微机械加速度传感器性能的等效电学模拟

建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型 ,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号 ,阶跃加速度信号 ,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况 ;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加速度信号时的小电容检测电路的性能。模拟结果表明采用反馈可以拓宽加速度传感器的测量范围 。

气固二相流测量用电容传感器分析

分析了三种电容传感器，并对它们的原理、检测方法进行比较，以便使其更好地应用于生产过程的流量测量和控制、显示和报警等领域。