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Electronic Structures and Alloying Behaviors of Ferrite Phases in High Co-Ni Secondary Hardened Martensitic Steels 被引量:1
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作者 Guoying ZHANG+ and Meiguang ZENG (Northeastern University, Shenyang 110006, China) Guili LIU (Shenyang Polytechnic Universityt Shenyang 110023, China) 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2000年第5期495-498,共4页
The electronic structure of ferrite (tempered martensite phase) in high Co-Ni secondary hardened martensitic steel has been investigated. The local density of states (LOOS) of alloying elements in the steel displays t... The electronic structure of ferrite (tempered martensite phase) in high Co-Ni secondary hardened martensitic steel has been investigated. The local density of states (LOOS) of alloying elements in the steel displays the relationship between solid solubility and the shape of the LDOS. The bond order integral (BOI) between atoms in the steel shows that the directional bonding of the p orbital of Si or C leads to the brittleness of the steel. At last, ΣBOI between atoms demonstrate that C, Co, Mn, Cr, Mo, Si strengthen the alloyed steel through solid-solution effects. 展开更多
关键词 electronic structures and Alloying Behaviors of Ferrite Phases in High Co-Ni secondary Hardened Martensitic Steels NI
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蛋清蛋白热诱导凝胶特性研究 被引量:2
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作者 杨雅婧 徐琳 +3 位作者 杨须跃 杨须强 王超 陈振家 《中国调味品》 CAS 北大核心 2023年第11期5-10,共6页
以鸡蛋为研究对象,将蛋清于80,90,100℃下分别加热10,20,30 min制备凝胶,通过质构仪、SDS-PAGE、红外光谱、扫描电子显微镜等仪器,对其组织结构、持水力、蛋白质亚基组成、凝胶作用力组成、总巯基含量、二级结构和微观结构进行测定,分... 以鸡蛋为研究对象,将蛋清于80,90,100℃下分别加热10,20,30 min制备凝胶,通过质构仪、SDS-PAGE、红外光谱、扫描电子显微镜等仪器,对其组织结构、持水力、蛋白质亚基组成、凝胶作用力组成、总巯基含量、二级结构和微观结构进行测定,分析蛋清蛋白的凝胶特性。结果表明,随着加热温度的上升和时间的延长,硬度、胶黏性和咀嚼性呈现先上升后下降的趋势,在90℃下加热20 min时均达到了最大值,硬度为12.18 N,胶黏性为5.72 N,咀嚼性为54.96 mJ;持水力逐渐降低,在100℃下加热20 min时最低,为68.7%;可溶性蛋白含量先降低后升高,可溶性蛋白亚基条带增加;蛋清蛋白凝胶作用力中主要是疏水作用和二硫键,占比达80%以上,随着温度的升高,疏水作用比例呈上升趋势;凝胶的总巯基含量呈下降趋势,最低达到12.69μmol/L;在90℃下加热20 min时,β-折叠含量由32.16%增加到56.31%,β-转角含量由40.03%减少到18.24%,蛋白质的二级构象发生了显著的变化。 展开更多
