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矿物溶解作用下颗粒粗糙度对多孔岩石渗透率和电导率的影响
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作者 张雨田 张佳欣 +3 位作者 李波 罗瑀峰 凌博闻 王晓光 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期3229-3240,共12页
矿物溶解过程广泛地存在于地下储层中.溶解作用的发生会在岩石内部产生新的流动通道,使地下储层的孔隙度发生变化,从而影响多孔岩石的物性参数,例如渗透率和电导率.为了定量研究多孔介质的颗粒粗糙度、渗透率和电导率在溶解作用下的关系... 矿物溶解过程广泛地存在于地下储层中.溶解作用的发生会在岩石内部产生新的流动通道,使地下储层的孔隙度发生变化,从而影响多孔岩石的物性参数,例如渗透率和电导率.为了定量研究多孔介质的颗粒粗糙度、渗透率和电导率在溶解作用下的关系,本研究采用线性布尔模型和四参数随机生成法(QSGS)对不同颗粒粗糙度的多孔介质进行建模.之后,采用双分布格子Boltzmann方法模拟岩石孔隙的溶解和渗透率演化过程.常见的溶解模式有均匀溶解、面溶解和虫洞溶解,主要受Péclet数(Pe)和Damkohler数(Da)这两个无量纲数控制.通过改变Pe数和Da数,我们相应地重现了不同的溶解模式.为了对岩石电导率进行数值计算,我们采用基于最小自由能的有限元法获得多孔介质的电场,然后根据欧姆定律计算岩石的有效电导率.研究结果表明,对于具有相同晶粒粗糙度的多孔介质,在不同溶解模式下,渗透率和电导率产生不同的变化规律.虫洞溶解模式下,渗透率和电导率变化最大;而面溶解模式下,变化最小.在相同的Pe和Da下,粗糙颗粒模型的渗透率和电导率变化显著高于光滑颗粒模型. 展开更多
关键词 矿物溶解 颗粒粗糙度 渗透率 电导率
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Material Removal Behavior and Surface Integrity in Grinding of UltrafineGrained WC-Co Materials 被引量:1
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作者 原一高 车俊华 +3 位作者 王焱坤 孙卫权 白佳声 祝新发 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2015年第2期219-224,共6页
Due to the excellent combination of wear resistance and fracture toughness,the ultrafine-grained WC-Co composites can significantly improve the durability and reliability of industrial tools.However,the grinding of ul... Due to the excellent combination of wear resistance and fracture toughness,the ultrafine-grained WC-Co composites can significantly improve the durability and reliability of industrial tools.However,the grinding of ultrafine-grained WC-Co remains a challenge.In order to provide an experimental basis for improving grinding quality of ultrafine-grained WC-Co,a series of surface grinding experiments on ultrafine-grained WC-Co hardmetals were conducted by diamond wheel under various grinding conditions,and the material removal behavior and surface integrity in grinding of ultrafine-grained WC-Co materials were characterized by means of scanning electron microscopy(SEM),X-ray microstress analyzer and surface roughness analyzer in this paper.The results indicate that the material removal