期刊文献+
共找到353篇文章
< 1 2 18 >
每页显示 20 50 100
In-flight calibration of the spaceborne fluxgate magnetometer in the Martian magnetosheath 被引量:1
1
作者 GuoQiang Wang 《Earth and Planetary Physics》 EI CSCD 2022年第6期592-600,共9页
In-flight calibration of the ze ro offset is crucial for ensuring high-precision measure ment of the spaceborne fluxgate magnetomete r.Tianwen-1 is China’s first Mars mission,and its orbiter will re main out of the s... In-flight calibration of the ze ro offset is crucial for ensuring high-precision measure ment of the spaceborne fluxgate magnetomete r.Tianwen-1 is China’s first Mars mission,and its orbiter will re main out of the solar wind for tens of days each year.Previous in-flight calibration methods might not be suitable for this orbiter during such a period.Recently,a new method was proposed by Wang GQ(2022 b),which we refer to as the Wang method Ⅱ for ease of description.Here,we test the performance of this method in the Martian magnetosheath by using magnetic field data measured by the Mars Atmosphere and Volatile EvolutioN(MAVEN) spacecraft.We find that the accuracy of the Wang method Ⅱ is affected by the number of magnetic field subinterval events,the eigenvalues of the minimum variance analysis for each event,and the position of the spacecraft in the magnetosheath.The estimated zero offset varies over a period of~27 days and has a 57.3% probability of accuracy within 2.0 nT.After being smoothed with a temporal window of 27 days,the ze ro offset has a 48.4%(99.3%) probability of accuracy within 1.0(2.0) nT.Our tests suggest that the Wang method Ⅱ provides an option for the Tianwen-1 orbiter to perform in-flight calibration when the orbiter remains out of the solar wind for an extended pe riod of time. 展开更多
关键词 fluxgate magnetometer in-flight calibration zero offset Martian magnetosheath
下载PDF
子午工程二期自动磁通门经纬仪
2
