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Step-scan DSC研究PET/纳米CaCO_3复合材料的结晶和熔融行为 被引量:3
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作者 孙莉莉 王群玥 +3 位作者 王磊 顾振 郑康 田兴友 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期108-112,共5页
采用纳米碳酸钙(CaCO3)浆料直接分散于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的单体乙二醇中,原位聚合制备出分散均匀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)/CaCO3纳米复合材料。分别利用传统的差示扫描量热仪(DSC)和步进扫描DSC(Step-scan DSC)技术研究了Ca... 采用纳米碳酸钙(CaCO3)浆料直接分散于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的单体乙二醇中,原位聚合制备出分散均匀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)/CaCO3纳米复合材料。分别利用传统的差示扫描量热仪(DSC)和步进扫描DSC(Step-scan DSC)技术研究了CaCO3含量变化对PET结晶和熔融行为的影响及非等温结晶动力学过程。结果表明,纳米粒子与PET的相互作用较弱,对PET结晶主要起促进作用,使结晶更加完善,碳酸钙的含量达到3%时,相对结晶速率达到最大。结晶初期,纳米粒子异相成核作用占优势,这种优势随着纳米粒子含量的增加而有所减弱;结晶后期,纳米粒子对高分子运动的牵制作用比较明显。 展开更多
关键词 聚对苯二甲酸乙二醇酯 纳米碳酸钙 非等温结晶 熔融 步进扫描差热分析
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基于自适应步长的电力系统谐波谐振快速分析方法
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作者 胡智敏 胡海涛 +3 位作者 李朝阳 艾磊 游奕弘 张华赢 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2024年第16期165-173,共9页
随着电力系统的快速发展,其规模越来越大、节点数量越来越多,频率扫描法和模态分析法作为目前应用最为广泛的两种谐波谐振分析方法,计算效率亟须提升。在传统方法的基础上,文中分别提出基于自适应步长的频率扫描法和基于自适应步长的模... 随着电力系统的快速发展,其规模越来越大、节点数量越来越多,频率扫描法和模态分析法作为目前应用最为广泛的两种谐波谐振分析方法,计算效率亟须提升。在传统方法的基础上,文中分别提出基于自适应步长的频率扫描法和基于自适应步长的模态分析法。首先,通过设置相应判据自适应改变扫描步长,使扫描区间能够快速到达谐振频率点附近,大幅减少了计算量;然后,在谐振频率点附近使用二次插值法确定谐振频率,保证了谐振频率计算精度;最后,以IEEE 14节点、IEEE 39节点和IEEE 118节点系统为例进行分析。结果表明,与传统方法相比,所提两种方法在保证谐振频率精度的同时可大幅提高运算速度,验证了所提方法的准确性和高效性。 展开更多
关键词 谐波谐振 频率扫描 模态分析 自适应步长 二次插值
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弱分界面下物流AGV障碍物识别系统设计
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作者 胡跃明 《机械设计与制造工程》 2024年第10期57-61,共5页
针对当前AGV无法对障碍物做出前瞻性预判的问题,设计一种优化智能物流AGV障碍物激光扫描识别系统。将采集的数据生成图片并进行去噪处理,利用背景减除等方法检测障碍物,并传输信号到AGV系统中;基于多步前瞻算法及TOF测距方法,完成障碍... 针对当前AGV无法对障碍物做出前瞻性预判的问题,设计一种优化智能物流AGV障碍物激光扫描识别系统。将采集的数据生成图片并进行去噪处理,利用背景减除等方法检测障碍物,并传输信号到AGV系统中;基于多步前瞻算法及TOF测距方法,完成障碍物的弱分界面区分迭代识别及测距。实验结果表明:设计的系统应用到AGV中,障碍物平均正检率高于90%,且障碍物面积检测计算的误差率最大仅为3.94%,设计的系统具有一定的实用价值。 展开更多
关键词 自动导引小车 弱分界面 障碍物 激光扫描 多步前瞻算法
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A two-step transient liquid phase diffusion bonding process of T91 steels 被引量:4
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作者 Chen Sijie Tang Hengjuan Zhao Pifeng 《China Welding》 EI CAS 2017年第2期52-57,共6页
