使用经纬仪与平行光管测量转台测角误差

介绍了一种使用经纬仪与平行光管进行检测转台测角误差的测量方法,并对其实施细节进行了讨论。使用棱体和自准直仪的检测方法测量准确度高且稳定可靠,但存在成本高、测量点数受限和操作繁琐等缺点。该方法通过利用经纬仪作为测角标准器,平行光管作为无穷远目标实现准确的角度测量。通过准确调整平行光管分划板位置和经纬仪与转台的同轴性,尽可能减小测量误差。实验结果表明,该方法与常规方法结果一致性好,同时具有成本低廉、操作简便和可测量任意角度等优点。

掩模硅片自动对准误差校正算法

为了改善对准精度,对100nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中。掩模硅片自动对准算法决定机器坐标系、掩模坐标系、硅片坐标系相互的位置关系,可很好地校正由掩模硅片引起的平移、线变、旋转、正交性的偏差。

100nm线宽的掩模硅片自动对准算法

对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准精度的要求。

激光标线仪在内侧开放楔形胫骨近端高位截骨术中的应用

目的观察激光标线仪在提高内侧开放楔形胫骨近端高位截骨术(MOWHTO)中的应用效果。方法将60例膝关节骨性关节炎患者纳入本研究,其中30例术中按照传统定位法测量下肢力线(对照组),另外30例术中使用激光标线仪实时显示下肢力线(观察组)。比较2组手术时间、术中C臂使用次数、引流量、OA距离,并比较术前、术后3个月和6个月的视觉模拟评分法(VAS)评分、美国特种外科医院(HSS)膝关节功能评分及屈膝最大角度。比较2组并发症和不良反应。结果与对照组比较,观察组手术时间、引流量、C臂使用次数及OA距离均较短或较少,差异有统计学意义(P<0.05)。与对照组比较,观察组术后3个月的VAS评分较低,膝关节HSS评分较高,差异有统计学意义(P<0.05)。2组患者术后6个月的屈膝最大角度与术后3个月比较,差异有统计学意义(P<0.05);与对照组比较,观察组术后3个月的屈膝最大角度较大,差异有统计学意义(P<0.05)。对照组发生1例下肢深静脉血栓,给予对症处理后未出现严重不良反应。观察组患者未发生并发症或不良反应。结论MOWHTO术中使用激光标线仪标记下肢力线可有效缩短手术时间和OA距离,减少引流量、C臂使用次数,改善术后VAS评分、膝关节HSS评分及屈膝最大角度。

NIKON NSR步进重复光刻机对准原理及典型故障修复

论述了NIKON NSR步进重复光刻机对准系统工作原理,包括掩模版对准和圆片对准;列出了对准过程中遇到的常见故障,并提出了对应的解决方法,对设备运行过程中出现的对准方面的故障修复有一定的指导作用。

提高平行光管分划板装调精度新方法研究

推导了分划板失调量与待测系统调制传递函数(MTF)下降之间的解析表达式,对光管和待测系统焦距比与分划板装调精度之间的数学关系进行仿真分析,发现焦距比为1,分划板轴向装调误差为0.0012mm引起的待测系统MTF下降为0.01。据此提出依据Zernike系数定量指导装调,采用数字干涉仪与平行光管、分划板构成干涉光路进行逐次迭代调整的方法。实验与数学分析均表明,上述方法可显著提升分划板装调精度,其引起的探测器离焦导致的MTF下降可控制在0.013。实验结果与理论值之间的偏差表明,环境扰动等不确定度对标定精度产生影响,在测试环境良好的条件下采用上述装调方法,使用焦距与待测光电系统焦距相当的平行光管就可满足高精度光学标定与装调的测试需求。