behavior in grinding of ultrafine-grained WC-Co materials is determined not only by the abrasive grain size on the wheel,but also by the depth of cut.The roughness values of ground surface increase with increasing grit size of diamond wheel,and increase initially,then decrease with increase in depth of cut.Grinding causes the residual compressive stress in the surface layer of ground cemented carbides under various grinding conditions;the magnitude of residual surface stress increases with increasing grit size of diamond wheel,and isn't changed obviously along with the change of depth of cut. 展开更多
关键词 ultrafine diamond roughness grinding toughness wheel compressive durability analyzer magnitude
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环氧树脂型磁弹磨粒对刀具刃口钝化的实验分析 被引量:1
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作者 袁银 赵雪峰 +1 位作者 游科 殷小龙 《工具技术》 北大核心 2023年第6期18-22,共5页
为探究基于环氧树脂型磁弹磨粒在双磁盘磁场中对刀具钝化的影响,以黏弹性的丙烯酸酯为基体,制备出一种具有导磁性及研磨功能的磁弹磨粒。通过电子显微镜观察环氧树脂型磁弹磨粒形状特征,并测试环氧树脂型磁弹磨粒的密度、硬度和粒度等... 为探究基于环氧树脂型磁弹磨粒在双磁盘磁场中对刀具钝化的影响,以黏弹性的丙烯酸酯为基体,制备出一种具有导磁性及研磨功能的磁弹磨粒。通过电子显微镜观察环氧树脂型磁弹磨粒形状特征,并测试环氧树脂型磁弹磨粒的密度、硬度和粒度等物理参数,基于磁弹磨粒在双磁盘磁场中对刀具刃口钝化的机制,建立环氧树脂型磁弹磨粒对刀具刃口钝化的实验方案。实验发现,环氧树脂型磁弹磨粒对降低刀具前后刀面的钝化值以及提高刀具刃口表面的粗糙度值都有很明显效果。 展开更多
关键词 磁弹磨粒 刀具钝化 粗糙度 双磁盘
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管壁局部粗糙对水平超临界二氧化碳湍流传热的影响 被引量:2
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作者 王建勇 杨军 雷玟 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第23期9214-9223,共10页
为改善水平管内超临界二氧化碳(supercritical carbon dioxide,S-CO_(2))湍流传热,该文对管壁引入简易的均匀砂粗糙,并基于水平超临界流动传热特征,创新性地提出上壁面(传热恶化)附近特定区域粗糙化方案。模拟计算中,采用k-ωSST湍流模... 为改善水平管内超临界二氧化碳(supercritical carbon dioxide,S-CO_(2))湍流传热,该文对管壁引入简易的均匀砂粗糙,并基于水平超临界流动传热特征,创新性地提出上壁面(传热恶化)附近特定区域粗糙化方案。模拟计算中,采用k-ωSST湍流模型并对其关于粗糙管流传热预测进行了验证以展示其可靠性,而后对管径d=4.57mm水平管道内S-CO_(2)的流动传热展开探究,并讨论局部粗糙化范围以及关键因素浮升力的影响。结果表明:管道上壁面特定区域粗糙化能显著降低上壁面温度,增强该区域S-CO_(2)传热性能,继而有效改善周向传热均匀性。低热流密度时,管壁粗糙面积在湍动能整体水平较低的加热管流前半部分影响较为明显;随着热流密度的增加,浮升力效应增强,上壁面附近高温区域逐渐扩大,而不同工况条件下使粗糙范围集中于此高温区域能够获得兼顾水平S-CO_(2)传热效率与附加流动阻力更优的综合性能。 展开更多
关键词 超临界二氧化碳 水平圆管 砂粗糙 局部粗糙 浮升力效应
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离子刻蚀多晶铜机理及其对表面形貌的影响