In this study, a two-step heating process is introduced for transient liquid phase ( TLP) diffusion bonding fo r sound joints with T91 heat resistant steels. At first, a short-time higher temperature heatin... In this study, a two-step heating process is introduced for transient liquid phase ( TLP) diffusion bonding fo r sound joints with T91 heat resistant steels. At first, a short-time higher temperature heating step is addressed to melt the interlayer, followed by the second step to complete isothermal solidification at a low temperature. The most critical feature of our new method is producing a non-planar interface at the T9/ heat resistant steels joint. We propose a transitional liquid phase bonding of T91 heat resistant steels by this approach. Since joint microstructures have been studied, we tested the tensile strength to assess joint mechanical property. The result indicates that the solidified bond may contain a primary solid-solution, similar composition to the parent metal and free from precipitates. Joint tensile strength of the joint is not lower than parent materials. Joint bend's strengths are enhanced due to the higher metal-to-metal junction producing a non-planar bond lines. Nevertheless, the traditional transient liquid phase diffusion bonding produces planar ones. Bonding parameters of new process are 1 260 °C for 0. 5 min and 1 230 °C fo r 4 min. 展开更多
关键词 T91 transient liquid phase diffusion bonding two-step heating process scanning electron microscopy
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Fazari’s Sign in Ultrasound Scan of Morbid Adherent Placenta/Placenta Accreta Spectrum (MAP/PAS) and Fazari’s Triad during (MAP/PAS) Surgery
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作者 Atif Bashir Eltayeb Fazari Zeinabsadat Tabatabaei Hakim 《Open Journal of Obstetrics and Gynecology》 2020年第4期599-603,共5页
Morbid Adherent Placenta (MAP)/Placenta Accreta Spectrum (PAS) is a serious diagnosis which has a risk of complications. Ultrasound scan helps in early diagnosis and has great value in further confirmation and follow ... Morbid Adherent Placenta (MAP)/Placenta Accreta Spectrum (PAS) is a serious diagnosis which has a risk of complications. Ultrasound scan helps in early diagnosis and has great value in further confirmation and follow up. Observed new clinical sign and associated clinical triad are discussed here. 展开更多
