三电极法电阻率二维分布测量技术及其应用

本文介绍了三电极保护法半绝缘砷化镓材料电阻率二维分布自动测量系统,在实际应用中,温度波动、异常数据对测量结果产生严重影响,为此我们提出了一些措施。文中给出了一些样品测量结果的统计数据(相对标准偏差,平均值)和等值图,并对这些结果进行讨论。