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作者 易晨曦 田野菲 +2 位作者 张浩天 胡跃 鲍明东 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期169-176,共8页
为了更好地理解离子刻蚀纯铜表面的形貌及形成机理,采用氩离子注入的方式对多晶纯铜进行刻蚀。通过改变功率参数和原始表面粗糙度的方式探究不同条件下多晶纯铜表面形貌随刻蚀时间变化的规律。采用扫描电子显微镜和白光干涉仪对刻蚀后... 为了更好地理解离子刻蚀纯铜表面的形貌及形成机理,采用氩离子注入的方式对多晶纯铜进行刻蚀。通过改变功率参数和原始表面粗糙度的方式探究不同条件下多晶纯铜表面形貌随刻蚀时间变化的规律。采用扫描电子显微镜和白光干涉仪对刻蚀后多晶纯铜的晶粒取向、表面形貌和表面粗糙度进行表征与测试。利用电子背散射衍射技术和白光干涉仪两种技术揭示晶粒取向与刻蚀速率的关系。结果表明:功率参数和原始表面粗糙度均能对形貌变化产生影响,且刻蚀速率的差异是导致形貌变化的主要原因;不同晶面的刻蚀程度是各向异性的,其中{100}取向晶粒的刻蚀速率比{111}和{110}取向晶粒的刻蚀速率更高;刻蚀后表面粗糙度的演变经历两个阶段:快速增加到逐渐稳定。 展开更多
关键词 多晶纯铜 晶粒取向 形貌 粗糙度
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金字塔型砂带磨粒排布对表面磨抛形貌的影响
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作者 李孝辉 田凤杰 +1 位作者 韩晓 李论 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2023年第3期364-370,共7页
为研究金字塔型砂带磨粒排布对磨抛加工工件表面形貌的影响,建立金字塔型砂带磨抛加工的数学模型及解析算法,采用Abaqus软件进行粗糙度值的模拟仿真预测,通过机器人磨抛系统平台进行金字塔型砂带磨抛实验并检测加工后工件的表面形貌,与... 为研究金字塔型砂带磨粒排布对磨抛加工工件表面形貌的影响,建立金字塔型砂带磨抛加工的数学模型及解析算法,采用Abaqus软件进行粗糙度值的模拟仿真预测,通过机器人磨抛系统平台进行金字塔型砂带磨抛实验并检测加工后工件的表面形貌,与仿真预测值进行对比。结果表明:粗糙度仿真预测值与实际测量值变化趋势相同,吻合度良好,误差在0.03μm以内,最大误差率为16.6%。仿真模型与实验过程保持一致,可以用于预测金字塔型砂带磨抛加工的表面粗糙度。 展开更多
关键词 金字塔型砂带 磨粒有序排布 Abaqus仿真 粗糙度 表面形貌
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工艺参数对Ni_(81)Fe_(19)薄膜磁性及微结构影响 被引量:6
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作者 赵洪辰 于广华 +2 位作者 金成元 苏世漳 朱逢吾 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期243-245,共3页
在不同本底真空和工作气压下制备了不同厚度的Ni81Fe19/Ta薄膜,并进行了磁性测量 和原子力显微镜分析.结果表明,较厚的薄膜、较高的本底真空和较低的工作气压下制备的薄 膜有较大的各向异性磁电阻.其原因是高本底真空和... 在不同本底真空和工作气压下制备了不同厚度的Ni81Fe19/Ta薄膜,并进行了磁性测量 和原子力显微镜分析.结果表明,较厚的薄膜、较高的本底真空和较低的工作气压下制备的薄 膜有较大的各向异性磁电阻.其原因是高本底真空和低工作气压导致大晶粒度和低粗糙度,进 而降低电子的散射,减小电阻R,增大△R/R.而较厚薄膜中,大晶粒度的作用将抵消高粗糙度的 负作用,使△R/R值增大. 展开更多
关键词 各向异性磁电阻 表面粗糙度 晶粒尺寸 镍铁薄膜 磁性 微结构 工艺参数
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表面粗糙度对轴流泵性能的影响 被引量:11
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作者 冯建军 朱国俊 +2 位作者 贺锐 罗兴锜 卢金玲 《西北农林科技大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2016年第3期196-202,共7页