关键词 鸡蛋 凝胶作用力 二级结构 扫描电镜
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稀土/纳米TiO_2的表面电子结构 被引量:45
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作者 梁金生 金宗哲 王静 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期74-76,共3页
用浸泽法对纳米TiO2 粉末进行稀土处理 ,制得稀土 /纳米TiO2 光催化功能材料。利用扫描隧道显微镜 /扫描隧道谱技术研究稀土 /TiO2纳米光催化材料的表面电子结构。结果表明 :在纳米TiO2 中加入铈元素制备的Ce/TiO2 纳米粉末材料 ,其表... 用浸泽法对纳米TiO2 粉末进行稀土处理 ,制得稀土 /纳米TiO2 光催化功能材料。利用扫描隧道显微镜 /扫描隧道谱技术研究稀土 /TiO2纳米光催化材料的表面电子结构。结果表明 :在纳米TiO2 中加入铈元素制备的Ce/TiO2 纳米粉末材料 ,其表面禁带内 -0 8及 +0 5eV附近可出现新能级 ,稀土能促进羟基自由基产生、提高光催化活性 ,可实现可见光条件下光催化净化空气。 展开更多
关键词 稀土 表面电子结构 纳米粉末材料 光催化活性 扫描隧道显微镜 扫描隧道谱 二氧化钛 半导体 光催化剂 空气净化
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基于ZnO阵列的银表面二次电子发射抑制技术 被引量:6
4
作者 胡天存 曹猛 +3 位作者 鲍艳 张永辉 马建中 崔万照 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2017年第2期54-60,共7页
随着卫星有效载荷的射频功率越来越大,传统的微放电抑制方法已经无法满足大功率卫星有效载荷的需求。降低大功率射频部件内表面的二次电子发射系数是抑制微放电效应的重要方法之一,通过在金属银表面构造纳米量级ZnO阵列,实现了纳米尺度... 随着卫星有效载荷的射频功率越来越大,传统的微放电抑制方法已经无法满足大功率卫星有效载荷的需求。降低大功率射频部件内表面的二次电子发射系数是抑制微放电效应的重要方法之一,通过在金属银表面构造纳米量级ZnO阵列,实现了纳米尺度银陷阱结构的制备,研究了晶种制备方式、锌盐浓度对ZnO阵列生长的影响。结果表明,采用紫外照射法制备晶种获得的ZnO阵列在样片表面分布均匀,提高锌盐浓度可改善ZnO阵列的分布均匀性。分析了ZnO阵列排列密度对银膜构筑的影响,发现在低密度的ZnO阵列上更加容易镀覆金属银。因此,获得了镀银表面基于ZnO阵列的陷阱结构制备的工艺技术,实现金属银表面二次电子发射系数最大值降低36.3%。 展开更多
关键词 微放电 二次电子发射系数 ZnO阵列 陷阱结构 抑制
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晶界结构对IF钢二次加工脆性的影响 被引量:11
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作者 曹圣泉 张津徐 +1 位作者 吴建生 陈家光 《钢铁研究学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期51-54,共4页
采用电子背散射衍射(EBSD)技术和 TEM技术对 IF钢二次加工脆性与晶界结构之间的关系进行了研究。结果表明,在 IF钢板的低温冲压成形过程中,位错在高能随机晶界处大量塞积而萌生微裂纹,随后裂纹沿着连续网状的高能随机晶界迅速扩展而导... 采用电子背散射衍射(EBSD)技术和 TEM技术对 IF钢二次加工脆性与晶界结构之间的关系进行了研究。结果表明,在 IF钢板的低温冲压成形过程中,位错在高能随机晶界处大量塞积而萌生微裂纹,随后裂纹沿着连续网状的高能随机晶界迅速扩展而导致IF钢板二次加工脆性现象;IF钢板中低Σ值(Σ≤29)的CSL晶界和小角度晶界对裂纹的扩展起阻碍作用。 展开更多
关键词 IF钢 二次加工脆性 晶界结构 电子背散射衍射
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电子束剂量率对牛肉蛋白结构和理化性质的影响 被引量:9
6
作者 程述震 王晓拓 +2 位作者 张洁 解新方 王志东 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期150-156,共7页