作者 王喜珍 范晓勇 +3 位作者 张策 滕云田 马新欣 陈志青 《地球与行星物理论评(中英文)》 2024年第1期24-30,共7页
地磁台站观测有相对记录和绝对观测2种,相对记录数据需经基线值改正后方可得到地磁场要素的实际值.磁通门经纬仪是获取基线值的基本设备之一,在地磁观测中发挥着重要作用.目前台站采用的磁通门经纬仪需人工操作,人为因素会对观测数据质... 地磁台站观测有相对记录和绝对观测2种,相对记录数据需经基线值改正后方可得到地磁场要素的实际值.磁通门经纬仪是获取基线值的基本设备之一,在地磁观测中发挥着重要作用.目前台站采用的磁通门经纬仪需人工操作,人为因素会对观测数据质量产生影响,因在偏远地区和环境恶劣地区无法实现地磁绝对观测,造成地磁绝对观测的空间覆盖空白.子午工程二期将在我国内地地区首次开展自动化磁偏角和磁倾角地磁绝对观测,必将推动地磁绝对观测技术创新与发展.自动磁通门经纬仪是我国自主研发的磁偏角和磁倾角自动化观测设备,采用无磁材料和压电电机,通过优化设计与改进加工工艺,以及引入多参量误差补偿算法,有效克服和消除了系统误差,提高了测量精度.该设备在河北涉县台、吉林合隆台、陕西乾陵台和北京白家疃台等台站开展了长时间的实际观测,并与台站的人工磁通门经纬仪观测结果进行了对比.结果表明,自动磁通门经纬仪的主要性能指标达到了人工磁通门经纬仪水平.该设备也通过了中国地震局前兆设备入网测试,功能和性能指标符合地磁台站地磁绝对观测要求. 展开更多
关键词 子午工程 地磁监测 自动磁通门经纬仪 测量误差
下载PDF
大动态范围磁通门磁力仪及其在定向误差校正中的应用
3
作者 陈卓琳 胡星星 +1 位作者 滕云田 刘高川 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期81-89,共9页
仪器定向误差会影响地磁矢量观测数据的准确性,现有的校正方法需要已知地磁场模量或参考标准仪器,且难以应用在井下和海洋等无法手动安装调整仪器的情况。本文提出了大动态磁通门磁力仪和在此基础上的欧拉旋转变换的矢量校正方法。该方... 仪器定向误差会影响地磁矢量观测数据的准确性,现有的校正方法需要已知地磁场模量或参考标准仪器,且难以应用在井下和海洋等无法手动安装调整仪器的情况。本文提出了大动态磁通门磁力仪和在此基础上的欧拉旋转变换的矢量校正方法。该方法可在无需参考标准仪器的情况下,获得磁通门的定向角度误差并进行自校正测量。在地磁观测台站进行了实验,结果表明,当实验仪器定向误差分别设置为4个不同象限区间的大角度时,校正后与台站比测仪器对应分量的相关系数仍达到0.99以上,B-A图中置信区间长度减小了86%以上,RMS误差降低至15%以下,论证了该校正方法的有效性,能够提高地磁台站的观测数据质量,并为井下和海洋地磁观测的定向提供参考解决方案。 展开更多
关键词 大动态磁通门磁力仪 定向误差 自校正 Bland-Altman图
下载PDF
基于数字检测的磁通门电流传感器
4
作者 夏瑞泽 冯卓明 +2 位作者 王永康 黄漫吉 杨孝慧 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第9期1-4,12,共5页
传统的自激式磁通门电流传感器通常基于平均电流法测量电流,结构复杂且测量带宽和响应时间均受滤波器截止频率的限制。文中基于占空比采样的数字检测法设计了一款面向复杂漏电流测量的传感器,使用单片机直接测量激磁信号占空比,并通过... 传统的自激式磁通门电流传感器通常基于平均电流法测量电流,结构复杂且测量带宽和响应时间均受滤波器截止频率的限制。文中基于占空比采样的数字检测法设计了一款面向复杂漏电流测量的传感器,使用单片机直接测量激磁信号占空比,并通过数字算法完成信号的解调与处理。文中的传感器采用开环设计,节省了滤波电路与AD转换器,降低了成本。实验表明:该传感器的带宽和响应时间性能均优于基于平均电流法的传感器。 展开更多
关键词 磁通门电流传感器 数字法 低频开环应用 占空比模型
下载PDF
长距离模拟差分输出测磁阵列关键技术研究
5
作者 张昊 姜润翔 +2 位作者 武晓康 李斌 杨鹏程 《舰船科学技术》 北大核心 2024年第15期108-113,共6页
