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Composition change and capacitance properties of ruthenium oxide thin film 被引量:1
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作者 刘泓 甘卫平 +1 位作者 刘仲武 郑峰 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期8-13,共6页
Ru O2·n H2O film was deposited on tantalum foils by electrodeposition and heat treatment using Ru Cl3·3H2O as precursor.Surface morphology, composition change and cyclic voltammetry from precursor to amorpho... Ru O2·n H2O film was deposited on tantalum foils by electrodeposition and heat treatment using Ru Cl3·3H2O as precursor.Surface morphology, composition change and cyclic voltammetry from precursor to amorphous and crystalline RuO2·n H2O films were studied by X-ray diffractometer, Fourier transformation infrared spectrometer, differential thermal analyzer, scanning electron microscope and electrochemical analyzer, respectively. The results show that the precursor was transformed gradually from amorphous to crystalline phase with temperature. When heat treated at 300 °C for 2h, RuO2·n H2O electrode surface gains mass of2.5 mg/cm2 with specific capacitance of 782 F/g. Besides, it is found that the specific capacitance of the film decreased by roughly20% with voltage scan rate increasing from 5 to 250 m V/s. 展开更多
关键词 ruthenium oxide thin film heat treatment composition change electrochemical capacitor
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Rapid communication Ruthenium disulfide thin films prepared by the successive ionic layer adsorption and reaction (SILAR) method 被引量:1
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作者 LIUXiaoxin JINZhengguo ZHAOJuan BUShaojing 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第1期93-96,共4页
RuS_2 thin films were prepared by the cost-effective chemicalmethod―successive ionic layer adsorption and reaction (SILAR). The structural, optical, andelectrical properties were investigated using X-ray diffraction,... RuS_2 thin films were prepared by the cost-effective chemicalmethod―successive ionic layer adsorption and reaction (SILAR). The structural, optical, andelectrical properties were investigated using X-ray diffraction, scanning electron microscopy,optical transmittance, and electrical resistivity methods. The results indicate that the films arehomogeneous and dense; the structure of the as-deposited films is amorphous and they crystallizeafter annealed at 500℃ for 30 min. The band gap of the as-deposited films is found to be 1.85 eV,and the electrical resistivity of them is in the order of 10~5 Ω·cm. 展开更多
关键词 thin film SILAR method ruthenium disulfide
