si超微粒子室温可见发光器件

日本松下技术研究公司研制出把si超微粒子作为激活区的室温可见发光器件。在真空稀有气体中进行以单晶si为靶的脉冲激光沉积，在基板上以层状沉积气相生长的si超微粒子，然后进行热氧化，形成被表面氧化膜所覆盖的Si超微粒子聚合体。