为了科学评价舰船磁隐身的效果,首先设计和研制宽频带、模拟差分输出的磁通门传感器,其次研制低噪声多通道采集系统,而后分析传输电缆参数对传感器输出信号的影响,最后构建以8个磁通门传感器为基本单元的测磁系统,并在实验室和野外环境... 为了科学评价舰船磁隐身的效果,首先设计和研制宽频带、模拟差分输出的磁通门传感器,其次研制低噪声多通道采集系统,而后分析传输电缆参数对传感器输出信号的影响,最后构建以8个磁通门传感器为基本单元的测磁系统,并在实验室和野外环境条件下进行了试验验证。结果表明,研制的磁场测量系统性能可靠,可实现2 000 m电缆条件下1 000 Hz频带以下信号的准确采集,在1 000 Hz频点处的误差值小于3%;1 000 m电缆条件下,连续180 h测量数据结果表明,8个磁通门传感器的模值偏差不大于20 nT。 展开更多
关键词 舰船 磁场 磁通门 差分输出 串扰
下载PDF
基于空间的三维线圈磁场强度研究
6
作者 闫登辉 张会新 杨晓蕾 《舰船电子工程》 2024年第6期188-191,198,共5页
针对通电线圈产生空间磁场的强度大小不确定,难以对此进行更好的磁通信等问题,论文采用Maxwell和Matlab软件仿真验证空间中不同位置的磁感应强度来进行更好的磁通信。磁通信的三维线圈是一种将电能转化为磁场能量进行无线电能传输的装置... 针对通电线圈产生空间磁场的强度大小不确定,难以对此进行更好的磁通信等问题,论文采用Maxwell和Matlab软件仿真验证空间中不同位置的磁感应强度来进行更好的磁通信。磁通信的三维线圈是一种将电能转化为磁场能量进行无线电能传输的装置,由多个环形线圈组成,每个线圈都被称为一个“匝”,并且它们是相互嵌套的。在工作时,磁通信的三维线圈会通过交变电流在线圈中产生磁场,然后将这个磁场传输到接收器中,接收器通过感应产生的电压将磁场能量转化为电能,采用棱边单元法对发射线圈进行了求解分析,并得出了发射线圈磁场强度的分布情况。研究分析了线圈直径、线圈匝数和线圈匝间距等设计参数对磁场强度的影响,并提出了优化感应线圈的理论依据。 展开更多
关键词 三维线圈 磁场强度 磁通门
下载PDF
磁通门电子学中的噪声分析与抑制
7
作者 葛翰林 张一鸣 +1 位作者 张晨浩 张栋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第7期8-12,共5页
针对磁通门传感器电子学单元中存在的噪声信号干扰问题,分析了磁通门激励电路中存在的功率器件MOSFET在方波开关信号频率下开通和关断时,引入与检测目标频率相关的噪声信号通过电源地层串扰对感应和反馈信号产生的影响,并提出了一种新... 针对磁通门传感器电子学单元中存在的噪声信号干扰问题,分析了磁通门激励电路中存在的功率器件MOSFET在方波开关信号频率下开通和关断时,引入与检测目标频率相关的噪声信号通过电源地层串扰对感应和反馈信号产生的影响,并提出了一种新型的噪声滤波电路以降低噪声水平。通过电路仿真结果及该降噪电路的实际应用测试结果表明:噪声幅值水平明显降低,该滤波电路能够对噪声信号起到明显的抑制作用,且在感应、反馈信号中与激励频率相关的谐波噪声得到了有效滤除,与高性能磁通门磁测数据相似度由原来的0.918提升至0.986,验证了该降噪电路对磁通门传感器整体磁测水平的提高效果。 展开更多
关键词 噪声抑制 磁通门传感器 滤波电路 信号串扰
下载PDF
小江断裂带南端密集综合台阵建设及运行
8
作者 黄家亮 滕云田 +1 位作者 朱传东 生迪迪 《地震地磁观测与研究》 2024年第3期82-93,共12页
依托国家重点计划研发项目“新型便携式地震监测设备研发”,在小江断裂带南端(滇南玉溪地区、红河州地区)布设密集综合台阵,共计配置110套小型化磁通门传感器、电磁波传感器和温度压力传感器。参照国家与地震行业相关标准、规范及技术规... 依托国家重点计划研发项目“新型便携式地震监测设备研发”,在小江断裂带南端(滇南玉溪地区、红河州地区)布设密集综合台阵,共计配置110套小型化磁通门传感器、电磁波传感器和温度压力传感器。参照国家与地震行业相关标准、规范及技术规程,对台阵仪器运行质量进行评估。结果表明,大部分站点观测仪器运行指标能够达到质量评估技术规范要求,可满足综合台阵长期连续观测要求。该成果可为区域密集台阵建设及相关应用研究提供借鉴。 展开更多
关键词 密集综合台阵 磁通门传感器 电磁波传感器 温度压力传感器 质量评估
下载PDF
基于时间差型磁通门的电流传感器抗干扰研究
9