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Effect of Pretreatment of TaN Substrates on Atomic Layer Deposition Growth of Ru Thin Films
3
作者 周觅 陈韬 +4 位作者 谭晶晶 茹国平 蒋玉龙 高冉 屈新萍 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2007年第5期1400-1402,共3页
The polycrystalline ruthenium films are grown on TaN substrates by atomic layer deposition (ALD) using bis(cyclopentadienyl) ruthenium [RuCp2] and oxygen as ruthenium precursor and reactant respectively at a depos... The polycrystalline ruthenium films are grown on TaN substrates by atomic layer deposition (ALD) using bis(cyclopentadienyl) ruthenium [RuCp2] and oxygen as ruthenium precursor and reactant respectively at a deposition temperature of 330℃. The low-energy Ar ion bombardment and Ru pre-deposition are performed to the underlying TaN substrates before ALD process in order to improve the Ru nucleation. X-ray diffraction, x-ray photoelectron spectroscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy are carried out to characterize the properties of ALD Ru films. The results show that the nucleation density of Ru films with Ar^+ bombardment to the underlying TaN substrates is much higher than that of the ones without any pretreatment. The possible reasons are discussed. 展开更多
关键词 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION ruthenium filmS NANOSTRUCTURE BARRIER
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PREPARATION OF PHOTOFUNCTIONAL POLYMER THIN FILMS BY LANGMUIR-BLODGETT TECHNIQUE 被引量:1
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作者 Tokuji Miyashita Tatsuo Taniguchi Yoshihito Fukasawa 《Chinese Journal of Polymer Science》 SCIE CAS CSCD 1999年第1期75-79,共5页
Polymer LB films containing photofuntional groups were prepared by the copolymerization of N-dodecylacrylamide (DDA), which has an excellent property to form a stable monolayer and LB multilayerswith photofunctional m... Polymer LB films containing photofuntional groups were prepared by the copolymerization of N-dodecylacrylamide (DDA), which has an excellent property to form a stable monolayer and LB multilayerswith photofunctional monomers. Tris(2, 2'-bipyridine) ruthenium complex, Ru(bpy)_3^(2+), one of the most well-known redox-active sensitizer, was incorporated into the DDA copolymer. The photogalvanic effect based onthe photoinduced electron transfer using the ruthenium complex in the polymer LB monolayer was discussed. 展开更多
关键词 Photofunctional polymer Polymer LB film N-Dodecylacrylamide ruthenium complex
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Interaction of RuO<sub>2</sub>and Lead-Silicate Glass in Thick-Film Resistors 被引量:3
