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点扫描激光共焦测量研究
被引量:
2
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作者
李明周
王昭
赵宏
《工具技术》
北大核心
2003年第6期39-41,共3页
根据共焦显微术原理提出一种新型轴向扫描方式 ,在此基础上设计了一套可自动调节光强的焦点扫描激光共焦测量装置 。
关键词
共焦显微术
轴向扫描
扫描转盘
轴向分辨率
激光共焦测量
下载PDF
职称材料
题名
点扫描激光共焦测量研究
被引量:
2
1
作者
李明周
王昭
赵宏
机构
西安交通大学
出处
《工具技术》
北大核心
2003年第6期39-41,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目 (项目编号 :60 0 770 3 1)
西安交通大学"行动计划"基金资助项目 (项目编号 :[2 0 0 0 ] 0 0 0 0 0 63 )
文摘
根据共焦显微术原理提出一种新型轴向扫描方式 ,在此基础上设计了一套可自动调节光强的焦点扫描激光共焦测量装置 。
关键词
共焦显微术
轴向扫描
扫描转盘
轴向分辨率
激光共焦测量
Keywords
scanning rotation plate
,
automatically adjust light strength
,
vertical resolution
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
点扫描激光共焦测量研究
李明周
王昭
赵宏
《工具技术》
北大核心
2003
2
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职称材料
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