为探究电子束剂量率对充氮包装冷鲜牛肉蛋白结构和理化性质的影响,用高能电子加速器辐照处理黄牛背最长肌,然后于4℃条件贮藏25 d,以2.5 k Gy辐照剂量,研究辐照组(辐照剂量率分别为30、150、300 k Gy/min)和对照组对肌原纤维蛋白二级结... 为探究电子束剂量率对充氮包装冷鲜牛肉蛋白结构和理化性质的影响,用高能电子加速器辐照处理黄牛背最长肌,然后于4℃条件贮藏25 d,以2.5 k Gy辐照剂量,研究辐照组(辐照剂量率分别为30、150、300 k Gy/min)和对照组对肌原纤维蛋白二级结构、肌肉热稳定性和相关理化性质的影响。结果表明:辐照组和对照组相比,表面活性巯基质量摩尔浓度显著下降,在贮藏第0天,辐照组的活性巯基质量摩尔浓度分别下降了19.05%、22.00%和22.60%,差异显著(P<0.05);电子束处理使肌原纤维蛋白疏水性和溶解度下降,α-螺旋和β-折叠结构含量减少,无规卷曲和β-转角结构含量增加,蛋白质的无序程度增加;电子束处理组肌球蛋白氧化变性降解,对热稳定性下降。电子束处理改变了牛肉肌原纤维蛋白的结构,由此导致其某些理化性质发生变化,进而对其品质产生一定的影响,而150 k Gy/min剂量率的处理对牛肉蛋白结构和品质的影响相对较小。 展开更多
关键词 电子束剂量率 肌原纤维蛋白 二级结构 热稳定性 理化性质
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高Co-Ni二次硬化马氏体钢中合金元素对相变的影响 被引量:3
7
作者 钱存富 段占强 +1 位作者 耿平 曾梅光 《钢铁研究学报》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期25-29,共5页
利用“固体与分子经验电子理论”(EET)分析了高Co-Ni二次硬化马氏体钢中几种主要合金元素在不同状态下的价电子结构,认为Co、Ni在奥氏体中与C相互作用较强,它们能降低C的扩散能力,推迟马氏体相变。在马氏体回火过程... 利用“固体与分子经验电子理论”(EET)分析了高Co-Ni二次硬化马氏体钢中几种主要合金元素在不同状态下的价电子结构,认为Co、Ni在奥氏体中与C相互作用较强,它们能降低C的扩散能力,推迟马氏体相变。在马氏体回火过程中,Co 和Ni溶入渗碳体形成的合金渗碳体,在较高的温度下分解,使固溶于基体中的Mo 与位错充分结合。在渗碳体分解后,Mo 与C形成富C、Mo的溶质簇,或以M2C的形式析出,在基体内弥散分布,形成二次硬化。 展开更多
关键词 二次硬化 相变 价电子结构 马氏体钢 合金元素
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大气压射频微等离子体放电结构演化的粒子模拟 被引量:6
8
作者 张远涛 刘冰 葛蕾 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2997-3005,共9页
大气压射频微等离子体放电具有较大的潜在应用价值,但实验研究较困难。为此借助于粒子模拟的方法,在给定的放电间隙下,研究了电流密度及二次电子发射系数(SEEC)对射频微等离子体的放电结构的影响。模拟结果表明,随着输入电流密度的增大... 大气压射频微等离子体放电具有较大的潜在应用价值,但实验研究较困难。为此借助于粒子模拟的方法,在给定的放电间隙下,研究了电流密度及二次电子发射系数(SEEC)对射频微等离子体的放电结构的影响。模拟结果表明,随着输入电流密度的增大,放电空间逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电结构,电子密度也会随之增大,鞘层电场逐渐增强,同时电子能量概率函数(EEPF)曲线会随之整体向上偏移;而在给定的电流密度下,随着SEEC的增大,放电结构也会逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电的结构,电子密度会随之增大,同时鞘层电场会逐渐变小,高能电子(>20 eV)比例也随之减小。最后分析了在大间隙下出现鞘层主导结构的可能性。 展开更多
关键词 大气压气体放电 射频微等离子体 放电结构 粒子模拟 二次电子 电子能量概率函数
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微合金钢中第二相粒子在焊接HAZ溶解行为的价电子结构分析 被引量:3
9
作者 尹桂丽 周立岱 林成 《辽宁工业大学学报(自然科学版)》 2014年第2期124-127,共4页
