各向异性腐蚀技术研究与分析

本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法 ,根据实验提出了它们的优缺点 ,介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法 ,对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义 .

四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用

通过各向异性腐蚀硅杯实验 ,研究了四甲基氢氧化铵 ( TMAH)腐蚀液的特性 ,包括硅( 1 0 0 )面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系 ,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况 ,并确定了制作硅杯的最佳工艺条件。通过测试硅杯结构多晶硅压力传感器的输出特性 ,证明了

基于微机电系统的水下灵巧手触觉力测量传感器

为了实现深水环境下水下灵巧手抓取目标的定位及触觉力感知,设计了阵列式触觉力测量传感器.以硅杯作为力敏感核心,利用胶囊式差压状结构实现了水的静态压力矢量叠加下的触觉力测量,并消除了水的静态压力对触觉力测量的影响.利用弹性力学与板壳理论分析了方形硅杯底部变形与应力的解析解,并与有限元法的分析结果加以对比.结果表明,所设计的灵巧手触觉力测量传感器具有样本抓取的触觉感知及位置感知,其胶囊式差压状结构使得触觉力测量传感器能够消除水的静态压力的影响,硅杯式测量结构具有灵敏度高、误差小、输出应力大的特点.

论大学生自主创新与创业的促进因素——从“挑战杯”创业竞赛到“斯坦福硅谷”之路

进入21世纪,加强科技自主创新已成为新时期内的一项重要战略目标,人作为科技自主创新的主体,如何源源不断地培养造就大批高素质的具有蓬勃创新精神和创业能力的人才,已是提高国家竞争力和经济高速发展的前提条件。大学生作为高等教育的主体,在新的历史条件下,应重视和促进其自主创新和创业的能力。本文通过对正在探索与发展的国内大学生创业计划与美国业已成熟并带来巨大社会经济效益的自主创新创业模式进行对比分析,总结经验,对今后的发展方向提出适当建议。

倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器

采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应的影响,实现了耐高温高频响压阻式压力传感器的基本制作.通过有限元仿真和实验,分析了安装预紧力对传感器性能的影响,由传感器静态和动态实验得到传感器的精确度为±0.114%FS,动态响应频率为694.4kHz,均满足火工品爆破测试等高温高频动态压力测试的要求.

铸铁样杯的结构参数对硅含量预测精度的影响

本实验以比利时Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｎｉｔｅ公司的铸铁热分析数学模型为测量尺度，参考国内现有的样杯形式，对四种具有不同试样量和热电偶热接点位置的方型样杯进行浇铸实验。通过对数学模型的计算值与化学分析值的相对误差分析，结果表明，样杯的试样量和热接点位置对铸铁的碳含量、硅含量、碳当量、冷却曲线的形态以及凝固时间的预报精度有很大的影响。本文着重讨论它们对硅含量预报精度的影响。

刚玉-氮化硅复合材料研究现状

分析了陶瓷杯的损毁机理及陶瓷杯耐火材料的发展。重点总结了目前刚玉-氮化硅复合耐火材料的研究现状。

基于多信息融合回流离子特性的实验研究

简要介绍了回流离子特性参数的检测要求,分析了多种不同检测方法的特点,进行了离子检测综合实验方案的设计。介绍了激光干涉+分幅相机测量、法拉第筒测量、基于单晶硅片的固体径迹测量3种实验方法及实验结果的分析过程,对各自的原始实验数据进行了具体分析,给出了分析结果。对3种实验方法的分析结果,采用信息融合技术,对电子束打靶时所产生的回流离子的种类、运动速度和密度等特性给出了综合性的分析结论,有助于进一步正确认识束靶作用区的物理特性。

对国外铸铁样杯耐火涂料作用机理的研究

介绍涂与不涂ＺｒＯ２基耐火涂料铸铁样杯的对比实验结果，分析铸铁样杯耐火涂料的作用机理。

耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺

采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了平膜型硅隔离(SOI)耐高温压阻力敏硅芯片,采用静电键合工艺将该力敏硅芯片封装在硼硅玻璃环上,制作出倒杯式弹性敏感单元.分析了静电键合时力敏硅芯片与玻璃环的对准偏差对力敏硅芯片非线性的影响;实验验证了静电键合工艺对硅芯片温度性能的影响以及制作的耐高温压力传感器的性能.结果表明,对准偏差对硅芯片的非线性有较大影响;静电键合工艺对硅芯片的零位时漂和热零点漂移影响较小;制作的耐高温压力传感器具有优良的性能指标,能满足实际的工程应用需求.

