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Silvaco TCAD仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中的应用 被引量:5
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作者 薛俊俊 徐鑫池 +3 位作者 朱清凡 汪金 智婷 李培丽 《信息记录材料》 2020年第10期92-94,共3页
作为微电子、集成电路等专业高年级本科生和研究生的核心专业课程,《半导体物理与器件》相关课程对信息技术产业的作用已经处于无法取代的地位。本文讨论了展示了利用Silvaco TCAD模拟仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中... 作为微电子、集成电路等专业高年级本科生和研究生的核心专业课程,《半导体物理与器件》相关课程对信息技术产业的作用已经处于无法取代的地位。本文讨论了展示了利用Silvaco TCAD模拟仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中的重要辅助作用,从四个方面分析了该软件在学生科研能力培养工作的促进作用。对提升人才培养质量和促进学生科研能力进行了新探索。 展开更多
关键词 silvaco tcad 半导体物理与器件 科研导向型教学
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Silvaco TCAD仿真软件的应用对于学生实践能力的培养 被引量:3
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作者 黄玮 徐振邦 《教育教学论坛》 2018年第24期246-247,共2页
高职院校学生实践能力的培养是重中之重,针对微电子专业学生,本文讨论了工艺和器件仿真软件Silvcaco在教学和创新实践培养中的应用,通过软件的使用,使学生锻炼了自己的分析能力,加强了对专业知识的认知,提高了自身的实践能力。
关键词 silvaco tcad 实践能力 仿真应用
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Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用
3
作者 于文娟 董可秀 +3 位作者 王炳庭 周昌海 付翔 胡毅 《廊坊师范学院学报(自然科学版)》 2022年第4期118-121,128,共5页
为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学... 为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学生在熟悉半导体器件基本结构、载流子参数等性能的同时,深刻理解微电子器件的工艺过程。软件仿真直观的图形展现,既可加深学生课程知识理解,又能提升实践能力,为应用型人才的培养提供坚实基础。 展开更多
关键词 微电子工艺 集成电路 实验课程建设 silvaco tcad
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利用SILVACO TCAD软件改进集成电路实践教学的研究 被引量:8
4
作者 朱筠 《数字技术与应用》 2012年第7期114-116,共3页
日益成熟的集成电路工艺与器件计算机辅助设计工具有助于缩短半导体工艺和器件的开发周期、降低开发成本,因而越来越被广泛应用。通过模拟软件Silvaco TCAD对工艺进行仿真,了解实际集成电路生产涉及的氧化、扩散、淀积、光刻、刻蚀、平... 日益成熟的集成电路工艺与器件计算机辅助设计工具有助于缩短半导体工艺和器件的开发周期、降低开发成本,因而越来越被广泛应用。通过模拟软件Silvaco TCAD对工艺进行仿真,了解实际集成电路生产涉及的氧化、扩散、淀积、光刻、刻蚀、平坦化等一系列工艺过程;对器件的仿真,熟悉专业基础课程内容如器件的基本结构、材料的性能、载流子的浓度和工作电压等对器件各种性能的影响。并可以加深学生对课程理论的理解,同时提高学习兴趣,从而获得良好教学效果。 展开更多
关键词 silvaco tcad 工艺仿真 器件仿真
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Silvaco TCAD仿真软件在《光电子学》课程教学中的应用
5
作者 王云姬 《进展》 2023年第2期82-83,共2页