【目的】探讨表面粗糙度与当量粗糙度之间的转换关系,研究在不同表面粗糙度条件下过流部件对轴流泵性能的影响。【方法】首先以圆管流动为研究对象,采用CFD数值模拟方法研究粗糙度对管道沿程损失的影响,通过数值计算结果与试验数据的对... 【目的】探讨表面粗糙度与当量粗糙度之间的转换关系,研究在不同表面粗糙度条件下过流部件对轴流泵性能的影响。【方法】首先以圆管流动为研究对象,采用CFD数值模拟方法研究粗糙度对管道沿程损失的影响,通过数值计算结果与试验数据的对比,验证所建立的转换关系和所采用的数值计算方法及其相关参数的准确性和合理性;在此基础上展开某轴流泵在不同工况下过流部件粗糙度变化对其性能的影响研究。【结果】过流部件的表面粗糙度对轴流泵的水力效率和扬程有较大影响。最优工况下,与无粗糙度相比,粗糙度为3.2,6.3和12.5μm时,泵扬程分别下降0.3,0.5和0.7m,效率分别下降4.7%,5.7%和6.8%。【结论】建立了表面粗糙度与当量粗糙度之间的转换关系;通过研究粗糙壁面对管道沿程损失和轴流泵性能的影响,验证了CFD数值方法的可行性及准确性。 展开更多
关键词 轴流泵 表面粗糙度 当量粗糙度 圆管流动 CFD数值计算
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基于表面粗糙度参数的管道当量粗糙度快速评测 被引量:7
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作者 郭永鑫 杨开林 +2 位作者 郭新蕾 李甲振 付辉 《水利学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第2期178-185,共8页
管道水力摩阻系数的精确取值是输水工程水力设计的重要前提,当量粗糙度k是计算水力摩阻系数的基础参数,然而传统的水力学试验方法检测k值需耗费较多的人、财、物、时。研究首先对3种不同粗糙度内衬的球墨铸铁管进行水力学性能的试验检测... 管道水力摩阻系数的精确取值是输水工程水力设计的重要前提,当量粗糙度k是计算水力摩阻系数的基础参数,然而传统的水力学试验方法检测k值需耗费较多的人、财、物、时。研究首先对3种不同粗糙度内衬的球墨铸铁管进行水力学性能的试验检测,基于不确定度理论给出合理的k值。在此基础上,采用触针式表面粗糙度仪对管道内壁的表面粗糙度参数进行检测,将检测结果与k值进行比较,结合国外已有试验数据,分析给出工程中管道k值的快速评测方法:当粗糙度轮廓的算术平均偏差Ra≤10μm或粗糙度轮廓的最大高度Rz≤50μm时,取样长度为lr=2.5 mm,采用中线制评定所得的Rz≈k,可使用Rz值代表k值对管道的水力性能进行评价。研究成果也可用于生产中管道内涂层加工质量的控制和提高。 展开更多
关键词 管道 水力摩阻系数 测量不确定度 表面粗糙度参数 当量粗糙度
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粗糙集理论在粮食产量影响因素分析中的应用 被引量:5
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作者 项利国 沈益民 +1 位作者 何勇 余心杰 《浙江大学学报(农业与生命科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期343-346,共4页
针对影响粮食产量因素很多的现状,本文利用粗糙集理论在数据分析、决策分析等方面的优势,分析了浙江省粮食产量的影响因素,找出了主要的影响因素,为粮食生产的科学管理提供了依据.
关键词 粗糙集理论 粮食产量 影响因素 应用 数据分析 决策分析 约简算法 知识约简
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塔中地区土壤风蚀的影响因子分析 被引量:19
11
作者 何清 杨兴华 +1 位作者 艾力.买买提明 刘新春 《干旱区地理》 CSCD 北大核心 2010年第4期502-508,共7页
以塔中地区为例,利用野外观测数据和通过对比分析,论述了气候、地表粗糙度(包括植被覆盖)以及地表土壤特性等因子对土壤风蚀的影响,并对这些影响因子进行了量化研究。结果表明:塔中地区的年平均风蚀气候因子指数C为28.3,从季节分布上来... 以塔中地区为例,利用野外观测数据和通过对比分析,论述了气候、地表粗糙度(包括植被覆盖)以及地表土壤特性等因子对土壤风蚀的影响,并对这些影响因子进行了量化研究。结果表明:塔中地区的年平均风蚀气候因子指数C为28.3,从季节分布上来说,夏季最大为13.9,冬季最小仅为0.7,C值与风速有着密切的指数关系;塔中地区的地表粗糙度Z0平均为6.32×10-5m,地表粗糙度小,加重了该地区的土壤风蚀程度;塔中地区的土壤类型特点、地表土壤平均粒径小、缺乏植被覆盖以及地表土壤含水率低为该地区土壤风蚀的发生提供了良好的条件。塔中地区土壤风蚀的现状是该地区气候、地表粗糙度以及地表土壤特性等因子共同作用的结果。 展开更多
关键词 塔克拉玛干沙漠 地表粗糙度 粒径 含水率 土壤风蚀
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国内外PS版用铝板基综合测试与分析 被引量:11
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作者 高作文 梁岩 王琦 《轻合金加工技术》 CAS 2001年第5期26-29,共4页