关键词 MORBID Adherent PLACENTA (MAP)/Placenta Accreta Spectrum (PAS) Ultrasound scan Stair step SIGN Fazari’s TRIAD
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Observation of atomic steps on CaCO_3 crystal surface
6
作者 Sun Jie-Lin Hu Jun +2 位作者 Zhang Yi Chen Sheng-Fu Ouyang Zhen-Qian and Li Min-Qian (Shanghai Institute of Nuclear Research, the Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800 ) 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 1998年第2期90-91,共2页
By using scanning polarization force microscopy,the deliquescence process and the atomic steps on the cleavage surface of CaCO3 in air were studied in situ.Under an exposure to medium umidity(-57%),the sloiw step move... By using scanning polarization force microscopy,the deliquescence process and the atomic steps on the cleavage surface of CaCO3 in air were studied in situ.Under an exposure to medium umidity(-57%),the sloiw step movement has been observed. 展开更多
关键词 CaCO3晶体表面 原子阶跃 观测
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Moir patterns and step edges on few-layer graphene grown on nickel films
7
作者 柯芬 尹秀丽 +6 位作者 佟鼐 林陈昉 刘楠 赵汝光 付磊 刘忠范 胡宗海 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期445-449,共5页
Few-layer graphene grown on Ni thin films has been studied by scanning tunneling microscopy. In most areas on the surfaces, moir6 patterns resulted from rotational stacking faults were observed. At a bias lower than 2... Few-layer graphene grown on Ni thin films has been studied by scanning tunneling microscopy. In most areas on the surfaces, moir6 patterns resulted from rotational stacking faults were observed. At a bias lower than 200 mV, only one sublattice shows up in regions without moir6 patterns while both sublattices are seen in regions with moir6 pattens. This phenomenon can be used to identify AB stacked regions. The scattering characteristics at various types of step edges are different from those of monolayer graphene edges, either armchair or zigzag. 展开更多
关键词 scanning tunneling microscopy few-layer graphene stacking order step edge
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国外凝视型舰载红外搜索与跟踪系统综述
8
作者 朱耘 《舰船电子工程》 2023年第5期19-25,共7页
为一种被动式告警系统,舰载红外搜索与跟踪系统(IRST)能够可探测和跟踪掠海反舰导弹和低空威胁目标,为舰船作战管理系统和指挥控制系统提供目标指示信息,在提高舰船的态势告警能力和自防御能力方面具有不可替代的优势。与传统的360°... 为一种被动式告警系统,舰载红外搜索与跟踪系统(IRST)能够可探测和跟踪掠海反舰导弹和低空威胁目标,为舰船作战管理系统和指挥控制系统提供目标指示信息,在提高舰船的态势告警能力和自防御能力方面具有不可替代的优势。与传统的360°机械扫描的IRST系统相比较,新型的凝视型IRST系统使用多个基于FPA阵列凝视非转动传感器组件,增大俯仰角覆盖,具有的高数据更新率确保快速反应时间,增强了对高速低探测性目标以及非对称威胁目标的自动探测和跟踪性能。论文介绍国外新型凝视型舰载红外搜索与跟踪系统的发展现状、技术特点和应用,对重点技术进行了分析。 展开更多