TMAH在压力传感器制作中的应用

介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。

用水扬酸涂料改进铸铁样杯的研究

通过与ＺｒＯ２基耐火涂料铸铁样杯的对比实验，报告了铸铁杯使用水扬酸涂料，不但可以有效地防止铸铁热分析试样产生吸碳、增硅现象．而且可以代替ＺｒＯ２基涂料、提高样杯质量的稳定性和热敏感性、降低样杯的制造成本．

磨削方式对单晶硅表面磨削温度的影响(英文)

研究金刚石砂轮磨削单晶硅片时的表面磨削温度 .针对平形砂轮和杯形砂轮两种不同平面磨削方式所产生的表面磨削温度特点进行了比较分析 .对砂轮粒度和磨削深度对这两种平面磨削方式的表面磨削温度的影响进行了试验研究 。

硅压力传感器研究现状

论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景

基于RE和RP的前杯托盖试件制造

针对传统钢模制作前杯托盖试件时间长、费用大的问题,应用快速原型技术(RP),并结合反求工程(RE)与CAD造型技术,得到前杯托盖塑件原型,并利用硅胶模真空注型技术,快速地将RP原型复制出前杯托盖试件,缩短了产品开发周期,降低了研发成本,带来很高的技术经济效益。

硅胶拔罐在家庭医生上门服务中的应用

目的 :探讨硅胶拔罐在家庭医生上门服务中的应用。方法 :选取2015年10月-2016年3月因高血压疾病预约上门服务患者60例,随机分为硅胶罐组30例,传统竹罐组30例,两组均每周治疗2次,10次为1个疗程。比较两组治疗效果和医生的工作满意度。结果:治疗后,硅胶罐组和传统竹罐组的疗效分别为83.31%(25/30)和73.33%(22/30),组间差异无统计学意义(P>0.05)。硅胶罐组医生的工作满意度高于传统竹罐组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论:在家庭医生上门服务中,硅胶拔罐的安全性及可操作性均优于传统火罐,易为患者接受,且方法简便,值得推广。

硅橡胶软衬材料表面构建仿章鱼吸盘微结构的体外研究

目的在硅橡胶软衬材料表面构建仿章鱼吸盘微结构,评价其对吸附力的影响,为进一步制作仿章鱼吸盘微结构的全口义齿基托组织面提供技术支撑,探索提高全口义齿固位力的新思路。方法实验组分为A~E 5组(吸盘直径分别为100、200、300、400、500μm),通过3D打印仿章鱼吸盘微结构的阴模后,利用硅橡胶材料翻模制作带有不同尺寸仿章鱼吸盘微结构的样片,对照组为不带有微结构的平面硅橡胶样片。评价制作技术的精确性,以及在体外模拟口腔环境,通过万能材料试验机测试各组样片所能产生的吸附力,进行统计学分析。结果3D打印阴模与预定设计尺寸参数相差7%~9%,硅橡胶翻制的微结构与预定设计尺寸参数误差缩小为1%~5%,部分表面有气泡。实验组A~E、对照组的吸附力分别为(0.20±0.04)、(0.16±0.03)、(0.13±0.04)、(0.12±0.02)、(0.14±0.02)、(0.12±0.03)N,其中100、200μm的实验组吸附力明显增大,相比对照组具有统计学差异(P<0.05)。结论在硅橡胶软衬材料表面构建直径100、200μm的仿章鱼吸盘微结构可以提高吸附力。在全口义齿基托组织面制作仿章鱼吸盘微结构可能会提高全口义齿固位力。

阳春新钢铁高铁低硅烧结的生产实践

阳春新钢铁通过淘汰性价比变差的非主流矿,合理搭配高硅、低硅铁矿石配比,开展烧结杯实验确定烧结矿适宜SiO 2含量,提高烧结矿碱度,调整熔剂结构,合理配入高镁磁铁精粉,实施厚料层烧结等措施,将烧结矿SiO 2含量降低至4.5%-4.8%,同时保持了较好的烧结产质量指标。

高性能封装金属基印制板制作技术研究

描述了各种COB类型之金属基板制作需要解决的技术问题。例如,凹杯COB板需解决凹杯杯底部位的平整性及反光率、凹杯深度及侧壁角度公差控制等;铝盖板需解决盖板独立成型制作、成型后侧壁平整度及反光效果、铝盖板与MPCB结合力等;FR4挡墙/围坝COB板需解决FR挡墙/围坝独立成型制作、FR4与MPCB定位对位精度控制、FR4挡墙/围坝与MPCB结合力等;硅胶圈挡墙/围坝COB板需解决点硅胶圈的精度控制、硅胶与MPCB结合力等。

塞拉利昂精粉替代巴西IOC6粉及毛塔粉的配矿研究

本文针对柳钢烧结提铁降硅的实际需求,以当前柳钢烧结配矿结构为基础,通过固定其他烧结原料配比,采用塞拉利昂精粉替代部分巴西IOC6粉及毛塔粉进行配矿烧结杯实验,探究不同替代比例的塞拉利昂精粉对烧结矿品位、成品率、转鼓强度、固体燃耗、还原性能的影响。结果表明:塞拉利昂精粉参与烧结过程能有效实现烧结矿提铁降硅的需求,但低水平的替代比例对烧结矿各项指标影响不显著,随替代比例上升,烧结矿成品率、固体燃耗、还原性能逐渐改善。