5
作者 Gulmurza Abdurakhmanov Gulbahor S. Vakhidova Lutfullo X. Tursunov 《World Journal of Condensed Matter Physics》 2011年第1期1-5,共5页
Results of investigation of X-ray diffraction, infrared and optical spectra of powders of the ruthenium dioxide, lead-silicate glass as well as their mixture before and after sintering are reported. Sintering conditio... Results of investigation of X-ray diffraction, infrared and optical spectra of powders of the ruthenium dioxide, lead-silicate glass as well as their mixture before and after sintering are reported. Sintering conditions typical for thick film resistors were used. Intensity of main lines of RuO2 in X-ray diffraction patterns of sintered mixtures decreases and they slightly shift towards small angles. No new reflexes appear in these patterns. Absorbance of RuO2 in the range of 2.5-100 μm is proportional to and featureless. Infrared spectrum of lead-silicate glass has absorption bands of [SiO4]4- tetrahedra and Pb-O bonds only. Optical spectrum of RuO2 has wide absorption bands at 950 and 370 nm. Spectra of the mixture of RuO2 and glass powders before and after sintering are different indicating that there is interaction between them during the sintering process. Concentration of free charge carriers estimated from the optical spectra is about 1021 cm-3. 展开更多
关键词 ruthenium Dioxide Lead-Silicate Glass Thick film RESISTORS Infra Red And Optical Spectra X-Ray Diffraction
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苯基磷酸联吡啶钌络合物敏化纳晶多孔TiO_2薄膜电极光电性能研究 被引量:25
6
作者 杨蓉 王维波 +3 位作者 敬炳文 肖绪瑞 张曼华 沈涛 《感光科学与光化学》 CSCD 1997年第4期293-296,共4页
苯基磷酸联吡啶钌络合物敏化纳晶多孔TiO2薄膜电极光电性能研究*杨蓉王维波敬炳文肖绪瑞**张曼华沈涛(中国科学院感光化学研究所,北京100101)关键词联吡啶钌,TiO2薄膜,染料敏化用有机光敏染料敏化半导体,通过染... 苯基磷酸联吡啶钌络合物敏化纳晶多孔TiO2薄膜电极光电性能研究*杨蓉王维波敬炳文肖绪瑞**张曼华沈涛(中国科学院感光化学研究所,北京100101)关键词联吡啶钌,TiO2薄膜,染料敏化用有机光敏染料敏化半导体,通过染料分子的吸附功能基团与半导体相互作... 展开更多
关键词 联吡啶钌 敏化 二氧化钛薄膜 络合物 半导体
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超细氢氧化亚镍的溶胶凝胶法制备及其准电容特性 被引量:11
7
作者 王晓峰 王大志 梁吉 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第2期117-122,共6页
以聚乙二醇为抑制剂,采用溶胶凝胶法制备了粒径小于200nm且具有链珠状特殊形态的超细氢氧化亚镍电极材料.伏安特性测试和电化学阻抗测试表明在氢氧化亚镍中掺加适量碳纳米管可以显著改善电极材料的容量特性和阻抗特性,其中碳纳米管质量... 以聚乙二醇为抑制剂,采用溶胶凝胶法制备了粒径小于200nm且具有链珠状特殊形态的超细氢氧化亚镍电极材料.伏安特性测试和电化学阻抗测试表明在氢氧化亚镍中掺加适量碳纳米管可以显著改善电极材料的容量特性和阻抗特性,其中碳纳米管质量分数为20%的复合电极其比电容量可以达到320F·g-1.采用复合电极作为正极,活性炭电极作为负极组成的复合型电化学电容器最大工作电压可以达到1.6V,具有良好的容量特性和大电流放电特性.恒流充放电测试证明复合型电化学电容器具有高能量密度及高功率放电特性,电容器的峰值功率密度为8.6W·g-1.当以0.88W·g-1功率放电时,电容器能量密度可达20.11W·h·kg-1,当采用3.46W·g-1的高功率进行放电时,复合型电容器的能量密度仍然能够达到11.11W·h·kg-1. 展开更多
关键词 复合型电化学电容器 氢氧化亚镍 碳纳米管 活性炭
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沉积温度对磁控溅射镀钌薄膜微观结构和附着力的影响 被引量:2