作者 李菊萍 叶明盛 +3 位作者 任浩 蔡艳兰 王文武 刘莉娜 《传感器世界》 2024年第2期5-10,共6页
在漏电流检测领域,需特别关注小电流检测的灵敏度,此时外界干扰对小电流检测的影响不能忽视。针对漏电流检测领域要求,文章对时间差型磁通门电流传感器进行了理论推导,分析了影响传感器性能的因素和抗干扰性能的影响因素,得到了传感器... 在漏电流检测领域,需特别关注小电流检测的灵敏度,此时外界干扰对小电流检测的影响不能忽视。针对漏电流检测领域要求,文章对时间差型磁通门电流传感器进行了理论推导,分析了影响传感器性能的因素和抗干扰性能的影响因素,得到了传感器设计参数、不均匀因素与抗干扰性能的定量关系。研究结果表明,可通过调节电路参数改变传感器灵敏度等性能,尽量使线圈均匀,增大激励电压与回路电阻之比,提升抗干扰性能,为自激振荡时间差磁通门电流传感器的优化设计提供理论依据。 展开更多
关键词 磁通门 电流传感器 时间差 干扰
下载PDF
地磁偏角倾角绝对测量技术发展现状综述 被引量:9
10
作者 张涛 张策 +2 位作者 滕云田 范晓勇 王晓美 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期80-90,共11页
地磁场绝对测量是获取地磁基本场及其长期变化的基本手段,也是矫正地磁相对记录的基准。地磁偏角倾角绝对观测是地磁场要素绝对值测定的重要组成。目前,典型的地磁偏角倾角绝测量仪器为磁通门经纬仪,但该类设备采用人工测量方式,自动化... 地磁场绝对测量是获取地磁基本场及其长期变化的基本手段,也是矫正地磁相对记录的基准。地磁偏角倾角绝对观测是地磁场要素绝对值测定的重要组成。目前,典型的地磁偏角倾角绝测量仪器为磁通门经纬仪,但该类设备采用人工测量方式,自动化的磁通门经纬仪仍停留在样机研制和应用发展阶段,极大地限制了地磁场测量精度和空间分辨率的提高。梳理和总结了我国地磁偏角倾角测量仪的发展,针对国际上领先的自动化地磁偏角和倾角测量技术研究进展,并结合有关试验样机的研发现状,深入分析该类仪器的关键技术及共性技术,提出地磁偏角倾角测量仪的发展思路和关键技术解决对策,以期对未来我国地磁偏角倾角测量仪器的研发起良好的指导意义和借鉴价值。 展开更多
关键词 地磁绝对测量 地磁偏角倾角测量仪 人工测量磁通门经纬仪 自动化测量磁通门经纬仪
下载PDF
姿态测试用磁通门磁强计的设计 被引量:9
11
作者 曹红松 陈国光 +1 位作者 赵捍东 辛长范 《弹道学报》 CSCD 北大核心 2002年第2期79-83,共5页
简述了磁通门磁强计的工作原理 ,讨论了利用磁通门技术进行飞行体飞行姿态实时测量的磁通门磁强计姿态测试系统的基本原理、探头和电路的设计方法 .制作了三轴磁通门磁强计并进行了基础实验 。
关键词 姿态测试 磁通门 磁强计 设计 飞行体
下载PDF
地磁相对记录用低噪声磁通门磁力仪 被引量:11
12
作者 王晓美 滕云田 +2 位作者 王晨 范晓勇 马洁美 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1158-1162,共5页
针对地磁相对记录要求观测仪器具有高分辨力、低噪声和长期稳定性的特点,抑制外界温度对传感器输出的影响,获得较低的温度系数,研制的磁通门传感器采用高导磁率坡莫合金作为磁芯材料,激励线圈直接缠绕在高塑性、较高持久蠕变强度的环形... 针对地磁相对记录要求观测仪器具有高分辨力、低噪声和长期稳定性的特点,抑制外界温度对传感器输出的影响,获得较低的温度系数,研制的磁通门传感器采用高导磁率坡莫合金作为磁芯材料,激励线圈直接缠绕在高塑性、较高持久蠕变强度的环形合金骨架上,感应线圈和补偿线圈缠绕在低温度系数的玻璃钢骨架上。采用交变模拟信号处理电路、深度负反馈网络提升仪器的稳定性和线性度;采用D/A转换电路实现仪器对外界自然磁场的自动补偿。通过在零磁空间的性能测试和在观测台站的对比观测,研制的磁力仪噪声指标为峰峰值p-p 0.1 nT、温度系数D分量小于0.1'/℃、H、Z分量小于1 nT/℃。 展开更多
关键词 环形磁芯 磁通门传感器 磁力仪 地磁相对记录
下载PDF
特殊区域旋翼无人机航磁测量研究 被引量:19
13
作者 李志鹏 高嵩 王绪本 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期3825-3834,共10页