本文主要阐述了Silvaco TCAD软件仿真在光电子学这门课程中的应用价值,并以雪崩二极管为例,说明了具体的应用。Silvaco TCAD仿真教学在光电子学中的辅助教学,可以帮助学生更好的理解光电子学中的光电探测器,提升学生的综合实践能力。
关键词 silvaco tcad仿真软件 光电子学 器件仿真
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4H-SiC光导开关性能的仿真研究
6
作者 蓝华英 罗尧天 +2 位作者 崔海娟 肖建平 孙久勋 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第2期195-199,共5页
碳化硅光导开关是相关领域的研究热点,但是文献中对4H-SiC光导开关的理论研究仍然以集总元件模型为主,仅能给出定性结果,典型文献中瞬态条件下的实验数据还没有定量的理论解释。文章使用SilvacoTCAD软件中的器件-电路混合模式,结合自编... 碳化硅光导开关是相关领域的研究热点,但是文献中对4H-SiC光导开关的理论研究仍然以集总元件模型为主,仅能给出定性结果,典型文献中瞬态条件下的实验数据还没有定量的理论解释。文章使用SilvacoTCAD软件中的器件-电路混合模式,结合自编的载流子迁移率接口程序,对4H-SiC光导开关的光学电学特性进行模拟仿真。单脉冲响应的仿真结果表明,器件在瞬态条件下的峰值光电流随光能的变化与文献中的实验数据相符合,表明所用模型和参数具有合理性。对影响单脉冲响应的主要因素,包括脉冲能量、脉冲宽度、碳化硅厚度,进行了计算和分析。同时,针对两种碳化硅厚度的器件,进行了多脉冲串响应的计算和分析。文章得到的结果和结论对碳化硅光导开关的进一步研究具有较好的参考价值。 展开更多
关键词 4H-SIC 光导开关 silvacotcad 仿真模型
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基于非富勒烯受体的可见光-近红外有机光电探测器模拟研究
7
作者 陆之南 孙久勋 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第3期330-335,共6页
高灵敏度的有机光电探测器(OPD)具有从可见光到近红外(NIR)的宽带响应和优异的整体器件性能,在包括高质量生物成像在内的各种应用中起到了非常重要的作用。文章使用Silvaco TCAD模拟了一种活性层由宽带隙聚合物PBDTTT-C-T作为给体以及... 高灵敏度的有机光电探测器(OPD)具有从可见光到近红外(NIR)的宽带响应和优异的整体器件性能,在包括高质量生物成像在内的各种应用中起到了非常重要的作用。文章使用Silvaco TCAD模拟了一种活性层由宽带隙聚合物PBDTTT-C-T作为给体以及稠合八烷基小分子FOIC作为受体构成的混合物所制成的宽带有机光电探测器。模拟结果表明,器件的暗电流密度、外量子效益、可探测到的最低光强能力等各项指标达到了很好的水平,与实验数据吻合较好。由此,可认为模拟过程中所使用到的参数具有较好的可信度和使用价值,可以为同类型光电探测器的模拟与研究提供有益借鉴。 展开更多
关键词 silvaco tcad 有机光电探测器 非富勒烯受体 暗电流密度 外量子效率
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高集成中央双向肖特基结型单管反相器研究
8
作者 刘畅 刘溪 《微处理机》 2023年第4期19-21,共3页
针对传统CMOS反相器在某些领域中的局限性,提出一种基于高集成中央双向肖特基结型单管的反相器。新器件采用深浅组合肖特基势垒隧道晶体管制造方法,具有中央双向肖特基结结构,该结构可有效隔离源漏两侧半导体内载流子的互通,从而避免隧... 针对传统CMOS反相器在某些领域中的局限性,提出一种基于高集成中央双向肖特基结型单管的反相器。新器件采用深浅组合肖特基势垒隧道晶体管制造方法,具有中央双向肖特基结结构,该结构可有效隔离源漏两侧半导体内载流子的互通,从而避免隧道电流导致的泄漏电流的产生,并且只需要一个晶体管即可实现反相器的基本功能。通过使用Silvaco TCAD对器件进行仿真,分析其工作情况并优化设计参数。仿真结果表明该设计能够实现反向器功能,且与传统CMOS反相器相比,具有更高的集成度和更低的功耗。 展开更多
关键词 反相器 肖特基势垒 silvaco tcad仿真
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Simulation Study on Optical Properties of GaN-based Blue LED
