹰 姬红 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期399-402,共4页
采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向SrTiO3或Nb:SrTiO3单晶基片上成功外延生长不同结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格。利用高能电子衍射技术和X射线衍射技术对LaAlO3/BaTiO3超晶格的生长过程和微结构进行了表征。发现由于LaAlO3和BaTiO3... 采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向SrTiO3或Nb:SrTiO3单晶基片上成功外延生长不同结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格。利用高能电子衍射技术和X射线衍射技术对LaAlO3/BaTiO3超晶格的生长过程和微结构进行了表征。发现由于LaAlO3和BaTiO3晶格常数的不匹配,在LaAlO3/BaTiO3超晶格中存在应变,该应变又对超晶格的铁电性能具有很大的影响。而不同的结构存在的应变不同,非对称结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格的应变随每个周期中LaAlO3层厚度的增加、BaTiO3层厚度的减少而增大,其剩余极化强度不仅未减少,反而增加。 展开更多
关键词 超晶格 反射式高能电子衍射 X射线衍射 剩余极化
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衬底温度对PLD法制备ZnO薄膜结构及发光特性的影响 被引量:4
7
作者 赵杰 胡礼中 +1 位作者 宫爱玲 刘维峰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期724-726,729,共4页
在60Pa的高氧压气氛中,用脉冲激光沉积法以Si(111)为衬底在不同温度下制备了ZnO薄膜。RHEED和XRD结果表明,所有样品都是c轴高度择优取向的多晶ZnO薄膜。随衬底温度的升高,ZnO薄膜(002)衍射峰的半高宽不断减小,从0.227~0.185&... 在60Pa的高氧压气氛中,用脉冲激光沉积法以Si(111)为衬底在不同温度下制备了ZnO薄膜。RHEED和XRD结果表明,所有样品都是c轴高度择优取向的多晶ZnO薄膜。随衬底温度的升高,ZnO薄膜(002)衍射峰的半高宽不断减小,从0.227~0.185°。对(002)衍射峰的2θ值分析表明,650℃下生长的ZnO薄膜几乎处于元应力的状态,而在较低或较高温度下生长的薄膜中都存在着一定程度的c轴压应力。室温PL谱测试说明在650℃生长的ZnO薄膜具有最强的紫外发射峰和最窄的UV峰半高宽(83meV)。在700℃得到的样品PL谱中,检测到一个位于3.25eV处的低能发射峰。经分析,该峰可能是来自于施主-受主对(DAP)的跃迁。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 反射式高能电子衍射 X射线衍射 光致发光
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一种新型Si电子束蒸发器的研制及其应用研究 被引量:16
8
作者 王科范 刘金锋 +4 位作者 邹崇文 徐彭寿 潘海滨 张西庚 王文君 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期75-78,共4页
我们成功地设计出一种新型的Si电子束蒸发器 ,并将它应用于Ge/Si(111)量子点的生长。由于采用悬臂式设计 ,它完全克服了高压短路的问题。电子束蒸发器的性能试验表明 ,稳定输出功率可以控制输出稳定的Si束流。应用这种电子束蒸发器可以... 我们成功地设计出一种新型的Si电子束蒸发器 ,并将它应用于Ge/Si(111)量子点的生长。由于采用悬臂式设计 ,它完全克服了高压短路的问题。电子束蒸发器的性能试验表明 ,稳定输出功率可以控制输出稳定的Si束流。应用这种电子束蒸发器可以在 70 0℃ ,成功沉积出平整的单晶Si薄膜。进一步的试验表明 ,在这种缓冲层表面可以自组装生长出Ge量子点。 展开更多
关键词 电子束蒸发 量子点 缓冲层 SI(111) 输出功率 薄膜 束流 自组装 单晶 表面
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LaAlO_3/BaTiO_3/SrTiO_3三色超晶格的RHEED原位监测 被引量:5
9
作者 秦文峰 熊杰 +4 位作者 朱俊 唐金龙 张鹰 罗文博 李言荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期508-511,共4页
