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Fabrication of grating-like polystyrene latex monolayer structure as three-dimensional calibration standards for scanning probe microscope
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作者 朱国栋 曾志刚 +2 位作者 国璋 杜强国 严学俭 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期997-1001,共5页
This paper illuminates the preparation of grating-like polystyrene latex monolayer structure, which can minimize the effects of the size deviation of spheres and the defect transfer on the accuracy as calibration samp... This paper illuminates the preparation of grating-like polystyrene latex monolayer structure, which can minimize the effects of the size deviation of spheres and the defect transfer on the accuracy as calibration samples for micro-scopes. The latex films are grown on freshly cleaved mica substrates by vertical deposition method. The concentration dependence of the structure and the topography of latex films is characterized by optical microscope, ultraviolet- visible transmission spectrum and scanning probe microscope. The origination of such a grating-like structure is also discussed. 展开更多
关键词 polystyrene spheres scanning probe microscope grating-like structure calibration samrile
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Observations of Wood Cell Walls with a Scanning Probe Microscope
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作者 Manami Yamashita Masato Yoshida +2 位作者 Miyuki Matsuo Saori Sato Hiroyuki Yamamoto 《Materials Sciences and Applications》 2016年第10期644-653,共11页
Scanning Probe Microscopes (SPMs) observe specimen surfaces with probes by detecting the physical amount of a material between the cantilever and the surface. SPMs have a high resolution and can measure mechanical cha... Scanning Probe Microscopes (SPMs) observe specimen surfaces with probes by detecting the physical amount of a material between the cantilever and the surface. SPMs have a high resolution and can measure mechanical characteristics such as stiffness, adsorptive properties, and viscoelasticity. These features make it easy to identify the surface structure of complex materials;therefore, the use of SPMs has increased in recent years. Wood cell walls are primarily composed of cellulose, hemicellulose, and lignin. It is believed that hemicellulose and lignin surround the cellulose framework;however, their detailed formation remains unknown. Therefore, we observed wood cell walls via scanning probe microscopy to try to reveal the formation of the cellulose framework. We determined that the size of the cellulose microfibril bundle and hemicellulose lignin module composite was 18.48 nm based on topography and that the size of the cellulose microfibril bundle was 15.33 nm based on phase images. In the viscoelasticity image, we found that the viscoelasticities of each cell wall of the same cell were not the same. This is because the cellulose microfibrils in each cell wall lean in different directions. The angle between the leaning of the cellulose microfibril and the cantilever affects the viscoelasticity measurement. 展开更多
关键词 scanning probe microscope Wood Cell Wall Cellulose Microfibril HEMICELLULOSE LIGNIN
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STUDY ON THE SCANNING PROBE MICROSCOPE WITH WIDE MEASURING RANGE