9
作者 Huilong BIAN Taiping HAN Xiaoming GU 《Mechanical Engineering Science》 2023年第2期17-22,共6页
The optical properties of GaN-based blue light-emitting diodes(LEDs)are extremely important to study as these LEDs are utilized in a great many industries due to their excellent qualities,including high brightness,hig... The optical properties of GaN-based blue light-emitting diodes(LEDs)are extremely important to study as these LEDs are utilized in a great many industries due to their excellent qualities,including high brightness,high energy efficiency,low energy consumption,and rapid reaction time.In this paper,Silvaco TCAD simulation software is used to do two-dimensional modeling and simulation of a GaN-based blue single quantum well vertical structure LED,with an emphasis on varied forward voltages,In components in InGaN,and quantum well thickness.The volt-ampere characteristic curve is compared and evaluated,as well as the energy band structure,carrier concentration,radiation recombination efficiency,electroluminescence spectrum,and internal current density distribution.The results show that when the forward voltage is 3.5V and the thickness of the quantum well is constant,the luminescence spectrum will show a red shift with the increase of the In content in the quantum well,and the luminescence spectrum will also show a red shift when the thickness of the quantum well is increased.However,when the quantum well thickness and In component are kept constant,the luminescence spectrum appears a red shift with increasing forward voltage. 展开更多
关键词 GAN-BASED Blue light LED SPECTRUM silvaco tcad
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日盲紫外硅/金刚石异质结光电二极管的结构设计和仿真
10
作者 邓康宁 肖清泉 +2 位作者 陈豪 王傲霜 王江翔 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第20期1-6,共6页