采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的STO单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格。在超晶格薄膜生长过程中采用反射高能电子衍射(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格的生长过程进行了分析。通过对超晶格中各层RHEE... 采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的STO单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格。在超晶格薄膜生长过程中采用反射高能电子衍射(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格的生长过程进行了分析。通过对超晶格中各层RHEED图像分析,发现由于各层面内晶格失配的不同,超晶格各层生长特性有所区别。借助原子力显微镜(AFM)对超晶格表面形貌进行了表征,表明制备的超晶格具有原子级平整的表面。 展开更多
关键词 薄膜 LAO/BTO/STO三色超晶格 反射高能电子衍射
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Si(111)衬底上3C-SiC的固源MBE异质外延生长 被引量:9
10
作者 刘金锋 刘忠良 +2 位作者 王科范 徐彭寿 汤洪高 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期5-9,共5页
国内首次利用固源分子束外延(MBE)技术,在衬底温度为1100℃时,以Si(111)为衬底成功地外延生长出了3C-SiC单晶薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)以及原位反射高能电子衍射(RHEED)等手段研究了外延薄膜的晶型、结晶质量、外延膜... 国内首次利用固源分子束外延(MBE)技术,在衬底温度为1100℃时,以Si(111)为衬底成功地外延生长出了3C-SiC单晶薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)以及原位反射高能电子衍射(RHEED)等手段研究了外延薄膜的晶型、结晶质量、外延膜与衬底的外延取向关系,并考察了薄膜制备过程中衬底的碳化对薄膜质量的影响。结果表明,外延膜与衬底晶格取向完全一致;碳化可以减小SiC和衬底Si之间的晶格失配、释放应力、引入成核中心,有利于薄膜单晶质量的提高;碳化温度存在最佳值,这一现象与成核过程有关。 展开更多
关键词 碳化硅 碳化 固源分子束外延 反射高能电子衍射
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不同衬底温度下预沉积Ge对SiC薄膜生长的影响 被引量:5
11
作者 刘忠良 唐军 +3 位作者 任鹏 刘科 徐彭寿 潘国强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期423-426,共4页
分别在未沉积Ge和不同衬底温度(300、500、700℃)沉积Ge条件下,利用固源分子束外延(SSMBE)技术在Si衬底上外延SiC薄膜。通过反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)等仪器对样品进行... 分别在未沉积Ge和不同衬底温度(300、500、700℃)沉积Ge条件下,利用固源分子束外延(SSMBE)技术在Si衬底上外延SiC薄膜。通过反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)等仪器对样品进行测试。测试结果表明,预沉积Ge的样品质量明显好于未沉积Ge的样品,而且随着预沉积温度的升高,薄膜的质量在逐渐地变好。 展开更多
关键词 碳化硅 反射高能电子衍射 固源分子束外延 预沉积温度
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PLD工艺制备高质量ZnO/Si异质外延薄膜 被引量:2
12
作者 赵杰 胡礼中 王维维 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期956-958,共3页
采用脉冲激光沉积工艺在不同条件下以Si(111)为衬底制备了ZnO薄膜。通过对不同氧压下(0~50Pa)沉积的样品的室温PL谱测试表明,氧气氛显著地提高了薄膜的发光质量,在50Pa氧气中沉积的ZnO薄膜具有最强的近带边UV发射。XRD测试说明在氧气... 采用脉冲激光沉积工艺在不同条件下以Si(111)为衬底制备了ZnO薄膜。通过对不同氧压下(0~50Pa)沉积的样品的室温PL谱测试表明,氧气氛显著地提高了薄膜的发光质量,在50Pa氧气中沉积的ZnO薄膜具有最强的近带边UV发射。XRD测试说明在氧气氛中得到的薄膜结晶质量较差,没有单一的(002)取向。利用一低温(500℃)沉积的ZnO薄膜作缓冲层,得到了高质量的ZnO外延膜。与直接沉积的ZnO膜相比,生长在缓冲层上的ZnO膜展现出规则的斑点状衍射花样,而且拥有更强的UV发射和更窄的UV峰半高宽(98meV)。对不同温度下沉积的缓冲层进行了RHEED表征,结果表明,在600~650℃之间生长缓冲层,有望进一步改善ZnO外延膜的质量。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 光致发光 X射线衍射 反射式高能电子衍射
