电子束蒸发 WO_3-基气敏薄膜特性的研究

介绍了用电子束蒸发制作ＷＯ３气敏薄膜、溅射掺Ａｕ、膜的热处理工艺以及对Ｈ２Ｓ气体的敏感特性测量的初步结果．着重讨论了ＷＯ３膜的稳定化过程．

微加热板式半导体微气压传感器的测试

组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析。

光反馈自混合干涉式微位移传感器

为了提高位移测量的精确度,提出了一种基于光反馈自混合干涉技术的位移测量方法。采用梯度最优算法分析和处理自混合干涉信号,达到数据理论的最佳拟合,实现微位移的精密测量,并通过设计算法对外部物体的运动轨迹进行重构。提出的传感器可用于亚微米级位移的测量和控制,并给出了PZT位移的实验结果。

光反馈自混合干涉位移测量算法

为了实现光反馈机制下位移的测量,研究设计了基于非线性最小二乘法的位移测量算法。本文采用了光反馈自混合技术和梯度最优算法,可以达到数据理论的最佳拟合。同时给出了梯度迭代公式,参量迭代时引入了可变步长,从而实现位移的精密测量。针对不同情况,做了大量计算机仿真并给出仿真结果。结果表明该算法参数估计精度较高,不受参数初值选取的影响,且抗噪性能较好。

光反馈自混合干涉振动测量

光反馈自混合干涉技术是新浮现的有别于传统双光干涉的一类测试技术;为了提高振动测量的精确度,基于这新的测试技术,提出一种新的振动测量算法;采用梯度迭代算法,通过数据理论的最佳拟合,实现振幅的高精度估算;通过对自混合干涉波形转折点的准确识别,实现振动频率的精确计算;实验数据验证基于这些参量可以实现外部物体振动的纳米级测量和运动轨迹的重构;结果表明该测量算法在实测数据处理时测量参数的精确度较高、抗噪性能较好,振幅和振动频率相对标准差的均值为0.48%和2.3%。

互耦半导体激光器接入天基网络次序优化

针对传统互耦半导体激光器接入天基网络的次序容易出现混乱、颠倒等问题,提出结合改进遗传算法的互耦半导体激光器接入天基网络次序的优化。采用基于激光位移传感器,阶段选择局部状态,将求解接入天基网络次序优化方案的问题变换成小规模问题,选择天基网络激光器接入点,给出互耦半导体激光器的非线性动力学方程,实现互耦半导体激光器接入天基网络次序的优化,仿真实验结果分析说明,所提激光器接入天基网络次序优化方法的复杂度低,性能优。

六方纳米氧化铟的制备及其气敏性质和表面酸碱性质研究

以十二胺和油酸为结构导向剂,利用溶剂热法制备了星状六方结构纳米In2O3.用透射电镜、扫描电镜、X射线衍射、红外光谱、热重-差热对产物进行了表面形貌和结构的表征.气敏测试结果表明,In2O3在300℃对乙醇气体具有快速敏感的传感性能和良好的选择性.采用自动电位滴定技术研究了纳米氧化铟的表面酸碱性质,测定了氧化铟表面羟基浓度.在pH=5～7.3范围,In2O3表面优势组分为≡InOH.