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《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 1997年第1期1-6,共3页
STUDYONTHESCANNINGPROBEMICROSCOPEWITHWIDEMEASURINGRANGEZhangHonghai,CaoWei,LiWenju,ShiHanmin,ChenRiyaoHuazhn... STUDYONTHESCANNINGPROBEMICROSCOPEWITHWIDEMEASURINGRANGEZhangHonghai,CaoWei,LiWenju,ShiHanmin,ChenRiyaoHuazhngUniversityofScie... 展开更多
关键词 WIDE microscope ON probe RANGE scanning STUDY THE MEASURING WITH
全文增补中
EXPERIMENTAL RESEARCH OF NANO-CUTTING BY USING SCANNING PROBE MICROCOPE
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作者 Fu Huinan (Institute of Manufacturing Technology,Guangdong University of Technology) Xu Xipeng (Huaqiao University) 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2001年第4期297-299,304,共4页
An experimental study on cutting amorphous alloy at nanometer scale is conducted by applying the principle and technology of scanning probe microscope(SPM) It is revealed from the experiments that cutting inside SPM... An experimental study on cutting amorphous alloy at nanometer scale is conducted by applying the principle and technology of scanning probe microscope(SPM) It is revealed from the experiments that cutting inside SPM is an excellent and direct way to research the material removal process at small size Based on the experimental results,the chip formation mechanism for the cutting of amorphous alloy is discussed It is found that the deformation along the direction of chip flow occurs ahead of the appearance of localized shear,and a simplified geometrical model is proposed to illustrate the deformation. 展开更多
关键词 scanning probe microscope(spm) NANOTECHNOLOGY Cutting mechanism
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Effect of SPM Scanning Range on the Micromorphology Parameters
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作者 Libing Liao Suozai Li (School of materials Science and engineering, China University of Geosciences, Beijing 100083, China) 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第1期36-38,共3页
The surface of a compact disk is analyzed by using SPM and the quantitative micromorphology analysissoftware SPMIAS developed by the author. Images at the same position but with different scanning ranges areobtained ... The surface of a compact disk is analyzed by using SPM and the quantitative micromorphology analysissoftware SPMIAS developed by the author. Images at the same position but with different scanning ranges areobtained under the same experimental conditions. Micromorphology parameters are calculated and compared, andthe relationship between the changing of the scanning range and the changing of micromorphology parameters issummarized. 展开更多
关键词 scanning probe microscope(spm) MICROMORPHOLOGY micromorphology parameters
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基于扫描探针显微镜(SPM)的高密度信息存储 被引量:3
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作者 姜桂元 元文芳 +2 位作者 温永强 高鸿钧 宋延林 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1034-1040,共7页
随着信息技术的飞速发展,高密度信息存储的研究成为国际上备受关注的研究领域。扫描探针显微技术(SPM)通过改变材料的光、电、磁等局域特性可以实现纳米尺度的信息存储,成为提高信息存储密度的最有效手段之一。本文从信息存储材料和技... 随着信息技术的飞速发展,高密度信息存储的研究成为国际上备受关注的研究领域。扫描探针显微技术(SPM)通过改变材料的光、电、磁等局域特性可以实现纳米尺度的信息存储,成为提高信息存储密度的最有效手段之一。本文从信息存储材料和技术角度综述了基于SPM的高密度信息存储最近的研究进展,并讨论了其将来的研究与发展方向。 展开更多
关键词 高密度信息存储 扫描探针显微镜 存储材料
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SPM探针制造技术的研究和发展 被引量:6