关键词 红外搜索与跟踪(IRST) 舰载 扫描 全凝视 步进凝视 焦平面阵列(FPA)
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红外搜索系统步进扫描模式下搜索能力研究
9
作者 张启鹏 夏斌 冯亮 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1405-1409,共5页
步进扫描是红外搜索系统实现大俯仰空间搜索的一种方式,用于探测较大高度范围内来袭目标。由于步进过程中俯仰基线需要不断调整,致使俯仰搜索范围与目标高度的重合存在一定偶然性,其搜索能力很难通过外场试验的方式进行评估。针对采用... 步进扫描是红外搜索系统实现大俯仰空间搜索的一种方式,用于探测较大高度范围内来袭目标。由于步进过程中俯仰基线需要不断调整,致使俯仰搜索范围与目标高度的重合存在一定偶然性,其搜索能力很难通过外场试验的方式进行评估。针对采用步进扫描方式的红外搜索系统,分析了目标与搜索系统瞬时视场相遇的规律,以目标与固定基线下红外搜索系统瞬时视场的相遇概率模型为基础,进一步给出了红外搜索系统步进扫描模式下的相遇概率模型,以某红外搜索系统为例,利用该模型对比了两种步进扫描模式的搜索效果,分析了步进扫描模式下不同搜索空域范围对作用距离及相应相遇概率的影响,为评估该类型红外搜索系统的搜索能力和最大程度发挥其能力提供了可以参考的方法。 展开更多
关键词 红外搜索 步进扫描 相遇概率 作用距离
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基于变速扫描技术的大尺寸台阶测量(英文) 被引量:3
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作者 雷李华 李源 +3 位作者 蔡潇雨 魏佳斯 傅云霞 邵力 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第7期200-207,共8页
为了提高大尺寸台阶结构的单边测量精度、缩短测量时间,基于变速扫描技术,并利用傅里叶变换提取法及单边台阶评价算法进行扫描干涉信号的处理,提出并搭建了具有变速扫描功能的白光干涉测量系统。并且利用该系统对标称值为9.976±0.... 为了提高大尺寸台阶结构的单边测量精度、缩短测量时间,基于变速扫描技术,并利用傅里叶变换提取法及单边台阶评价算法进行扫描干涉信号的处理,提出并搭建了具有变速扫描功能的白光干涉测量系统。并且利用该系统对标称值为9.976±0.028μm的台阶标准样板进行了测量,10次重复性测量结果为9.971μm,标准偏差量为0.007μm,测量时间仅为35 s,远小于常规扫描方法的222 s,大大缩短了测量时间,因此说明了该系统在大尺寸台阶结构测量中,具有较高的精确性与高效性。 展开更多
关键词 白光干涉 变速扫描 台阶标准样板
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窄禁带碲镉汞调制光谱的近期进展和前景(英文) 被引量:8
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作者 邵军 马丽丽 +6 位作者 吕翔 吴俊 李志峰 郭少令 何力 陆卫 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期1-6,20,共7页
简要介绍了红外光调制反射谱和调制光致发光谱的最新进展,并重点比较了相对于传统实验方法在信噪比,谱分辨率和实验耗时等方面所取得的显著进展.给出了在MBE生长HgCdTe薄膜样品研究中的应用实例,显示了该技术在光谱研究窄禁带半导体带... 简要介绍了红外光调制反射谱和调制光致发光谱的最新进展,并重点比较了相对于传统实验方法在信噪比,谱分辨率和实验耗时等方面所取得的显著进展.给出了在MBE生长HgCdTe薄膜样品研究中的应用实例,显示了该技术在光谱研究窄禁带半导体带间和低维结构带内跃迁方面的应用前景. 展开更多
关键词 步进扫描傅立叶变换红外光谱仪 红外光调制反射 调制光致发光 信噪比 谱分辨率
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频率步进高距离分辨技术在圆锥扫体制中的应用 被引量:3
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作者 孙厚军 杜谦 +1 位作者 李镇 邓次军 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1996年第1期75-80,共6页
对频率步进高距离分辨技术在圆锥扫描体制雷达中的应用做了探讨,分析了在锥扫体制下利用频率步进高距离分辨技术获取目标的距离回波而据以识别目标的方法、目标识别和获取角误差信号的关系,选择雷达频率步进脉冲串参数的原则,分析计... 对频率步进高距离分辨技术在圆锥扫描体制雷达中的应用做了探讨,分析了在锥扫体制下利用频率步进高距离分辨技术获取目标的距离回波而据以识别目标的方法、目标识别和获取角误差信号的关系,选择雷达频率步进脉冲串参数的原则,分析计算了由锥扫带来的目标回波幅度对目标距离回波波形特征的影响,最后对于给定的一组圆锥扫描参数,用计算机进行仿真,给出了典型目标在典型背景下的结果. 展开更多