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InAs薄膜的分子束外延生长与表面形貌及表面重构分析 被引量:2
13
作者 王继红 罗子江 +3 位作者 周勋 张毕禅 郭祥 丁召 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期90-92,共3页
利用带有反射高能电子衍射(RHEED)仪的分子束外延(MBE)方法,通过RHEED图像演变实时监控薄膜生长状况,采用RHEED强度振荡测量薄膜生长速率,在InAs(001)基片上同质外延InAs薄膜。利用扫描隧道显微镜(STM)对MBE生长的InAs薄膜表面形貌以及... 利用带有反射高能电子衍射(RHEED)仪的分子束外延(MBE)方法,通过RHEED图像演变实时监控薄膜生长状况,采用RHEED强度振荡测量薄膜生长速率,在InAs(001)基片上同质外延InAs薄膜。利用扫描隧道显微镜(STM)对MBE生长的InAs薄膜表面形貌以及表面重构进行扫描分析,证实样品表面为原子级平整,并指出样品表面处于β2(2×4)与α2(2×4)两种重构混合的重构相。 展开更多
关键词 InAs薄膜 分子束外延 反射高能电子衍射 扫描隧道显微镜 表面重构
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分子束外延InAs量子点的RHEED实时原位分析 被引量:3
14
作者 李美成 王禄 +2 位作者 熊敏 刘景民 赵连城 《微纳电子技术》 CAS 2008年第8期470-475,479,共7页
介绍了利用反射式高能电子衍射(RHEED)方法在自组装InAs量子点制备过程中进行结构分析的理论研究与实验工作的最新进展。从反射式高能电子衍射在InAs量子点临界转变状态测定、量子点表面取向、量子点应力分布测定、量子点形核长大动力... 介绍了利用反射式高能电子衍射(RHEED)方法在自组装InAs量子点制备过程中进行结构分析的理论研究与实验工作的最新进展。从反射式高能电子衍射在InAs量子点临界转变状态测定、量子点表面取向、量子点应力分布测定、量子点形核长大动力学过程研究等方面的应用,可以看出RHEED在InAs量子点形成过程中对多种结构特征的原位分析具有突出优势。反射式高能电子衍射仪作为分子束外延系统中的标准配置,已成为一种对InAs量子点微观结构进行分析的简易而理想的分析测试工具。随着反射式高能电子衍射以及衍射理论的进一步发展,必将促进InAs量子点结构的精确表征水平的提高,进而实现更加理想结构的InAs量子点的制备及其应用。 展开更多
关键词 分子束外延 INAS量子点 反射式高能电子衍射 实时原位 微结构分析
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SiO_2/Si(111)表面Ge量子点的生长研究 被引量:3
15
作者 王科范 盛斌 +3 位作者 刘金锋 徐彭寿 潘海滨 韦世强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期358-361,366,共5页
Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化... Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成与Si(111)表面直接外延的Ge量子点。在650℃时,只有Ge的厚度达到0.5nm时,Ge量子点才开始形成。 展开更多
关键词 GE量子点 SIO2薄膜 SI(111) 原子力显微镜(AFM) 反射高能电子衍射(RHEED)
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Fe3O4/MgO(100)薄膜外场诱导电阻变化特性 被引量:1
16
作者 曹林洪 吴卫东 +1 位作者 唐永建 王雪敏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1841-1845,共5页
