一体型平行弹簧扫描隧道显微镜

描述了一种新结构形式的扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）系统。该系统使用一体型平行弹簧和压电致动元件（ＰＺＴ）作为精密二维位置控制器件，使得ｘ轴和ｙ轴间的位移干扰变得极其微小。控制ｚ轴位移及试件与探针间距的压电致动元件是以悬挂方式固定在一体型平行弹簧上的，因此，对ｚ轴的位移干扰亦可忽略。