为解决地面人员难以到达的特殊区域大比例尺磁测数据获取问题,本文提出一种基于三轴磁通门传感器,采用旋翼无人机进行航空磁测的方法.项目组研制适合旋翼无人机搭载的航磁数据记录仪,并完成旋翼无人机、三轴磁通门传感器、航磁数据记录... 为解决地面人员难以到达的特殊区域大比例尺磁测数据获取问题,本文提出一种基于三轴磁通门传感器,采用旋翼无人机进行航空磁测的方法.项目组研制适合旋翼无人机搭载的航磁数据记录仪,并完成旋翼无人机、三轴磁通门传感器、航磁数据记录仪的集成工作,开展了三轴磁通门传感器安装点位噪声水平试验、地面空中对比试验、磁性体识别试验、动态飞行一致性试验、区域飞行试验.旋翼无人机航磁系统具有操作简单、设备轻便、效率高的特点,能在地面人员难以达到的区域开展低空航磁测量.中国四川省黑竹沟地区是地磁异常区域,项目组在该区域内的沟壑、峡谷、湖泊等实地开展了野外应用测试,完成了这些特殊区域的航磁调查工作. 展开更多
关键词 旋翼无人机 航磁 磁通门 特殊区域
下载PDF
三轴磁通门磁梯度仪转向差校正方法研究 被引量:17
14
作者 高翔 严胜刚 李斌 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1226-1232,共7页
三轴磁通门传感器应用广泛,但其自身固有的零偏误差、灵敏度误差以及三轴非正交误差对其磁场测量精度有着较大的影响。针对磁通门梯度仪中磁传感器自身的性能参数和摆放方位不一致问题,提出了转向差的校正方法:分别建立了磁通门传感器... 三轴磁通门传感器应用广泛,但其自身固有的零偏误差、灵敏度误差以及三轴非正交误差对其磁场测量精度有着较大的影响。针对磁通门梯度仪中磁传感器自身的性能参数和摆放方位不一致问题,提出了转向差的校正方法:分别建立了磁通门传感器误差的自校准和互校准数学模型,并采用神经网络算法和最小二乘算法对模型参数进行求解。仿真和试验结果表明,整个校正过程简单可行,在不需要三轴无磁转台以及恒定磁场标准装置等复杂试验设备情况下,利用磁通门梯度仪在稳定的地磁场环境下采集多组磁场数据,能有效降低磁梯度仪转向差引起的测量误差。 展开更多
关键词 三轴磁通门传感器 磁通门梯度仪 转向差校正 神经网络算法 最小二乘算法
下载PDF
火星空间环境磁场探测研究——高精度磁强计 被引量:15
15
作者 周斌 赵华 +10 位作者 王劲东 陈斯文 廖怀哲 朱光武 王赤 张鑫 李磊 孙越强 冯永勇 周敬萱 陶然 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期467-474,共8页
萤火一号卫星将对火星空间环境磁场实施探测。火星磁场对火星弓激波、磁鞘、电离层、大气等绝大多数空间环境效应都具有重要影响,萤火一号对火星磁场的探测是通过搭载于其上的科学载荷磁强计来实现的。此磁强计在工作原理及具体设计上,... 萤火一号卫星将对火星空间环境磁场实施探测。火星磁场对火星弓激波、磁鞘、电离层、大气等绝大多数空间环境效应都具有重要影响,萤火一号对火星磁场的探测是通过搭载于其上的科学载荷磁强计来实现的。此磁强计在工作原理及具体设计上,考虑了火星轨道严酷的工作环境和科学目标所需的测量要求。通过装星前的地面标定测试,验证了萤火一号磁强计可以在-130~75℃温度范围内测量±256nT以内的磁场,分辨率可达到0.01 nT,带宽内总噪声小于0.03 nT,能够满足萤火一号对火星空间环境探测的需求。 展开更多
关键词 火星探测 磁场探测 磁通门磁强计
下载PDF
微型正交激励磁通门结构设计 被引量:8
16
作者 郭博 刘诗斌 杨尚林 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第7期910-915,共6页
利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯... 利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯结构的微型正交激励磁通门所应选择的结构尺寸。采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺制备了这种结构尺寸的微型磁通门传感器并对其进行了测试,采用尖脉冲激励时,其可以以1.7 mW的超低功耗得到91.6 V/T的输出灵敏度。 展开更多