关键词 频率步进 高距离分辨 圆锥扫描体制 雷达
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可调谐激光吸收光谱学检测甲烷浓度的新方案研究 被引量:19
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作者 曹家年 张可可 王琢 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2597-2602,共6页
基于可调谐二极管激光吸收光谱的光纤气体传感器检测气体浓度,具有灵敏度高、选择性好、响应时间快等优点。目前报导的基于二次谐波的气体浓度检测系统,普遍采用一次、二次谐波幅值之比作为系统输出,消除光强波动的影响。研究中分析了... 基于可调谐二极管激光吸收光谱的光纤气体传感器检测气体浓度,具有灵敏度高、选择性好、响应时间快等优点。目前报导的基于二次谐波的气体浓度检测系统,普遍采用一次、二次谐波幅值之比作为系统输出,消除光强波动的影响。研究中分析了二次谐波检测方案的特点与不足,提出利用一次谐波检测甲烷的浓度,以一次谐波峰峰值与平均值的比值作为系统输出,系统结构简单,并可抑制光源波长漂移和扫描步长等因素对系统检测精度的影响。实验结果表明甲烷的浓度与系统输出值之间具有很好的线性关系,其线性拟合系数为0.999,系统的分辨率和检测精度分别为20×10-6和100×10-6。 展开更多
关键词 光纤气体传感器 可调谐二极管激光吸收光谱 波长漂移 扫描步长
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星载CO_2探测频率步进扫描IPDA激光雷达回波信号反演及误差分析 被引量:4
14
作者 陈思颖 马泱 +2 位作者 郭磐 张寅超 陈和 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期848-852,共5页
设计了星载CO_2探测频率步进扫描积分路径差分吸收(IPDA)激光雷达,弥补了欧洲航天局ASCOPE项目单波长CO_2探测IPDA激光雷达对波长依赖性较强等不足.仿真计算了一个扫描周期内的激光雷达回波信号和系统的相对随机误差、大气压强不确定性... 设计了星载CO_2探测频率步进扫描积分路径差分吸收(IPDA)激光雷达,弥补了欧洲航天局ASCOPE项目单波长CO_2探测IPDA激光雷达对波长依赖性较强等不足.仿真计算了一个扫描周期内的激光雷达回波信号和系统的相对随机误差、大气压强不确定性误差以及频率不稳定性误差.当频率步进扫描到on-line波长为6 361.235 0cm-1时,在海面反射率为0.035sr-1、大气压强不确定性为0.001以及激光频率不稳定性为0.3MHz条件下,系统综合相对误差为0.084 2%.结果表明,采用频率步进扫描方法结合IPDA激光雷达技术探测大气CO_2浓度不仅可以观察到相对误差随on-line波长变化的关系,而且可以有效地减小测量误差,使其小于0.5×10^(-6). 展开更多
关键词 CO2 IPDA激光雷达 星载系统 步进扫描 反演 误差分析
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两种新的时间分辨光谱技术 被引量:3
15
作者 锁志勇 魏先文 +4 位作者 徐正 刘德军 余智 张昀 李重德 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2000年第3期404-410,共7页
时间分辨光谱(Time Resolved Spectrometry, TRS)是研究物质光物理、光化学性质的基本手段。本文简要介绍了这一领域中较新的两种光谱技术:相调制法测定荧光寿命(Phase-shift and  D... 时间分辨光谱(Time Resolved Spectrometry, TRS)是研究物质光物理、光化学性质的基本手段。本文简要介绍了这一领域中较新的两种光谱技术:相调制法测定荧光寿命(Phase-shift and  Demodulation Measurement ofFluorescence Lifetime)和利用步进扫描(Step-Scan)技术测量瞬态红外吸收光谱。 展开更多
关键词 时间分辨光谱 相调制法 步进扫描 荧光寿命
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数字相控阵雷达步进频合成宽带宽角扫描研究 被引量:3
16
作者 吴道庆 陈涛 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2009年第12期1-4,共4页
数字相控阵雷达宽带宽角扫描存在波束指向偏差和孔径渡越问题,导致信噪比降低,脉压主瓣展宽,距离分辨率下降。频率步进信号在各脉冲周期内都是窄带信号,是常用的合成宽带信号,可以在获得距离高分辨率的同时降低对雷达瞬时带度的要求,从... 数字相控阵雷达宽带宽角扫描存在波束指向偏差和孔径渡越问题,导致信噪比降低,脉压主瓣展宽,距离分辨率下降。频率步进信号在各脉冲周期内都是窄带信号,是常用的合成宽带信号,可以在获得距离高分辨率的同时降低对雷达瞬时带度的要求,从而降低了对雷达系统的要求。将步进频合成宽带技术应用到数字相控阵雷达,采用子脉冲移频移相方法可以消除波束指向偏差和孔径渡越影响,实现数字相控阵雷达宽带宽角扫描。并通过仿真计算,给出一些对工程实现有用的结论。 展开更多
关键词 宽带宽角扫描 步进频率合成 数字相控阵雷达
