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题名基于光电技术的圆度测量及最小二乘评定
被引量:3
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作者
纪小辉
陈彤
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机构
西安工业大学光电工程学院
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出处
《科学技术与工程》
2010年第27期6741-6744,共4页
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文摘
提出了一种基于光电技术测量圆度误差的新方法。该方法将圆度误差转化为轴上物点的移动,利用理想光组轴向放大率理论来实现微位移的放大,并通过采用位置敏感探测器将光斑像点的位移转化为电信号的输出,从而实现位移与电信号的转化;在测量圆度的同时,采用圆光栅来测量工件转角,实现整周的圆轮廓实时记录;对于圆度误差的评定采用最小二乘法,并经过对比实验,证实该方法的测量原理可行,实现了圆度误差的整周连续测量,其测量精度可以达到1μm。
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关键词
圆度误差
轴向放大率
位置敏感探测器
最小二乘法
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Keywords
roundness error longitudinal magnification psd least square approximation
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分类号
TH161.1
[机械工程—机械制造及自动化]
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