7
作者 傅惠南 王宏霞 +1 位作者 王晓红 区仲荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第6期622-628,共7页
探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表... 探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表面相互作用的过程,包含物理、几何关系,还包含表面微观化学作用及其它微观因素的影响。本文探讨探针与表面相互作用关系,并就近些年探针技术发展讨论探针性能、针尖及相应结构的改进,探针功能的拓展以及功能的组合,讨论相关制备技术方法、特点和相应检测条件、适用环境等。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 针尖
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基于SPM的纳米加工技术研究进展 被引量:4
8
作者 闫永达 孙涛 +2 位作者 董申 梁迎春 程凯 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期38-43,共6页
扫描探针显微镜(SPM)使人们不仅可以观察到物质表面的微观形貌,还可以在微纳米尺度上对样品表面进行加工,这种方法有可能成为未来微纳米器件的主要制作方法,成为推动人类科学和技术发展的新动力。主要介绍基于SPM的三种纳米加工方法:单... 扫描探针显微镜(SPM)使人们不仅可以观察到物质表面的微观形貌,还可以在微纳米尺度上对样品表面进行加工,这种方法有可能成为未来微纳米器件的主要制作方法,成为推动人类科学和技术发展的新动力。主要介绍基于SPM的三种纳米加工方法:单原子操纵法、阳极氧化法和机械刻蚀法。详细阐述了各自的原理、特点及发展状况,并指出阳极氧化法是目前最有可能应用在实际生产制造中的加工方法,而机械刻蚀法则不仅可以作为纳米加工的手段,还可以应用于纳米加工机理方面的研究。 展开更多
关键词 纳米加工 扫描探针显微镜 单原子操纵 阳极氧化 机械刻蚀
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SPM图像模拟、表面重建及探针估计 被引量:4
9
作者 陈宇航 黄文浩 +1 位作者 鲁健 党学明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期649-653,共5页
扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果 ,它只是被测样品实际形貌的近似描述 ,所以进行定量的SPM图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要。本文分析比较了几种SPM图像处理的算法 ,且应用数学形态学方法给出了一些典型... 扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果 ,它只是被测样品实际形貌的近似描述 ,所以进行定量的SPM图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要。本文分析比较了几种SPM图像处理的算法 ,且应用数学形态学方法给出了一些典型表面的图像模拟、表面重建以及探针估计的结果 。 展开更多
关键词 图像模拟 数学形态学 扫描探针显微镜 表面重建 探针估计
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开放式SPM控制系统的设计与实现 被引量:2
10
作者 丁喜冬 杨森 张进修 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1623-1627,共5页
本文设计并实现了一种新的扫描探针显微镜的开放式控制系统。该控制系统设计了灵活开放的总线接口,并对电路模块进行了优化,采取了一系列抗干扰措施,从而使之具备了接口开放、稳定性高等优点,特别适合于个性化的科学研究。本文所采用的... 本文设计并实现了一种新的扫描探针显微镜的开放式控制系统。该控制系统设计了灵活开放的总线接口,并对电路模块进行了优化,采取了一系列抗干扰措施,从而使之具备了接口开放、稳定性高等优点,特别适合于个性化的科学研究。本文所采用的开放式设计思想及总线接口的具体实现,对SPM的结构改进及商品化有一定的参考价值。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 控制 开放式 总线接口
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基于DSP的SPM反馈控制器设计 被引量:1
11
作者 丁喜冬 冯天恩 张进修 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期275-277,共3页
反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值。该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及算法的改进。测试表明,... 反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值。该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及算法的改进。测试表明,该反馈控制器功能正常,稳定性和灵活性比模拟反馈控制器有较大的提高。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 反馈 控制器 数字信号处理
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SPM探针制备的新进展 被引量:5
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作者 王宏霞 傅惠南 区仲荣 《新技术新工艺》 2005年第2期49-51,共3页
扫描探针显微技术应用越来越广泛 ,其探针制备技术也不断得到开发。从探针结构的改进和探针功能的扩展等方面对近几年来探针制备技术的相关发展进行了阐述 ,探讨了 SPM技术的拓展和新应用 ,同时也讨论各种制备方法的特点和适用条件。
关键词 探针制备 新进展 显微技术 spm 制备方法 改进 拓展 发展 扩展 开发
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基于SPM技术的表面纳米计量 被引量:1
13
作者 黄文浩 陈宇航 党学明 《微纳电子技术》 CAS 2004年第1期1-9,25,共10页
用扫描探针显微镜(SPM)技术观察三维表面形态,可以达到纳米级甚至原子量级的分辨率,所以SPM技术在计量方面有着广阔的应用前景。20年来,人们采用各种理论和方法来提高SPM的精度和稳定性,以适应表面计量领域不断提出的新要求。本文在总... 用扫描探针显微镜(SPM)技术观察三维表面形态,可以达到纳米级甚至原子量级的分辨率,所以SPM技术在计量方面有着广阔的应用前景。20年来,人们采用各种理论和方法来提高SPM的精度和稳定性,以适应表面计量领域不断提出的新要求。本文在总结表面规范与建模、高分辨率和高时间稳定性测量、图像解释与表面重建、SPM误差和校准以及纳米对准技术等研究结果的基础上,对今后发展的趋势作了展望。 展开更多