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不同形态纳米粒子对PET纳米复合物熔融结晶行为的影响 被引量:3
17
作者 刘晨 李鹏 +1 位作者 路向辉 薛祺 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期115-117,共3页
通过step-scan DSC(SDSC)来研究PET纳米复合物等温结晶的熔融重结晶行为,研究了结晶时间,纳米粒子含量以及纳米粒子形态对PET纳米复合物熔融重结晶行为的影响。PET纳米复合物在熔融过程中出现双峰,这主要是由于熔融重结晶引起的。随着... 通过step-scan DSC(SDSC)来研究PET纳米复合物等温结晶的熔融重结晶行为,研究了结晶时间,纳米粒子含量以及纳米粒子形态对PET纳米复合物熔融重结晶行为的影响。PET纳米复合物在熔融过程中出现双峰,这主要是由于熔融重结晶引起的。随着结晶时间的增加PET复合物低温峰强度逐渐增大而高温峰则逐渐减小;而纳米粒子含量增加,低温峰强度减小,高温峰强度增大;当纳米粒子含量相同时,PET/Attapulgite(PET/At)双峰的强度以及峰位都要高于PET/SiO2,SiO2含量从0.5%增加到2%,PET/SiO2双峰强度有一个突变。 展开更多
关键词 step-scan DSC PET纳米复合物 重结晶 缠结网络
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一种简易结构步进分幅式航空相机摆扫控制系统 被引量:4
18
作者 周黎 杨世洪 高晓东 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期128-133,共6页
步进分幅式成像是提高传统面阵CCD航空相机工作覆盖范围的重要方法。本文介绍了一种简易结构的步进分幅式航空相机。相机采用步进电机开环控制实现摆扫过程,适用于对体积和重量要求严格的场合。文中着重介绍了一种基于正矢函数的高阶平... 步进分幅式成像是提高传统面阵CCD航空相机工作覆盖范围的重要方法。本文介绍了一种简易结构的步进分幅式航空相机。相机采用步进电机开环控制实现摆扫过程,适用于对体积和重量要求严格的场合。文中着重介绍了一种基于正矢函数的高阶平滑步进电机运动曲线的设计及其在DSP平台上的实现方法。实验表明,该运动控制方式有效地抑制了冲击和振动,避免了步进电机的丢步,重复性定位精度优于10″。系统结构简单,成本低,满足分幅式航空相机的要求。 展开更多
关键词 步进分幅成像 航空相机 步进摆扫 步进电机
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电化学原位步进扫描时间分辨显微镜FTIR反射光谱 被引量:2
19
作者 周志有 孙世刚 +2 位作者 陈声培 司迪 贡辉 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第11期989-993,共5页
结合步进扫描傅立叶变换红外光谱仪和红外显微镜,建立了电化学原位步进扫描时间分辨显微镜FTIR反射光谱.采用微电极和利用纳米结构表面的异常红外效应,显著提高表面吸附物种的红外检测灵敏度和红外电极表面对极化电位的响应速度,使广泛... 结合步进扫描傅立叶变换红外光谱仪和红外显微镜,建立了电化学原位步进扫描时间分辨显微镜FTIR反射光谱.采用微电极和利用纳米结构表面的异常红外效应,显著提高表面吸附物种的红外检测灵敏度和红外电极表面对极化电位的响应速度,使广泛应用的外反射型薄层红外电解池的时间常数(τ=R1Cd)从使用常规盘电极的约40ms降低到0.65ms.研究了酸性介质中CO在Pt电极上的吸附过程,谱图的时间分辨率达50μs. 展开更多
关键词 电化学原位步进扫描时间分辨显微镜 FTIR 反射光谱 时间分辨红外光谱 红外显微镜 铂微电极 CO 吸附 一氧化碳 酸性介质
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步进扫描光刻机硅片台连续扫描时间优化算法 被引量:5
20
作者 潘海鸿 李小清 +2 位作者 严思杰 陈琳 周云飞 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期154-161,共8页
为减少步进扫描光刻机连续曝光扫描运动的扫描过渡时间(扫描时间和步进时间),将硅片台扫描方向曝光扫描运动分解为逻辑步进运动和逻辑扫描运动,提出扫描和步进运动时间重叠的轨迹规划算法(时间重叠算法)处理连续曝光扫描运动。在不破坏... 为减少步进扫描光刻机连续曝光扫描运动的扫描过渡时间(扫描时间和步进时间),将硅片台扫描方向曝光扫描运动分解为逻辑步进运动和逻辑扫描运动,提出扫描和步进运动时间重叠的轨迹规划算法(时间重叠算法)处理连续曝光扫描运动。在不破坏运动约束条件下(恒速运动要求以及速度、加速度边界限制),根据时间重叠算法重新计算并推导不同扫描运动路径下连续扫描运动过程的步进和扫描运动转折点。经理论分析和硅片曝光场连续曝光实例计算表明:基于时间重叠算法的轨迹规划可获得时间优化的硅片台连续曝光扫描,比传统扫描方法减少曝光扫描运动过程中的无效率时间,提高步进扫描光刻机生产率,为步进扫描光刻机工程实践提供理论基础。 展开更多
关键词 步进扫描光刻机 硅片台 连续曝光扫描 时间重叠规划 多项式运动轨迹
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