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电阻激光刻槽机的实时控制系统
1
作者
谢志平
张励
+1 位作者
杨朱
杨兴国
《光电子技术与信息》
1998年第6期24-28,共5页
以“JJK激光自动刻槽机”的控制和监测系统为实例,扼要描述光点物面位移法刻槽电阻如何实现动态阻值精度测量和控制。
关键词
激光刻槽机
调Q激光器
激光加工
下载PDF
职称材料
题名
电阻激光刻槽机的实时控制系统
1
作者
谢志平
张励
杨朱
杨兴国
机构
安徽光电技术研究所
出处
《光电子技术与信息》
1998年第6期24-28,共5页
文摘
以“JJK激光自动刻槽机”的控制和监测系统为实例,扼要描述光点物面位移法刻槽电阻如何实现动态阻值精度测量和控制。
关键词
激光刻槽机
调Q激光器
激光加工
Keywords
resistance value precision
,
bridge balajnce
,
optoelectronic coupling
分类号
TN248.34 [电子电信—物理电子学]
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
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作者
出处
发文年
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1
电阻激光刻槽机的实时控制系统
谢志平
张励
杨朱
杨兴国
《光电子技术与信息》
1998
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