关键词 spm 扫描探针显微镜 表面纳米计量 纳米对准 图像解释 稳定性测量 校准
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使用SPM的纳米级加工技术新进展 被引量:3
14
作者 袁哲俊 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第1期45-49,共5页
扫描探针显微镜 (SPM )现在不仅用于表面微观形貌的检测 ,同时也用于纳米超精密加工和原子操纵 .该文介绍了用STM和AFM进行纳米级加工的各种最新方法 :针尖直接雕刻 ,针尖光刻加工 ,局部阳极氧化 ,原子沉积形成纳米点 ,原子去除形成沟... 扫描探针显微镜 (SPM )现在不仅用于表面微观形貌的检测 ,同时也用于纳米超精密加工和原子操纵 .该文介绍了用STM和AFM进行纳米级加工的各种最新方法 :针尖直接雕刻 ,针尖光刻加工 ,局部阳极氧化 ,原子沉积形成纳米点 ,原子去除形成沟槽微结构 ,多针尖加工 ,原子自组装形成三维结构等 .使用SPM的纳米级加工对发展微型机械。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 纳米级加工 原子操纵 spm 超精密加工
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SPM用于超精加工领域的重要性及特殊性 被引量:1
15
作者 赵清亮 李旦 董申 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 1999年第8期8-10,19,共4页
讨论了扫描探针显微镜( S P M) 作为一种显微工具的优势和不足。介绍了把 S P M 应用于超精密加工检测领域所要注意的问题,指出纳米级加工机理的研究将依赖于 S P M 的复合化及多功能化,只有实现了加工与检测的一体化才能... 讨论了扫描探针显微镜( S P M) 作为一种显微工具的优势和不足。介绍了把 S P M 应用于超精密加工检测领域所要注意的问题,指出纳米级加工机理的研究将依赖于 S P M 的复合化及多功能化,只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 超精加工 检测
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振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
16
作者 陈津平 胡晓东 +2 位作者 陈峰 郭彤 胡小唐 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期242-246,共5页
探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0~ 7kHz频带内SPM机体的简... 探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0~ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0~ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 spm图像 扫描速率 外界激振 粘弹性模型 扫描频率 固有频率 针尖-样品副
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SPM微悬臂弹性常数校准技术
17
作者 闫永达 尹大勇 +2 位作者 孙涛 费维栋 董申 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第3期174-180,185,共8页
综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用... 综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用于任意形状悬臂,校准过程简单快捷,不易损坏悬臂;静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备,操作过程麻烦,易损坏悬臂。但动态和静态测量法的精度较高,因此适用于要求提供精确力信号的场合。目前,静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2%~5%,校准过程方便快捷,具有一定的发展潜力。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 弹性常数 校准 动态测量 静态测量
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SPM抑振系数的理论与实验研究
18
作者 陈津平 胡小唐 +1 位作者 胡晓东 郭彤 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2006年第4期256-260,共5页
为分析外界振动对扫描探针显微镜(SPM)针尖-样品副的影响,提出“抑振系数”的概念.围绕SPM针尖-样品副的动态力学模型,对抑振系数的物理含义、影响因素等进行了理论分析.搭建了SPM激振、测振的实验系统,对不同的SPM扫描器、探针、样品... 为分析外界振动对扫描探针显微镜(SPM)针尖-样品副的影响,提出“抑振系数”的概念.围绕SPM针尖-样品副的动态力学模型,对抑振系数的物理含义、影响因素等进行了理论分析.搭建了SPM激振、测振的实验系统,对不同的SPM扫描器、探针、样品、针尖预应力以及针尖-样品副开/闭环对SPM抑振系数的影响进行了实验研究.在理论分析上和实验研究中,都证实SPM抑振系数与悬臂梁的有效质量、弹性系数、空气阻尼系数、针尖与样品的接触弹性系数和接触阻尼系数等相关,反映在实际SPM部件参数上,则较短的扫描器、较长的悬臂探针、较软的样品表面、较大的探针预应力、闭环控制的针尖-样品副等都是提高SPM抑振性的途经. 展开更多
关键词 振动 扫描探针显微镜 针尖-样品副 抑振系数 悬臂梁
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大气状态下SPM纳米加工系统的开发
19
作者 郭彤 胡晓东 胡小唐 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-23,共2页
对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 3... 对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 30 nm宽的氧化结构 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 纳米加工 矢量式 环境控制
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用于扩展SPM检测范围的精密定位系统
20
作者 孙涛 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期669-672,共4页
本文介绍了所研制的二维微定位柔性系统和一维精密转动系统 ,进行了相关技术的研究并给出了设计参数。使SPM能够满足高精度下的大尺寸平面样品以及球形被测样品的全范围检测 ,扩大了扫描探针显微镜 (SPM)
关键词 扫描探针显微镜 精密定位技术 三维测量 检测范围
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