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SiC基反射镜制备工艺研究进展 被引量:9
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作者 张玉娣 张长瑞 +1 位作者 周新贵 曹英斌 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期89-93,共5页
空间系统用的高性能轻质反射镜的研究和应用正逐年稳定发展,本文从几种卫星反射镜材料的性能和特性出发,得出SiC及其复合材料作为反射镜材料性能最佳的结论;通过比较各种工艺制备SiC基反射镜性能,结果显示:只有C V D SiC能够作为反射镜... 空间系统用的高性能轻质反射镜的研究和应用正逐年稳定发展,本文从几种卫星反射镜材料的性能和特性出发,得出SiC及其复合材料作为反射镜材料性能最佳的结论;通过比较各种工艺制备SiC基反射镜性能,结果显示:只有C V D SiC能够作为反射镜反射光学表面。本文重点详细介绍了SiC及其复合材料反射镜制备工艺及方法特点,并对其工艺发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 sic基反射镜 制备工艺 空间系统 卫星反射镜 复合材料
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碳化硅(SiC)器件制造工艺中的干法刻蚀技术 被引量:4
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作者 柴常春 杨银堂 +1 位作者 朱作云 李跃进 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期659-663,共5页
简述了在SiC材料半导体器件制造工艺中,对SiC材料采用干法刻蚀工艺的必要性.总结了近年来SiC干法刻蚀技术的工艺发展状况.
关键词 碳化硅 干法刻蚀 制造工艺
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