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电阻激光刻槽机的实时控制系统
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作者 谢志平 张励 +1 位作者 杨朱 杨兴国 《光电子技术与信息》 1998年第6期24-28,共5页
以“JJK激光自动刻槽机”的控制和监测系统为实例,扼要描述光点物面位移法刻槽电阻如何实现动态阻值精度测量和控制。
关键词 激光刻槽机 调Q激光器 激光加工
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