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作者 王盼 潘应君 +2 位作者 洪波 徐源源 杨林 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2017年第1期23-26,共4页
采用中频磁控溅射技术在钼圆片表面镀覆钌薄膜,通过X射线衍射仪、扫描电镜、平整度仪、宏观浸蚀试验和百格测试等对镀层进行表征和检测,研究不同沉积温度对薄膜微观结构和附着力的影响。结果表明,随着沉积温度由室温升至200℃,钌薄膜的... 采用中频磁控溅射技术在钼圆片表面镀覆钌薄膜,通过X射线衍射仪、扫描电镜、平整度仪、宏观浸蚀试验和百格测试等对镀层进行表征和检测,研究不同沉积温度对薄膜微观结构和附着力的影响。结果表明,随着沉积温度由室温升至200℃,钌薄膜的表面平整性和致密性逐步改善,附着力得以提高;200℃沉积薄膜的膜/基结合力最大,其微观结构、致密性等也均达到最优;但当沉积温度进一步提高到300℃时,钌薄膜的表面起伏反而增大,附着力有所下降。 展开更多
关键词 钌薄膜 钼基片 磁控溅射 镀膜 沉积温度 附着力 微观结构
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旋转涂覆法制备氧化钌电极材料及其性能研究 被引量:3
9
作者 李祥 甘卫平 马贺然 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期339-342,共4页
采用旋转涂覆工艺制备了RuO2薄膜电极,SEM揭示了RuO2薄膜的厚度为7.7~8.0μm,拉伸实验测试得该薄膜附着力的平均值为18.00MPa;XRD结构分析表明该薄膜的最理想烧结温度为270℃。此外,进一步的电化学性能测试表明RuO2薄膜的循环伏安、充... 采用旋转涂覆工艺制备了RuO2薄膜电极,SEM揭示了RuO2薄膜的厚度为7.7~8.0μm,拉伸实验测试得该薄膜附着力的平均值为18.00MPa;XRD结构分析表明该薄膜的最理想烧结温度为270℃。此外,进一步的电化学性能测试表明RuO2薄膜的循环伏安、充放电及阻抗性能优良,该薄膜电极的比电容Cp、能量密度W、功率密度P及内阻ESR分别为705.3F/g、141.05Wh/kg、0.41kW/kg、0.436Ω。 展开更多
关键词 旋转涂覆法 氧化钌 薄膜厚度 附着力 电化学性能
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多金属氧酸盐-三(2,2′-联吡啶)钌层接层自组装纳米复合膜的制备及光致发光性质 被引量:2
10
作者 马慧媛 彭军 +2 位作者 韩占刚 冯宇华 王恩波 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1993-1995,共3页
A photo-luminescent multilayer film based on Keggin-type polyoxometalate PMo 12O 3- 40 and transition metal complex tris(2,2-bipyridine) ruthenium [Ru(bpy) 3] 2+ was prepared by using layer-by-layer assembly(LBL). The... A photo-luminescent multilayer film based on Keggin-type polyoxometalate PMo 12O 3- 40 and transition metal complex tris(2,2-bipyridine) ruthenium [Ru(bpy) 3] 2+ was prepared by using layer-by-layer assembly(LBL). The formation of multilayer film was monitored by ultraviolet absorption spectra(UV). The absorption intensity of characteristic peaks increases with a four-layer cycle, indicating that the LBL assembly film grows linearly and reproducibly. The composition of the film was measured by X-ray photoelectron spectrum(XPS). The film exhibited photo-luminescence arising from π*-t 2g ligand-to-metal transition of Ru(bpy). 展开更多
关键词 多金属氧酸盐 层接层自组装 光致发光
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钽电容器用钽壳内壁RuO_2薄膜电极的表征及电化学性能 被引量:2
11
作者 甘卫平 刘继宇 +2 位作者 刘泓 李祥 马贺然 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期882-886,共5页
采用涂覆热分解氯化钌的方法,在金属钽壳内壁表面形成二氧化钌薄膜涂层,作为钽电容器的负极材料,可以提高全钽电容器的寿命及可靠性.采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪对二氧化钌薄膜的表面形貌和结构进行表征.采用循环伏安、恒流充放电... 采用涂覆热分解氯化钌的方法,在金属钽壳内壁表面形成二氧化钌薄膜涂层,作为钽电容器的负极材料,可以提高全钽电容器的寿命及可靠性.采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪对二氧化钌薄膜的表面形貌和结构进行表征.采用循环伏安、恒流充放电和电化学阻抗谱等测试手段来表征二氧化钌薄膜电极的电化学性能.研究结果表明,热处理温度为280℃时制备的二氧化钌薄膜呈无定形的非晶态,薄膜电极具有212F/g的电容量,电化学性能良好.组装成ST3型60V330μF全钽电容器,经过赋能、电老化后容量约为345μF,等效串联电阻小于1Ω,漏电流小于10μA. 展开更多