基于"固体与分子经验电子理论"(EET),利用最强键的键能差△EA'MX分析第二相粒子在焊接热循环过程中的溶解行为。研究结果表明,相同的焊接热循环条件下,△EA'VC(N)值较小的VC(N)优先溶解;而△EA'TiC(N)值较大的TiC... 基于"固体与分子经验电子理论"(EET),利用最强键的键能差△EA'MX分析第二相粒子在焊接热循环过程中的溶解行为。研究结果表明,相同的焊接热循环条件下,△EA'VC(N)值较小的VC(N)优先溶解;而△EA'TiC(N)值较大的TiC(N)最后溶解;△EA'NbC(N)值居中,则NbC(N)溶解顺序居中。同时也能利用键能差值分析焊接HAZ中第二相粒子溶解程度按VC、VN、NbC、NbN、TiC、TiN顺序依次减小的规律。上述分析结果与实验结果符合很好。 展开更多
关键词 价电子结构 微合金钢 第二相粒子
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单电子器件 被引量:2
10
作者 顾宁 鲁武 +1 位作者 陆祖宏 沈浩瀛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期197-204,共8页
单电子器件作为新一代器件──量子效应器件中的重要一类,其研究工作已愈来愈被人们重视。本文对这一工作进行了较全面的回顾,同时也讨论了库仑抑制等基本效应,这是此类器件的设计基础。分析了制备单电子器件的关键技术,并简要介绍... 单电子器件作为新一代器件──量子效应器件中的重要一类,其研究工作已愈来愈被人们重视。本文对这一工作进行了较全面的回顾,同时也讨论了库仑抑制等基本效应,这是此类器件的设计基础。分析了制备单电子器件的关键技术,并简要介绍了器件的潜在应用前景及目前的研制动态。 展开更多
关键词 单电子器件 库仑抑制 量子效应器件
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电子束纳米分辨率光刻 被引量:1
11
作者 顾宁 鲁武 陆祖宏 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1994年第2期95-102,共8页
本文侧重分析电子束纳米光刻中的若干限制因素,包括电子光学系统中的象差、电子束与抗蚀剂的相互作用(散射与二次电子效应)、衬底条件等,并对已用于进行纳米分辨率电子束光刻中的一些方法进行了归纳,讨论了其应用前景.
关键词 电子束光刻 纳米光刻 纳米分辨率
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后栅型场发射显示器窜压现象的研究 被引量:1
12
作者 吴朝兴 胡利勤 +2 位作者 苏艺菁 李昱 郭太良 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期12-16,共5页
提出后栅型场发射显示器(FED)测试过程中的窜压现象,解释该现象的产生原因。阴极电极侧壁场发射电子轰击栅极导致电压表示数发生变化。针对此问题设计一种具有沟槽状介质层结构的后栅型FED从而避免阴极电极侧壁的电子发射。采用全印... 提出后栅型场发射显示器(FED)测试过程中的窜压现象,解释该现象的产生原因。阴极电极侧壁场发射电子轰击栅极导致电压表示数发生变化。针对此问题设计一种具有沟槽状介质层结构的后栅型FED从而避免阴极电极侧壁的电子发射。采用全印刷技术制作场发射显示阵列。实验表明此器件具有良好的发射稳定性及栅压调控特性,有效杜绝窜压现象的发生。阳极电压为600 V,栅极电压在100~250 V范围内对阳极电流有良好的调控作用。 展开更多
关键词 窜压现象 沟槽状介质层 二次电子发射 后栅型结构 场致发射
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一维纳米体系的电子结构 被引量:1
13
作者 徐慧 宋袆璞 李燕峰 《中南工业大学学报》 CSCD 北大核心 2002年第1期107-110,共4页
建立了一维纳米随机链模型 ,在计及近邻、次近邻相互作用情况下 ,采用新的方法计算了链长从 1× 10 4~1× 10 5个原子系统的电子本征值和本征矢 .针对晶界原子畸变和晶粒大小等物理量 ,讨论了一维纳米体系的电子结构 .研究结... 建立了一维纳米随机链模型 ,在计及近邻、次近邻相互作用情况下 ,采用新的方法计算了链长从 1× 10 4~1× 10 5个原子系统的电子本征值和本征矢 .针对晶界原子畸变和晶粒大小等物理量 ,讨论了一维纳米体系的电子结构 .研究结果表明 ,晶界原子畸变和晶粒尺寸对其电子结构有重要影响 .由于晶界原子对电子的散射作用 ,电子波函数出现局域化 .晶界原子畸变越大 ,晶粒尺寸越小 ,散射作用越明显 .晶界原子畸变参数W由 0 .2增加到 1时 ,电子波函数由扩展态变为局域态 ;晶粒尺寸变小时 ,电子波函数对称性变差 ,电子趋向局域分布 .随着晶界原子畸变程度的增大和晶粒尺寸的减小 。 展开更多
关键词 纳米体系 电子波函数 电子局域态 晶界原子畸变
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辐照对带鱼鱼糜内源性转谷氨酰胺酶及凝胶特性的影响 被引量:5