金刚石作为新型宽禁带半导体材料具有成本低、无毒性和化学稳定性能好的优点,是紫外光电二极管的理想原材料之一,对代替目前普遍应用的含有稀有贵金属元素的紫外光电二极管有着积极的推动作用。在Silvaco软件Atlas模块上对日盲紫外硅/... 金刚石作为新型宽禁带半导体材料具有成本低、无毒性和化学稳定性能好的优点,是紫外光电二极管的理想原材料之一,对代替目前普遍应用的含有稀有贵金属元素的紫外光电二极管有着积极的推动作用。在Silvaco软件Atlas模块上对日盲紫外硅/金刚石异质结光电二极管进行深入的分析,探讨其厚度、掺杂浓度与光电二极管暗电流、光谱响应、瞬态响应之间的关系,得到了光电二极管优化后的暗电流、反向击穿电压和掺杂浓度值。模拟仿真结果显示,该pin型硅/金刚石异质结光电二极管在10~220 nm范围内的响应灵敏度优于pn型器件,当器件波长为220 nm时,其响应电流最高达1.7×10^(-11)A,并且pin型硅/金刚石异质结光电二极管的暗电流比该pn型器件低,约为5.6×10^(-15)A。此模拟计算数据为进一步优化硅/金刚石光电二极管结构及实验制备奠定了理论基础。 展开更多
关键词 硅/金刚石异质结 光谱响应 silvaco-tcad
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基于硅微孔阵列自滤光肖特基二极管光探测器的研究
11
作者 张涛 于永强 《电子制作》 2021年第13期60-63,6,共5页
本文以构建自滤光肖特基光探测器为目的,利用Silvaco TCAD三维仿真设计探究微孔陷光结构对光探测器性能影响,通过光刻和感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀等微加工工艺,制备硅微孔阵列结构,湿法转移石墨烯电极,构建了硅微孔阵列/石墨烯肖... 本文以构建自滤光肖特基光探测器为目的,利用Silvaco TCAD三维仿真设计探究微孔陷光结构对光探测器性能影响,通过光刻和感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀等微加工工艺,制备硅微孔阵列结构,湿法转移石墨烯电极,构建了硅微孔阵列/石墨烯肖特基二极管。光电特性表征发现,器件具有自滤光、可见光盲的近红外窄带响应,1064 nm为中值波长,且半峰宽为96 nm左右的自滤光窄带近红外响应特性,探测率高达3×10^(12)Jones,响应度达0.39A/W,高于普通plane Si/Gr肖特基二极管光探测器7倍以上。 展开更多
关键词 silvaco tcad 硅微孔阵列 肖特基结 石墨烯 自滤光
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8.5kV特高压晶闸管低占比终端结构设计与研究 被引量:1
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作者 张晨 刘东 +3 位作者 唐茂森 吴泽宇 周宗耀 葛兴来 《机车电传动》 北大核心 2021年第5期71-76,共6页
作为能量变换和传输的重要器件,大功率晶闸管在诸如高压直流输电等领域得到广泛应用。随着电网对输电功率容量的要求越来越高,提高晶闸管导通容量备受关注。但是,随着容量的提升,传统的直线斜角造型技术在保证角度足够小的同时,会减少... 作为能量变换和传输的重要器件,大功率晶闸管在诸如高压直流输电等领域得到广泛应用。随着电网对输电功率容量的要求越来越高,提高晶闸管导通容量备受关注。但是,随着容量的提升,传统的直线斜角造型技术在保证角度足够小的同时,会减少较多的阴极有效导通面积。为解决此问题,提出了一种低占比终端结构的大功率晶闸管,该晶闸管采用折线造型技术,能够在终端结构侧做到更小的角度,达到与直线斜角造型技术同样的电场优化效果,还可以保证阴极有效导通面积。最后,通过Silvaco平台,建立8.5 kV晶闸管的TCAD模型进行分析,验证所提出的结构的可行性。 展开更多
关键词 特高压 晶闸管 silvaco tcad 低占比 终端结构 阻断电压
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空间GaAs/Ge太阳电池电学性能仿真与优化机理研究 被引量:1
13
作者 王博浩 胡建民 《哈尔滨师范大学自然科学学报》 CAS 2022年第2期43-47,共5页
以国产GaAs/Ge太阳电池AM0光谱辐照下的电学参数为基础,使用silvaco TCAD构建物理模型,研究太阳电池工作区厚度和掺杂浓度对电池电学参数的影响规律,旨在揭示空间太阳电池的结构参数影响电学性能的内在物理机制.结果表明,太阳电池外量... 以国产GaAs/Ge太阳电池AM0光谱辐照下的电学参数为基础,使用silvaco TCAD构建物理模型,研究太阳电池工作区厚度和掺杂浓度对电池电学参数的影响规律,旨在揭示空间太阳电池的结构参数影响电学性能的内在物理机制.结果表明,太阳电池外量子效率随发射区厚度的增加而逐渐降低,随基区厚度的增加先增高而后降低,发射区厚度的改变主要影响短波太阳光的吸收,而基区厚度的改变主要影响长波太阳光的吸收.短路电流随发射区厚度的增加而减小,随基区厚度的增加先增大而后略有减小,这主要是电池的外量子效率变化决定的.随发射区或者基区掺杂浓度的增高开路电压逐渐增高,而短路电流逐渐减小.随太阳电池结构参数的改变最大功率的变化都主要取决于短路电流的显著变化. 展开更多
