光刻设备TRACK系统的无死锁调度算法

为使半导体生产线光刻设备的TRACK系统正常运行,有效地避免死锁,提高设备利用率,提出了一种无死锁调度算法,在不会引发死锁的条件下为需要调度的工件确定加工组件,同时考虑到组件发生故障的情况,及时排除故障的影响,并通过仿真证明了算法的有效性。