14
作者 杨镕 徐安琪 +5 位作者 朱煜康 贾茹 黄涛 徐大伦 张进杰 杨文鸽 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期71-76,共6页
内源性转谷氨酰胺酶(transglutaminase,TGase)与鱼糜凝胶性能密切相关,辐照处理会引起鱼糜TGase结构与活性的变化。为考察电子束辐照对带鱼鱼糜品质的影响,采用不同辐照剂量电子束处理带鱼鱼糜,测定鱼糜内源性TGase的活力及其最适反应... 内源性转谷氨酰胺酶(transglutaminase,TGase)与鱼糜凝胶性能密切相关,辐照处理会引起鱼糜TGase结构与活性的变化。为考察电子束辐照对带鱼鱼糜品质的影响,采用不同辐照剂量电子束处理带鱼鱼糜,测定鱼糜内源性TGase的活力及其最适反应温度、最适反应pH值,通过傅里叶变换红外光谱和圆二色光谱分析TGase构象单元,结合鱼糜凝胶强度和持水性的变化,探究电子束辐照对鱼糜内源性TGase及凝胶性能的影响机理。结果显示,随着电子束辐照剂量的增加,鱼糜内源性TGase活力呈先上升后下降趋势,5 kGy辐照能明显提高鱼糜TGase活力,鱼糜凝胶强度及其保水性达到最大值;各组TGase的最适反应pH值均为8.0,除9 kGy组外,其余剂量辐照组和对照组TGase的最适反应温度均为40℃;辐照引起鱼糜TGase分子中的二级结构单元转变,5 kGy组TGase的α-螺旋和β-转角相对含量达最小值,而β-折叠及无规卷曲相对含量达最大值。结论:电子束辐照影响带鱼鱼糜内源性TGase二级结构及其活力,适宜剂量辐照促进TGase分子中α-螺旋和β-转角结构转化为β-折叠及无规卷曲,有利于提高鱼糜TGase活性,促进带鱼鱼糜凝胶的形成。 展开更多
关键词 电子束辐照 内源性转谷氨酰胺酶 二级结构 带鱼鱼糜 凝胶强度
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中国空间大功率微波部件微放电抑制表面处理技术最新进展 被引量:9
15
作者 宋强强 崔万照 +1 位作者 杨晶 胡天存 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2019年第3期43-54,共12页
材料表面的二次电子发射会触发和维持空间高功率射频器件的共振雪崩放电现象,这种现象又被称为微放电效应.微放电效应是限制空间大功率微波部件应用的关键问题之一.从微放电作用的机理出发,首先介绍了两种微放电类型(单表面与双表面)的... 材料表面的二次电子发射会触发和维持空间高功率射频器件的共振雪崩放电现象,这种现象又被称为微放电效应.微放电效应是限制空间大功率微波部件应用的关键问题之一.从微放电作用的机理出发,首先介绍了两种微放电类型(单表面与双表面)的基本物理机理;然后总结了当前主流的微放电抑制方法并给出各自应用于空间大功率微波部件时的限制.针对空间大功率微波部件微放电抑制的特殊问题,综述了国内近5年来在表面处理法抑制微放电领域的研究成果并预测了微放电抑制技术的发展趋势. 展开更多
关键词 二次电子发射 微放电抑制 表面处理 陷阱结构 表面镀膜 微放电
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纳米结构可重入扫描隧道显微镜系统的研制 被引量:4
16
作者 方胜 张朝晖 +2 位作者 盖峥 赵汝光 杨威生 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期151-156,共6页
本文简介我们最近研制成功的超高真空(UHV)扫描隧道显微镜(STM)系统。该系统由于同时安装有扫描电子显微镜(SEM),可以使STM的针尖在SEM的引导下移到样品表面上任一感兴趣的地方去研究那里的纳米细节,从而使它的... 本文简介我们最近研制成功的超高真空(UHV)扫描隧道显微镜(STM)系统。该系统由于同时安装有扫描电子显微镜(SEM),可以使STM的针尖在SEM的引导下移到样品表面上任一感兴趣的地方去研究那里的纳米细节,从而使它的STM具有纳米结构可重入性。该系统还有一些特有的样品制备功能,可用于许多有应用价值的研究。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 扫描电子显微镜 纳米结构
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纳米氮化硅结构研究 被引量:3
17
作者 魏雄 李道火 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期253-256,共4页
通过物理、化学表征分析,揭示了激光法纳米级氮化硅粒子短程有序结构特征.用光电子能谱、光学漫反射和荧光光谱等手段研究了纳米氮化硅的电子结构.