采用激光分子束外延(L-MBE)方法,以MgO(100)为基底生长了Fe3O4单晶薄膜,研究了Fe3O4/MgO(100)薄膜外场(温度、磁和激光场)诱导电阻变化特性。X射线衍射(XRD)分析表明Fe3O4薄膜是沿MgO(200)晶面外延生长的单晶薄膜;反射高能电子衍射(RHE... 采用激光分子束外延(L-MBE)方法,以MgO(100)为基底生长了Fe3O4单晶薄膜,研究了Fe3O4/MgO(100)薄膜外场(温度、磁和激光场)诱导电阻变化特性。X射线衍射(XRD)分析表明Fe3O4薄膜是沿MgO(200)晶面外延生长的单晶薄膜;反射高能电子衍射(RHEED)强度振荡曲线分析表明Fe3O4薄膜表面平整,而且生长模式为2维层状生长;原子力显微镜(AFM)分析表明Fe3O4薄膜表面粗糙度为0.201 nm,说明薄膜表面达到原子级平整度。外场作用下Fe3O4薄膜的电阻测试表明:薄膜样品的电阻在120 K(Verwey转变温度)出现一峰值,略微下降后继续增大,展现出半导体型的导电特性;在激光作用下,整个测量温度范围内薄膜样品的电阻减小,样品展示出瞬间光电导的特性;从降温曲线可以看出,Verwey转变温度由无激光作用时的120 K上升到有激光作用时的140 K;光致电阻变化率随着温度的降低而增大,这主要是由于激光作用导致电荷有序态的退局域化。 展开更多
关键词 Fe3O4薄膜 反射高能电子衍射 磁电阻 激光诱导电阻
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RHEED在计算Al_2O_3晶面间距中的应用 被引量:1
17
作者 王兆阳 胡礼中 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期73-75,共3页
反射式高能电子衍射仪(RHEED)是一种表面分析工具,以往都是用来对晶体进行定性观察,以研究晶体的结晶状况,很少用来进行晶体结构的定量计算。在分析RHEED的工作原理的基础上,研究了Al2O3衍射条纹宽度、电子束入射方向和晶面方向之间的关... 反射式高能电子衍射仪(RHEED)是一种表面分析工具,以往都是用来对晶体进行定性观察,以研究晶体的结晶状况,很少用来进行晶体结构的定量计算。在分析RHEED的工作原理的基础上,研究了Al2O3衍射条纹宽度、电子束入射方向和晶面方向之间的关系,并尝试利用RHEED来分析和计算Al2O3(0001)面上两个重要方向上的晶面间距,得到了理想的结果。由于RHEED是一种原位监测仪器,所以可对薄膜的生长进行实时原位监测。在测晶面间距等常数时,与对样品要求极高的透射电子显微镜相比,RHEED更方便。 展开更多
关键词 反射式高能电子衍射仪 晶面间距 氧化铝
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N型氮化镓的结构和光电导特性
18
作者 艾子萍 刘云燕 张德恒 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期195-198,共4页
采用透射电镜高分辨反射电子衍射、扫描电镜形貌观察、X射线衍射等不同方法测试了不同Mg含量的N型氮化镓薄膜的结构。几种测试方法的比较表明 ,高分辨反射电子衍射是确定厚衬底的薄膜结构的快速而简便的方法 。
关键词 透射电镜 高分辨反射电子衍射 扫描电镜 X射线衍射 结构 光电导特性 N型氮化镓 半导体材料
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MgO/SrTiO_3(001)生长初期的各向异性晶格畸变
19
作者 魏贤华 崔传伟 +1 位作者 张鹰 朱俊 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期484-487,共4页
通过原位的反射高能电子衍射,监测并测量了MgO/SrTiO3(001)岛状生长初期过程中的面内、面外晶格常数的演变。薄膜的面内晶格在一开始生长时就发生弛豫,且大多数应变在2 nm厚度左右被释放并几乎保持稳定,而面外的晶格应变弛豫一直持续进... 通过原位的反射高能电子衍射,监测并测量了MgO/SrTiO3(001)岛状生长初期过程中的面内、面外晶格常数的演变。薄膜的面内晶格在一开始生长时就发生弛豫,且大多数应变在2 nm厚度左右被释放并几乎保持稳定,而面外的晶格应变弛豫一直持续进行。这种应变的各项异性被认为与薄膜的织构导致的应变能变化有关。 展开更多
关键词 反射高能电子衍射 晶格 各向异性 应变 织构
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高压强下外延生长的差分RHEED原位监测
20
作者 雷震霖 杨乃恒 +4 位作者 于卓 成步文 李代宗 余金中 王启明 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第6期470-474,共5页
给出了能在较高压强(10(-1)Pa)下进行原位监控生长的差分RHEED系统的设计思想、结构性能等,同时给出了在LMBE技术中实际应用的结果,包括随着氧压强的增加衍射条纹所发生的变化。阐述了产生这一现象的原因,提出了需要进一步研究... 给出了能在较高压强(10(-1)Pa)下进行原位监控生长的差分RHEED系统的设计思想、结构性能等,同时给出了在LMBE技术中实际应用的结果,包括随着氧压强的增加衍射条纹所发生的变化。阐述了产生这一现象的原因,提出了需要进一步研究和改进的问题。 展开更多
关键词 反射式 高能电子衍射 外延生长 激光 薄膜
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