关键词 GAAS太阳电池 silvaco tcad 电学性能
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N型IBC太阳能电池的工艺研究 被引量:2
14
作者 何志伟 刘丽 《电子设计工程》 2017年第15期14-18,共5页
文中主要研究的是N型IBC太阳能电池,即N型背结背接触式电池。使用silvaco TCAD软件对N型IBC太阳电池进行工艺仿真,然后对已完成的N型IBC太阳能电池结构使用silvaco TCAD软件进行器件仿真,并对相关参数进行优化,探究该种太阳能电池各方... 文中主要研究的是N型IBC太阳能电池,即N型背结背接触式电池。使用silvaco TCAD软件对N型IBC太阳电池进行工艺仿真,然后对已完成的N型IBC太阳能电池结构使用silvaco TCAD软件进行器件仿真,并对相关参数进行优化,探究该种太阳能电池各方面的特性,最后与工艺仿真进行结合分析,对N型IBC太阳能电池的工艺研究进行总结整理,得出该太阳能电池的最佳工艺参数组合。 展开更多
关键词 太阳能电池 N型晶体硅 背结背接触 工艺 silvacotcad
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一种低功耗4H-SiC IGBT的仿真研究 被引量:4
15
作者 苏芳文 毛鸿凯 +2 位作者 隋金池 林茂 张飞 《电子科技》 2021年第1期31-35,59,共6页
针对传统沟槽栅4H-SiC IGBT关断时间长且关断能量损耗高的问题,文中利用Silvaco TCAD设计并仿真了一种新型沟槽栅4H-SiC IGBT结构。通过在传统沟槽栅4H-SiC IGBT结构基础上进行改进,在N+缓冲层中引入两组高掺杂浓度P区和N区,提高了N+缓... 针对传统沟槽栅4H-SiC IGBT关断时间长且关断能量损耗高的问题,文中利用Silvaco TCAD设计并仿真了一种新型沟槽栅4H-SiC IGBT结构。通过在传统沟槽栅4H-SiC IGBT结构基础上进行改进,在N+缓冲层中引入两组高掺杂浓度P区和N区,提高了N+缓冲层施主浓度,折中了器件正向压降与关断能量损耗。在器件关断过程中,N+缓冲层中处于反向偏置状态的PN结对N-漂移区中电场分布起到优化作用,加速了N-漂移区中电子抽取,在缩短器件关断时间和降低关断能量损耗的同时提升了击穿电压。Silvaco TCAD仿真结果显示,新型沟槽栅4H-SiC IGBT击穿电压为16 kV,在15 kV的耐压设计指标下,关断能量损耗低至4.63 mJ,相比传统结构降低了40.41%。 展开更多
关键词 4H-SIC IGBT 击穿电压 关断能量损耗 正向压降 silvaco tcad
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一种基于高肖特基势垒的高性能隧穿场效应晶体管 被引量:1
16
作者 李鑫 刘溪 《微处理机》 2021年第4期12-15,共4页
为提升隧穿场效应晶体管的正向导通性能,有效降低晶体管的体积,根据TFET与SB MOSFET的结构优势提出一种基于高肖特基势垒的高性能隧穿场效应晶体管。提出带有等号形主控制栅的中央辅助控制栅结构,利用肖特基势垒来阻挡反向漏电流的同时... 为提升隧穿场效应晶体管的正向导通性能,有效降低晶体管的体积,根据TFET与SB MOSFET的结构优势提出一种基于高肖特基势垒的高性能隧穿场效应晶体管。提出带有等号形主控制栅的中央辅助控制栅结构,利用肖特基势垒来阻挡反向漏电流的同时,在导通机制上尽可能提高电子势垒的高度来减少热电子发射电流的产生。通过增大体硅与源漏电极接触面积提升正向导通电流,并且在体硅中间增加中央控制辅助栅极以阻挡反向泄漏电流。仿真实验结果表明该种设计实现了更好的器件特性。 展开更多
关键词 肖特基势垒 等号形主控制栅 中央辅助控制栅 高导通电流 silvaco tcad仿真
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GaN/AlGaN量子阱紫外-红外双色集成光电探测器 被引量:1
17
作者 朱斌 邓文娟 +2 位作者 王壮飞 周甜 吴粤川 《电子技术与软件工程》 2022年第5期97-100,共4页