对国内外10种PS板基样品进行了综合测试,分析了板基材料在化学成分、表面粗糙度、晶粒度、退火力学性能参数等几项主要指标上的差异及其对最终PS版质量的影响。
关键词 PS版 粗糙度 晶粒度 砂目 综合测试 印刷 铝板基
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表面粗糙度对固体内部超声背散射的影响 被引量:2
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作者 宋永锋 李雄兵 +1 位作者 史亦韦 倪培君 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第21期196-206,共11页
超声背散射法可通过多晶体金属内部的空间方差信号,实现微观结构参数的无损评价,但表面粗糙度对评价模型的精度及实用性存在显著影响.基于高斯声束理论推导垂直入射粗糙界面的纵波声场,以此研究声能的Wigner分布规律;在超声的波长远大... 超声背散射法可通过多晶体金属内部的空间方差信号,实现微观结构参数的无损评价,但表面粗糙度对评价模型的精度及实用性存在显著影响.基于高斯声束理论推导垂直入射粗糙界面的纵波声场,以此研究声能的Wigner分布规律;在超声的波长远大于粗糙度的前提下,构造表面粗糙度修正系数,并建立粗糙界面的单次散射响应模型,揭示粗糙度对超声波背向散射的影响规律.用304不锈钢制备轮廓均方根值为0.159μm的光滑试块和25.722μm的粗糙试块开展超声背散射实验,结果表明模型在粗糙度修正前后均可实现光滑试块的晶粒尺寸有效评价,但未经修正的传统模型对粗糙试块的晶粒尺寸评价结果与金相法结果的相对误差高达-21.35%,而本模型的评价结果与金相法结果符合得很好,相对误差仅为1.35%.可见,本模型能有效补偿粗糙度引起的超声背散射信号衰减,从而提高晶粒尺寸无损评价的精度. 展开更多
关键词 超声背散射 表面粗糙度 晶粒尺寸 无损评价
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细粒难选金红石矿粗选抛尾研究进展 被引量:6
14
作者 陈龙 高利坤 +1 位作者 戚鹏 董方 《矿产综合利用》 CAS 北大核心 2015年第4期12-15,共4页
我国金红石资源多为原生金红石矿,且大多品位较低,嵌布粒度细,矿石性质复杂,属于难选矿石,选矿成本过高导致大量金红石资源不能得到开发利用。如何有效降低金红石选矿成本以及提高资源的综合利用率是金红石选矿研究的重点。本文综述了... 我国金红石资源多为原生金红石矿,且大多品位较低,嵌布粒度细,矿石性质复杂,属于难选矿石,选矿成本过高导致大量金红石资源不能得到开发利用。如何有效降低金红石选矿成本以及提高资源的综合利用率是金红石选矿研究的重点。本文综述了我国近年来对细粒难选金红石矿粗选抛尾研究进展,对相关的选矿工艺特点及规律做出了总结,指出了现阶段存在的问题和新的研究方向。 展开更多
关键词 细粒 金红石 粗选 抛尾
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表面纳米化对2024铝合金耐磨性能的影响 被引量:4
15
作者 马慧娟 顾艳红 +2 位作者 车俊铁 陈玲玲 张建军 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期56-59,85,共5页
为了提高2024铝合金的耐磨性,采用超声波冷锻技术在2024铝合金表面进行纳米化处理,在其表面成功制备了纳米化处理层。利用透射电镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)观察分析了试样表面的微观形貌、晶粒大小和粗糙度;利用显微硬度计分析了铝合... 为了提高2024铝合金的耐磨性,采用超声波冷锻技术在2024铝合金表面进行纳米化处理,在其表面成功制备了纳米化处理层。利用透射电镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)观察分析了试样表面的微观形貌、晶粒大小和粗糙度;利用显微硬度计分析了铝合金基体和纳米化处理层的硬度;采用高速往复摩擦磨损试验机研究了纳米化处理层在3.5%Na Cl溶液中的耐磨性。结果表明:经超声波冷锻处理后铝合金表面晶粒得到细化;纳米化处理层的平均表面粗糙度仅为5.50 nm;纳米化处理后的硬度为106.72 HV,是铝合金基体的1.36倍;纳米化处理后的摩擦系数由0.80降到0.65,磨损量也有所减少,磨痕深度也比铝合金基体的浅。综上可得:超声波冷锻技术提高了2024铝合金的耐磨性。 展开更多
关键词 2024铝合金 超声波冷锻 耐磨性 形貌 晶粒 粗糙度
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基于粗糙集的粮食产量组合预测模型 被引量:13
16
作者 郑文钟 何勇 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期75-78,共4页