关键词 纳米氮化硅 有序结构 电子结构
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具有分级结构纳米材料的扫描电镜测试样品制备方法比较 被引量:2
18
作者 刘婷婷 丁炜楠 +4 位作者 倪敏 张磊 潘杨 张占恩 顾海东 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期372-376,共5页
以具有分级结构的纳米花状Bi2O3-Bi2S3复合物为研究对象,采用场发射扫描电镜进行测试,实验采用四种样品制备方法,探讨各种制样方法的扫描电镜成像效果。结果发现,将新制备未干燥的材料分散在无水乙醇中后,滴在硅片表面进行测试,可以有... 以具有分级结构的纳米花状Bi2O3-Bi2S3复合物为研究对象,采用场发射扫描电镜进行测试,实验采用四种样品制备方法,探讨各种制样方法的扫描电镜成像效果。结果发现,将新制备未干燥的材料分散在无水乙醇中后,滴在硅片表面进行测试,可以有效改善样品的分散性,减少样品的团聚,杜绝纳米颗粒与碳导电胶之间的溶合,更易获得材料的真实形貌。将复合材料分别分散于硅片、云母片、铜箔、铝箔、锡箔不同基底上,在高放大倍数下均可得到理想的测试效果,在低放大倍数下测试效果为:硅片>锡箔>铝箔>铜箔>云母片。用乙醇分散滴于硅片上测试的方法进行Fe3O4@ZIF-8复合材料的制样,同样可以得到较好的结果。 展开更多
关键词 分级结构 纳米材料 扫描电镜 样品制备
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测量二次电子空间分布特征矩阵法的有效性分析 被引量:1
19
作者 孙晓阳 温凯乐 +5 位作者 王鹏程 刘瑜冬 黄涛 刘盛画 刘渭滨 董海义 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期1625-1630,共6页
为了准确测量不同材料在实际环境中的二次电子空间分布,设计了一种新型的二次电子发射空间分布测量结构,给出了实验测量原理,用求解特征矩阵的方法对实验结果进行处理,得到了所需的二次电子空间分布。通过模拟计算对该测量方法进行了校... 为了准确测量不同材料在实际环境中的二次电子空间分布,设计了一种新型的二次电子发射空间分布测量结构,给出了实验测量原理,用求解特征矩阵的方法对实验结果进行处理,得到了所需的二次电子空间分布。通过模拟计算对该测量方法进行了校验,模拟结果与假设二次电子空间分布函数相吻合,表明该测量方法可靠、测量精度高,为后续样机研制奠定了理论基础。 展开更多
关键词 二次电子发射 空间分布 测量结构 模拟计算
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具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性 被引量:1
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作者 郝杰 李维勤 钱钧 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1028-1034,共7页
采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型,阐明了具有埋层结构电介质样品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性.模拟结果表明,被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布,从而影响二次电子特性.随着电子... 采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型,阐明了具有埋层结构电介质样品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性.模拟结果表明,被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布,从而影响二次电子特性.随着电子束照射,样品表面沿着深度方向的电场强度增强,更多的二次电子返回表面,从而产生图像衬度.图像衬度随电子束能量的变化呈现极大值,而随电子束电流的增大而增大,模拟结果与实验结果基本一致. 展开更多
关键词 电介质 埋层结构 扫描电镜 二次电子电流
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