关键词 钽电容器 二氧化钌 薄膜电极
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二氧化硅/氧化钌超级电容器电极材料的制备 被引量:2
12
作者 霍玉秋 闫玉涛 +1 位作者 翟玉春 李明东 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期261-264,共4页
以水合三氯化钌和正硅酸乙酯为原料,以钛片为基底,采用热分解氧化法制备了二氧化硅/氧化钌复合膜电极,利用扫描电子显微镜观察电极表面形貌,利用循环伏安曲线法研究电极的电容性能·考察了原料配比,烧结温度,烧结时间等制备条件对... 以水合三氯化钌和正硅酸乙酯为原料,以钛片为基底,采用热分解氧化法制备了二氧化硅/氧化钌复合膜电极,利用扫描电子显微镜观察电极表面形貌,利用循环伏安曲线法研究电极的电容性能·考察了原料配比,烧结温度,烧结时间等制备条件对电极电容性能的影响·结果发现,二氧化硅/氧化钌复合膜电极具有优良的电容性能,当水合三氯化钌与正硅酸乙酯的物质的量的比为5∶2,烧结温度为350℃,烧结时间为1h时单电极的比容量最高可达137mF·cm-2,比文献值提高了近3个数量级· 展开更多
关键词 二氧化硅 氧化钌 复合材料 膜电极 电容性能 热分解氧化法
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花生酸-钌有机螯合物Ru(phen)_3^(2+)的单分子膜和LB膜中分子聚集行为的研究 被引量:1
13
作者 方堃 邹纲 +1 位作者 吕卫星 何平笙 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第7期1220-1224,共5页
以功能性的钌有机螯合物Ru(phen) 2 + 3 作为亚相离子 ,花生酸在亚相表面上形成稳定的单分子膜 .π A等温线和动态弹性测量表明 ,此膜因花生酸与钌螯离子发生了静电相互作用而有更大的可压缩性 ,并在固态区发生了分子聚集 .用垂直法成... 以功能性的钌有机螯合物Ru(phen) 2 + 3 作为亚相离子 ,花生酸在亚相表面上形成稳定的单分子膜 .π A等温线和动态弹性测量表明 ,此膜因花生酸与钌螯离子发生了静电相互作用而有更大的可压缩性 ,并在固态区发生了分子聚集 .用垂直法成功地制备了嵌有Ru(phen) 2 + 3 离子的超薄有序Y 型LB膜 .光谱实验表明 ,所得LB膜是稳定、均匀的层状三明治结构 ,在层面内Ru(phen) 2 + 3 与花生酸结合成相对稳定的分子基团并形成了J 展开更多
关键词 花生酸 单分子膜 分子聚集行为 钌有机螯合物 LB膜 J-聚体 动态弹性 结构
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羧基氧化钌薄膜的热分解机理及其伏安性能 被引量:4
14
作者 刘泓 甘卫平 +2 位作者 郑峰 李祥 马贺然 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1-7,共7页
以RuCl3.3H2O异丙醇溶液为前驱体,采用原位分解法制备了超级电容器用羧基氧化钌薄膜。借助X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、电化学分析仪和扫描电镜等手段,研究了薄膜的热分解机理及其电容性能和微观形貌。结果表明:随温度升高,RuCl3.3H... 以RuCl3.3H2O异丙醇溶液为前驱体,采用原位分解法制备了超级电容器用羧基氧化钌薄膜。借助X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、电化学分析仪和扫描电镜等手段,研究了薄膜的热分解机理及其电容性能和微观形貌。结果表明:随温度升高,RuCl3.3H2 O异丙醇溶液经历了先复合再分解的物相演变的过程之后才生成羧基氧化钌薄膜。羧基对薄膜的性能有重要影响,薄膜经300℃保温2 h处理后比电容达728 F.g-1,1000次充放电循环后保持在99.47%,附着力达24.56 MPa。 展开更多
关键词 羧基氧化钌 原位分解法 电容性能 超级电容器 薄膜电极
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染料修饰掺杂纳米晶TiO_2薄膜的光电转换性能
15
作者 陈刚 许蕾 +1 位作者 刘保峰 赵晓旭 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2003年第1期85-87,91,共4页
用溶胶-凝胶法制备了掺杂锌离子的纳米晶TiO2薄膜,并用4,4’-二羧酸联吡啶钌对其敏化.实验结果表明,通过羧酸基与纳米晶TiO2薄膜电极发生强相互作用,实现了染料激发态向纳米晶TiO2薄膜电极导带高效注入电子,从而使宽禁带半导体的光电转... 用溶胶-凝胶法制备了掺杂锌离子的纳米晶TiO2薄膜,并用4,4’-二羧酸联吡啶钌对其敏化.实验结果表明,通过羧酸基与纳米晶TiO2薄膜电极发生强相互作用,实现了染料激发态向纳米晶TiO2薄膜电极导带高效注入电子,从而使宽禁带半导体的光电转换效率得到提高. 展开更多
关键词 染料修饰 光电转换 溶胶-凝胶法 纳米晶TiO2薄膜 太阳能电池 半导体 锌离子掺杂
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贵金属钌的制备、性能及应用研究进展 被引量:3
16
