大气状态下SPM纳米加工系统的开发

对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 30 nm宽的氧化结构 。