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光通信用InGaAs/InP雪崩光电二极管 被引量:1
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作者 尹顺政 齐利芳 +3 位作者 赵永林 张豫黔 车向辉 张宇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期759-763,共5页
针对InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)器件结构,介绍了本地电场模型在器件设计上的应用。采用数值计算的方法,导出了吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离的(SAGCM)APD的电场分布。基于本地电场模型讨论了不同器件结构参数对器件穿通... 针对InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)器件结构,介绍了本地电场模型在器件设计上的应用。采用数值计算的方法,导出了吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离的(SAGCM)APD的电场分布。基于本地电场模型讨论了不同器件结构参数对器件穿通电压、击穿电压、倍增因子等特性的影响,实验结果与模拟结果相吻合,表明此方法可以用于器件的结构设计优化及特性分析。在此方法指导下,制作出了SAGCM APD。测试结果表明器件穿通电压小于30V,击穿电压小于45V,在倍增因子为1时,器件响应度大于0.9A/W,在倍增因子为10时,器件暗电流小于10nA,在倍增因子为5-12时,-3dB带宽均大于3GHz,其性能满足2.5Gbit/s光纤通信应用要求。 展开更多
关键词 InP 吸收、渐变、电荷、倍增层分离结构的雪崩二极管(sagcm APD) 雪崩 本地电场模型 光通信
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10 Gbit/s InGaAs/InP雪崩光电二极管 被引量:1
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作者 尹顺政 郝文嘉 +4 位作者 张宇 于浩 李庆伟 赵润 车相辉 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第7期516-520,共5页
基于InGaAs/InP吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD)器件结构,利用数值计算方法,模拟了各层参数对器件频率响应特性的影响。模拟结果表明,吸收层、倍增层厚度及电荷层面电荷密度可影响器件的-3dB带宽;随增益... 基于InGaAs/InP吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD)器件结构,利用数值计算方法,模拟了各层参数对器件频率响应特性的影响。模拟结果表明,吸收层、倍增层厚度及电荷层面电荷密度可影响器件的-3dB带宽;随增益的增加,器件带宽会逐渐降低;电荷层面电荷密度对器件击穿电压有明显影响。结合此模拟结果,制作出了高速InGaAs/InP雪崩光电二极管,并对器件进行了封装测试。测试结果表明,该结果与模拟结果相吻合。器件击穿电压为30V;在倍增因子为1时,器件响应度大于0.8A/W;在倍增因子为9时,器件暗电流小于10nA,-3dB带宽大于10GHz,其性能满足10Gbit/s光纤通信应用要求。 展开更多
关键词 INGAAS/INP 吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(sagcm APD) 雪崩 频率响应 光通信
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平面分集多级抛松路堑硐室控制爆破 被引量:1
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作者 李义 白云龙 +1 位作者 王立安 张世平 《工程爆破》 1995年第1期54-60,70,共8页
本文主要从路基成型、高边坡稳定、综合减震等方面,对较大装药量的硐室爆破在高速公路路基开挖中的应用作了较为深入的探索。提出了平面分集、多级抛松硐室控制爆破的设计方法,所采用的技术措施可有效减缓装药对边坡的冲击损伤作用,... 本文主要从路基成型、高边坡稳定、综合减震等方面,对较大装药量的硐室爆破在高速公路路基开挖中的应用作了较为深入的探索。提出了平面分集、多级抛松硐室控制爆破的设计方法,所采用的技术措施可有效减缓装药对边坡的冲击损伤作用,具有路基成型好、药量分布均匀、岩石破碎块度均匀及爆破震动效应小等特点。在公路、铁路,特别是宽路基开挖中具有较高的推广应用价值。 展开更多
关键词 路堑硐室爆破 平面分集装药 控制爆破
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基于Matlab的APD器件模拟
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作者 程涛 周金运 李文静 《现代电子技术》 2006年第13期146-148,共3页
为了迅速了解雪崩光电二极管(APD)的特性以确保量子保密通信系统的质量,在适当的假设前提下,依据经验公式并借助于Matlab的矩阵运算功能计算吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(SAGCM APD)的电场分布,然后以此得出电子、空穴倍增系数... 为了迅速了解雪崩光电二极管(APD)的特性以确保量子保密通信系统的质量,在适当的假设前提下,依据经验公式并借助于Matlab的矩阵运算功能计算吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(SAGCM APD)的电场分布,然后以此得出电子、空穴倍增系数,最后再利用这些系数及传递函数计算出SAGCM APD的增益-电压特性及频率响应特性,模拟的结果较好地与实验结果一致。 展开更多
关键词 MATLAB 吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(sagcm—APD) 传递函数 量子保密通信
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In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP高速光电二极管材料生长及光电性能
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作者 吴超瑜 刘超 +4 位作者 冯彦斌 高文浩 高鹏 付贤松 宁振动 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2019年第2期123-126,共4页
利用低压MOCVD技术制备PIN结构的InP基InGaAs外延材料。采用分层吸收渐变电荷倍增(SAGCM)结构,通过两次Zn扩散、多层介质膜淀积、Au/Zn p型欧姆接触、Au/Ge/Ni n型欧姆接触等标准半导体平面工艺,设计制造正入射平面In_(0.53)Ga_(0.47)As... 利用低压MOCVD技术制备PIN结构的InP基InGaAs外延材料。采用分层吸收渐变电荷倍增(SAGCM)结构,通过两次Zn扩散、多层介质膜淀积、Au/Zn p型欧姆接触、Au/Ge/Ni n型欧姆接触等标准半导体平面工艺,设计制造正入射平面In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP雪崩光电二极管器件。该器件采用与InP衬底晶格匹配的In_(0.53)Ga_(0.47)As材料做吸收层,InP材料做倍增层,同时引入InGaAsP梯度层。探测器件光敏面直径50μm,器件测试结果表明该器件光响应特性正常,击穿电压约43 V,在低于击穿电压3 V左右可以得到大约10 A/W的光响应度,在0 V到小于击穿电压1 V的偏压范围内,暗电流只有1 nA左右。光电二极管在8 GHz以下有平坦的增益,适用于5 Gbit/s光通信系统。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 通信 分层吸收渐变电荷倍增 雪崩光电二极管
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SAGCM avalanche photodiode with additional layer and nonuniform electric field
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作者 Abbas GHADIMI Vahid AHMADI Fatemeh SHAHSHAHANI 《Frontiers of Optoelectronics》 EI CSCD 2013年第2期199-209,共11页
This paper presents a new method to increase the speed of the separated absorption, grading, charge, and multiplication avalanche photodiode (SAGCM-APD). This improvement is obtained by adding a new thin charge laye... This paper presents a new method to increase the speed of the separated absorption, grading, charge, and multiplication avalanche photodiode (SAGCM-APD). This improvement is obtained by adding a new thin charge layer between absorption and grading layers, with assuming the non-uniform electric field in different regions of the structure. In addition, a circuit model of the proposed structure is extracted, using carrier rate equations. Also, to achieve the optimum structure, it is tried to have trade-offs among thickness of the layers and have proper tuning of physical parameters. Eventually, frequency and transient response are investigated and it is shown that, in comparison with the previous conventional structure, significant improvements in gain-bandwidth product, speed and also in breakdown voltage are attained. 展开更多
关键词 separated absorption grading charge multi- plication avalanche photodiode sagcm-APD) electric field nonuniformity additional charge layer
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