本文设计了一种P型的GaN/AlGaN量子阱紫外-红外双色集成光电探测器结构,该结构工作在室温、零偏压下。先使用Silvaco TCAD软件对其进行光学特性仿真得到其光谱响应曲线;再对设计结构进行实物生长和表征分析;接着对其进行分光光度计测试... 本文设计了一种P型的GaN/AlGaN量子阱紫外-红外双色集成光电探测器结构,该结构工作在室温、零偏压下。先使用Silvaco TCAD软件对其进行光学特性仿真得到其光谱响应曲线;再对设计结构进行实物生长和表征分析;接着对其进行分光光度计测试;最后完成光电探测器器件的制备和光谱响应测试发现制备的器件在253.7nm光波段下的光谱响应值达到8.47mA/W,在可见光波段具备“日盲”特性,在780nm处有一响应值,约为0.013mA/W,而后随着光波长的增加,光响应减弱,与光学仿真结果趋势基本一致。 展开更多
关键词 GaN/AlGaN 光电探测器 量子阱 silvaco tcad
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围栅硅纳米线MOSFET器件的仿真研究 被引量:2
18
作者 刘一婷 宫兴 闫娜 《微处理机》 2018年第2期1-4,共4页
随着大规模集成电路的发展,IC工艺特征尺寸逐渐进入了纳米量级,与此伴随而生了不可避免的短沟道效应(SCE)如:漏至势垒降低效应、阈值电压滚降效应、亚阈斜率退化等。围栅硅纳米线MOSFET(GAA-MOSFETS)器件具有优良的栅控能力和载流子输... 随着大规模集成电路的发展,IC工艺特征尺寸逐渐进入了纳米量级,与此伴随而生了不可避免的短沟道效应(SCE)如:漏至势垒降低效应、阈值电压滚降效应、亚阈斜率退化等。围栅硅纳米线MOSFET(GAA-MOSFETS)器件具有优良的栅控能力和载流子输运特性,被视为可以将器件尺寸缩小到极限尺寸的理想器件结构。通过将量子运输效应应用到器件建模中,针对P型GAAMOSFET器件展开研究,探讨了GAA-MOSFET器件的能带结构、沟道直径等参数对阈值电压、亚阈值摆幅等参数的影响,并利用Silvaco TCAD软件的数值计算来对GAA-MOSFET器件结构与性能进行仿真验证。 展开更多
关键词 量子效应 短沟道效应 围栅硅纳米线MOSFET silvacotcad仿真
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具有或与开关功能的T沟道隧穿场效应管
19
作者 杨源 胡建平 柳苗龙 《无线通信技术》 2022年第3期54-58,62,共6页
为了应对传统CMOS器件所面临的一系列问题,本文提出了一种具有"或与"开关功能的新型TFET器件,并将其命名为具有或与开关功能的T沟道隧穿场效晶体管(T-Channel tunnel field-effect transistors with OR-AND switching behavio... 为了应对传统CMOS器件所面临的一系列问题,本文提出了一种具有"或与"开关功能的新型TFET器件,并将其命名为具有或与开关功能的T沟道隧穿场效晶体管(T-Channel tunnel field-effect transistors with OR-AND switching behavior:TOA-TFET)。新器件具有三个独立偏置的栅极,相当于两个传统的单输入器件并联再与另外一个单输入器件串联,通过Silvaco TCAD软件仿真可以验证单个器件具有或与逻辑开关功能,极大的增强了单个晶体管的信号处理能力。我们详细分析了金属栅功函数和体硅厚度等参数对器件性能的影响并对其进行优化,最终优化出一个高性能的多功能逻辑器件。本文所提出的三输入TFET器件在电路设计中,使用单个晶体管就可以实现一些复杂的逻辑门,使电路得到简化并实现了低功耗的目标。 展开更多
关键词 CMOS器件 TFET器件 开关功能 silvaco tcad仿真
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硅基异质结钙钛矿串联电池仿真分析 被引量:1
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作者 何凤琴 陶延宏 +2 位作者 石惠君 陈丹 马岩青 《电子技术与软件工程》 2020年第12期218-219,共2页
本文利用silvaco TCAD软件采用传输矩阵法对硅基异质结钙钛矿电池结构进行模拟仿真,进行了各膜层的性能结构设计及模拟仿真。通过模拟仿真和优化设计,可以实现硅基异质结钙钛矿电池转化效率达到27.8%。[1]
关键词 silvaco tcad 串联电池 光子吸收 光电场 掺杂
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