Pb-合金隧道结rf氧化参量选定的实验方法

本文介绍利用室温四端法测量用剥离光刻技术和不同rf氧化参量制备的一系列四端Pb—合金隧道结电阻;反映结的氧化物势垒厚度与氧化参量的关系,提供选定rf氧化参量的依据。文中介绍了国外概况,本实验方法的原理,样品制备和测试结果与分析。