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半固着磨具特性对其磨耗和工件材料去除的影响(英文) 被引量：1
1
作者 邓乾发 袁巨龙 +3 位作者 吕冰海 楼飞燕 杭伟 王志伟 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第1期89-94,共6页
为获得先进陶瓷材料的高效、高精度加工,通过采用新研制的半固着磨具来实现一种半固着磨粒加工技术.制作了以SiC为磨料的不同粒度和磨料浓度的半固着磨具(SFAT),讨论分析了磨料粒度和磨料浓度对半固着磨具特性(剪切强度和表面硬度等)的... 为获得先进陶瓷材料的高效、高精度加工,通过采用新研制的半固着磨具来实现一种半固着磨粒加工技术.制作了以SiC为磨料的不同粒度和磨料浓度的半固着磨具(SFAT),讨论分析了磨料粒度和磨料浓度对半固着磨具特性(剪切强度和表面硬度等)的影响.采用所制作的半固着磨具加工单晶硅片,研究半固着磨具的磨耗率和工件材料去除率.初步实验结果表明,磨料粒度#1000和磨料质量分数为65%的半固着磨具的磨具磨耗率最小且工件材料去除率最大.实验结果有助于指导半固着磨具制作. 展开更多
关键词 半固着磨具(sfat) 材料去除率 磨耗率
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