关键词 电子科学与技术 Magnet仿真 微型磁通门 正交激励磁通门 低功耗
下载PDF
基于单片机的数字磁通门传感器 被引量:11
17
作者 张莹 刘诗斌 刘子懿 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第7期46-49,共4页
主要研究了一种数字磁通门传感器。这种传感器采用单片机的A/D对磁通门输出信号进行采样。采样后的数据通过串口送给计算机进行运算,并得到最终的输出量。该传感器对地球磁场进行了测量。结果显示:它的误差较小,改善了传统磁通门传感器... 主要研究了一种数字磁通门传感器。这种传感器采用单片机的A/D对磁通门输出信号进行采样。采样后的数据通过串口送给计算机进行运算,并得到最终的输出量。该传感器对地球磁场进行了测量。结果显示:它的误差较小,改善了传统磁通门传感器的温度性能,提高了输出信号的稳定性。 展开更多
关键词 传感器 磁通门 单片机
下载PDF
高精度空间磁通门磁力计 被引量:8
18
作者 林钢 杨会平 +1 位作者 白彦峥 周泽兵 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期61-63,共3页
基于软磁材料磁化饱和时的非线性特性研制了空间磁通门磁力计,用以精确测量大小为1 mT以下的稳定或者低频交变的磁场,其应用范围涉及深空探测和地球物理学等许多领域.磁通门磁力计信号处理系统应用了相关检测原理,完成了一维空间磁通门... 基于软磁材料磁化饱和时的非线性特性研制了空间磁通门磁力计,用以精确测量大小为1 mT以下的稳定或者低频交变的磁场,其应用范围涉及深空探测和地球物理学等许多领域.磁通门磁力计信号处理系统应用了相关检测原理,完成了一维空间磁通门磁力计原理样机研制.对样机进行了灵敏度、线性度、噪声和分辨率的测试.实验结果表明,该原理样机的分辨率优于5.2 nT,线性动态范围达到12μT.其关键指标达到空间应用的要求. 展开更多
关键词 磁通门磁力计 相关检测 软磁材料
下载PDF
基于全相位傅里叶变换的磁调制交直流漏电电流检测方法 被引量:22
19
作者 王尧 李奎 +3 位作者 任伯飞 邹旭 葛磊蛟 叶海武 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第18期254-260,共7页
电力电子设备发生漏电故障时,其漏电电流为交直流复合的复杂电流信号,传统的电磁式电流检测方法、霍尔电流检测方法或双铁心磁调制电流方法均无法满足复杂漏电电流的检测要求。针对这一问题,提出一种基于全相位傅里叶变换的磁调制交直... 电力电子设备发生漏电故障时,其漏电电流为交直流复合的复杂电流信号,传统的电磁式电流检测方法、霍尔电流检测方法或双铁心磁调制电流方法均无法满足复杂漏电电流的检测要求。针对这一问题,提出一种基于全相位傅里叶变换的磁调制交直流漏电电流检测方法,采用电压型单铁心磁调制互感器进行交直流漏电电流检测,可以简化互感器结构;同时采用全相位傅里叶变换进行磁调制电流解调,可以简化解调电路结构。试验结果表明,全相位傅里叶变换有效克服了非周期采样造成的频谱泄漏问题,从而使互感器具有较高的检测准确度。 展开更多
关键词 全相位傅里叶变换 磁调制 交直流电流 漏电检测
下载PDF
微型磁通门工艺的研究 被引量:4
20
作者 游余新 王东红 +4 位作者 陈伟平 王蔚 兰慕杰 王喜莲 于杰 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期381-384,共4页
为了制备体积小重量轻的可用于航天方面的微型磁传感器 ,用微机械加工方法制备了微型磁通门芯片 .重点研究用蒸镀和掩膜电铸两种途径制备微型磁通门磁芯的工艺 ,研究了不同电铸工艺参数 (镀液中c(Fe2 + ) /c(Ni2 + )比、电流密度、pH值 ... 为了制备体积小重量轻的可用于航天方面的微型磁传感器 ,用微机械加工方法制备了微型磁通门芯片 .重点研究用蒸镀和掩膜电铸两种途径制备微型磁通门磁芯的工艺 ,研究了不同电铸工艺参数 (镀液中c(Fe2 + ) /c(Ni2 + )比、电流密度、pH值 )对镀层组份的影响并获得较为理想的成分比 . 展开更多
关键词 MEMS 微型磁通门 真空镀膜 掩膜电铸
下载PDF
上一页 1 2 18 下一页 到第
使用帮助 返回顶部