作者 张仁耀 郭俊梅 +1 位作者 闻明 管伟明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第21期21243-21248,共6页
贵金属钌在现代工业中具有广泛的应用。本文首先介绍了钌块体的制备方法,对钌块体的塑性、机加工性能及其影响因素进行了分析,介绍了X衍射测定钌块体内应力的方法;其次,综述了钌薄膜的制备方法,介绍了钌薄膜在集成电路中作为铜的粘结层... 贵金属钌在现代工业中具有广泛的应用。本文首先介绍了钌块体的制备方法,对钌块体的塑性、机加工性能及其影响因素进行了分析,介绍了X衍射测定钌块体内应力的方法;其次,综述了钌薄膜的制备方法,介绍了钌薄膜在集成电路中作为铜的粘结层/扩散阻挡层、磁记录媒介中作为中间层/籽晶层、抗氧化保护层材料及电接触材料等方面的应用;最后,总结了目前钌研究的不足之处,并对其未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 制备方法 钌薄膜 工业应用
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H_4SiW_(12)O_(40)和双偶极Ru(II)配合物形成的静电自组装多层膜 被引量:4
17
作者 张玉琦 高丽华 +3 位作者 段智明 王科志 王业亮 高鸿钧 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第7期738-741,共4页
制备了含有H4SiW12 O40 和双偶极Ru(II)配合物交替层的一个新颖静电自组装多层膜 .用紫外可见光谱、循环伏安学、原子力显微镜对薄膜进行了表征和性质研究 .结果表明 :膜沉积平稳、均匀 ,所制得的薄膜具有较好的电化学活性 .AFM图像表明... 制备了含有H4SiW12 O40 和双偶极Ru(II)配合物交替层的一个新颖静电自组装多层膜 .用紫外可见光谱、循环伏安学、原子力显微镜对薄膜进行了表征和性质研究 .结果表明 :膜沉积平稳、均匀 ,所制得的薄膜具有较好的电化学活性 .AFM图像表明钌 (II)配合物和H4SiW12 O40 层具有明显不同的微区结构 . 展开更多
关键词 硅钨酸 双偶极钌配合物 静电自组装多层膜 电化学性能 光电分子器件
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钌粉提纯和钌靶制备的研究进展 被引量:12
18
作者 邓瑞 闻明 +2 位作者 陈家林 郭俊梅 杜怡霖 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期82-87,共6页
钌靶在电子信息行业中具有重要的应用价值,我国的钌靶制备技术与国外相比尚存在一定差距。综述了钌提纯中传统提纯工艺和新提纯工艺的特点。对比了热压(HP)、直接热压(DHP)和放电等离子烧结(SPS)等不同工艺加工所得钌靶的差异。分析了... 钌靶在电子信息行业中具有重要的应用价值,我国的钌靶制备技术与国外相比尚存在一定差距。综述了钌提纯中传统提纯工艺和新提纯工艺的特点。对比了热压(HP)、直接热压(DHP)和放电等离子烧结(SPS)等不同工艺加工所得钌靶的差异。分析了靶材的纯度、密度、晶粒大小、晶面取向、成分和组织的均匀性等特性对溅射薄膜的影响。探讨了高品质钌靶的制约因素和发展方向。 展开更多
关键词 金属材料 靶材 提纯 制备 溅射薄膜
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一个本科生化学综合设计实验——双偶极Ru(Ⅱ)配合物和普鲁士蓝自组装多层膜的研究 被引量:1
19
作者 孙伟海 马淑风 +4 位作者 杨胜 耿翀 韩枫 张红娟 王科志 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期52-55,共4页
用一种双偶极Ru(Ⅱ)配合物和普鲁士蓝分别代替一个本科生化学综合设计实验中的半菁和杂多阴离子,成功地制备了双偶极Ru(Ⅱ)配合物和普鲁士蓝的静电自组装多层膜,并通过紫外-可见光谱和电化学技术对薄膜进行了表征.结果表明:多层膜可被... 用一种双偶极Ru(Ⅱ)配合物和普鲁士蓝分别代替一个本科生化学综合设计实验中的半菁和杂多阴离子,成功地制备了双偶极Ru(Ⅱ)配合物和普鲁士蓝的静电自组装多层膜,并通过紫外-可见光谱和电化学技术对薄膜进行了表征.结果表明:多层膜可被均匀沉积厚达至少12层,膜中普鲁士蓝与Ru(Ⅱ)配合物之间发生较强的电荷转移作用,具有良好的电化学活性. 展开更多
关键词 双核钌配合物 普鲁士蓝 自组装膜 紫外一可见光谱 循环伏安技术
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磁控溅射沉积钌薄膜的微观结构及生长过程 被引量:4
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作者 沈月 余登德 +5 位作者 王书明 许彦亭 王传军 施晨琦 闻明 杜风贞 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期44-52,共9页
采用射频磁控溅射,通过改变基底温度、溅射时间、基底形貌,制备不同参数的钌薄膜。结果表明,该工艺制备的钌薄膜均没有明显的择优取向。随着溅射温度的升高,薄膜的致密性不断提高,表面由平整向起伏型结构转变,晶粒尺寸出现先增大后减小... 采用射频磁控溅射,通过改变基底温度、溅射时间、基底形貌,制备不同参数的钌薄膜。结果表明,该工艺制备的钌薄膜均没有明显的择优取向。随着溅射温度的升高,薄膜的致密性不断提高,表面由平整向起伏型结构转变,晶粒尺寸出现先增大后减小的趋势。随着溅射时间的增加,晶粒尺寸小幅增加,晶粒由圆形状演变为致密的长条状。在表面形貌较平坦的基底上更易获得光滑而致密的钌薄膜。在此基础上,研究并讨论了不同基底形貌上钌薄膜的生长方式。 展开更多
关键词 磁控溅射 钌薄膜 微观形貌 薄膜生长模型
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