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基于硅微通道板的CoNiP微米管阵列的磁性
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作者 童新 连柯楠 +6 位作者 付梦秋 谭人玮 赵振杰 熊大元 徐少辉 朱一平 王连卫 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第11期751-756,共6页
利用压差液流法在硅微通道板(MCP)孔道内侧壁上沉积钴镍磷(CoNiP)软磁性材料,制备了钴镍磷微米管阵列。比较了液流沉积与直接水热法沉积两种工艺方法,验证了液流法对于宏多孔硅化学沉积的优化。以不同方式对所得样品进行退火,观察平行... 利用压差液流法在硅微通道板(MCP)孔道内侧壁上沉积钴镍磷(CoNiP)软磁性材料,制备了钴镍磷微米管阵列。比较了液流沉积与直接水热法沉积两种工艺方法,验证了液流法对于宏多孔硅化学沉积的优化。以不同方式对所得样品进行退火,观察平行和垂直于微米管长轴方向的矫顽力和剩磁比(Mr/Ms),发现垂直于微米管阵列长轴方向的剩磁比明显大于平行于微米管阵列长轴方向的,这表明制备样品的易磁化方向为垂直于微米管阵列长轴的方向,同时电流退火使垂直和平行于微米管长轴方向的矫顽力的大小关系发生反转。 展开更多
关键词 硅微通道板(si-mcp) 高深宽比 微米管阵列 液流沉积 易磁化方向
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基于三维结构的钯催化电极的制备及其性能分析
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作者 岳馨瑶 付月 徐少辉 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第2期122-129,共8页
利用MEMS技术制备了硅微通道板(Si-MCP)并以此作为基底制备宏孔导电网络(MECN),利用3种方式在其外表面和孔道内壁沉积钯纳米粒子合成了三维乙醇催化电极。通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等表征手段对电极形貌和组分... 利用MEMS技术制备了硅微通道板(Si-MCP)并以此作为基底制备宏孔导电网络(MECN),利用3种方式在其外表面和孔道内壁沉积钯纳米粒子合成了三维乙醇催化电极。通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等表征手段对电极形貌和组分进行了分析,基于液流沉积的样品孔道内壁的钯纳米粒子最为均匀和致密。电化学测试结果也表明此种样品具有最优的电催化活性和运行稳定性(连续扫描后,催化电流仅下降11%)。其中,液流沉积形成的样品对高浓度乙醇的电催化氧化电流密度可达554 mA/cm2,此数值分别是真空无电镀样品产生的电流密度的3.5倍,电镀样品产生的电流密度的35倍。研究结果说明,液流沉积形成的丰富活性位点有助于提高三维微型催化电极的电化学性能,因此基于液流沉积的Pd/MECN电极将在乙醇燃料电池方面具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 硅微通道板(si-mcp) 多孔导电网络(MECN) 液流沉积 纳米钯催化 乙醇燃料电池
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