为预测粮食总产量,建立了基于粗糙集的粮食产量组合预测模型。通过建立预测模型与预测对象的关系数据模型,离散化属性数据值来建立知识表达系统和决策表,并依据粗糙集理论计算出预测对象对预测模型的依赖度、预测模型的重要度以及组合... 为预测粮食总产量,建立了基于粗糙集的粮食产量组合预测模型。通过建立预测模型与预测对象的关系数据模型,离散化属性数据值来建立知识表达系统和决策表,并依据粗糙集理论计算出预测对象对预测模型的依赖度、预测模型的重要度以及组合预测模型中各单一模型的权系数。利用浙江省粮食总产量的历史数据建立了粮食产量组合预测模型,分析表明所建模型有较好的预测效果。 展开更多
关键词 粮食 产量 预测 粗糙集
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铁基多元纳米晶合金的表面研究 被引量:1
17
作者 杨磊 严彪 +1 位作者 何国球 陈成澍 《上海有色金属》 CAS 2005年第1期7-10,共4页
采用原子力显微镜(AFM)对新开发的铁基多元纳米晶合金Fe85 2Zr3 3Nb3 5B3Si3Al1Cu1在淬火态、550℃等温退火处理10min、1h和10h的情况下进行了观察和分析,估算了退火态薄带表面的粗糙度、粗糙度与退火时间的关系以及粗糙度与表面晶粒尺... 采用原子力显微镜(AFM)对新开发的铁基多元纳米晶合金Fe85 2Zr3 3Nb3 5B3Si3Al1Cu1在淬火态、550℃等温退火处理10min、1h和10h的情况下进行了观察和分析,估算了退火态薄带表面的粗糙度、粗糙度与退火时间的关系以及粗糙度与表面晶粒尺寸的关系,初步探讨了退火态样品表面晶粒生长的方式和机理。 展开更多
关键词 退火态 表面 铁基 淬火 纳米晶合金 薄带 等温退火 晶粒生长 原子力显微镜 粗糙度
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镍基高温合金珩磨表面粗糙度研究 被引量:3
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作者 高绍武 杨长勇 +4 位作者 徐九华 傅玉灿 周晓卫 闫文 左朋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期223-227,232,共6页
为探索镍基高温合金的珩磨加工性,进而实现镍基高温合金精密孔的高效加工,进行了GH4169定量进给珩磨试验,并对珩磨加工表面粗糙度进行了分析。结果表明:油石平均粒径及每往复进给量是影响珩磨表面粗糙度的显著因素(置信水平分别为99.5%... 为探索镍基高温合金的珩磨加工性,进而实现镍基高温合金精密孔的高效加工,进行了GH4169定量进给珩磨试验,并对珩磨加工表面粗糙度进行了分析。结果表明:油石平均粒径及每往复进给量是影响珩磨表面粗糙度的显著因素(置信水平分别为99.5%及95%),切向珩磨速度、轴向往复速度对珩磨表面粗糙度的影响不显著;减小油石平均粒径与每往复进给量后,单颗磨粒的平均切厚、珩磨表面粗糙度和工件表面的划痕沟槽宽度减小。 展开更多
关键词 珩磨 粒径 表面粗糙度 正交试验 显著性
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基于粗糙集理论和BP神经网络的粮食产量预测方法 被引量:9
19
作者 杨雨时 董连杰 管琳 《农机化研究》 北大核心 2014年第11期34-37,共4页
结合粗糙集理论和BP神经网络在信息处理方面的优势,建立了一个基于粗糙集理论和BP神经网络的系统模型,并在此基础上用于粮食产量预测。仿真结果表明,该模型较之传统的预测方法显著地提高了预测的速度和精度,在实际中有着良好的应用前景。
关键词 粗糙集 BP神经网络 粮食产量 预测
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半固着磨具“陷阱”效应影响因素分析 被引量:4
20
作者 赵萍 王志伟 袁巨龙 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第20期2399-2403,共5页
以抛光后无表面损伤的单晶硅片为试件,以表面粗糙度Ra为指标,对半固着磨具的"陷阱"效应进行试验分析,讨论大颗粒浓度及尺寸、磨具硬度、加工载荷、磨具转速对"陷阱"效应的影响。研究结果表明:对一定尺寸的大颗粒,... 以抛光后无表面损伤的单晶硅片为试件,以表面粗糙度Ra为指标,对半固着磨具的"陷阱"效应进行试验分析,讨论大颗粒浓度及尺寸、磨具硬度、加工载荷、磨具转速对"陷阱"效应的影响。研究结果表明:对一定尺寸的大颗粒,当大颗粒数量不超过临界值时,大颗粒可全部陷入,"陷阱"效应发挥;当大颗粒尺寸较大、磨具硬度较高、加工载荷较大时,不利于"陷阱"效应发挥。 展开更多
关键词 半固着磨具 “陷阱”效应 大颗粒 表面粗糙度
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