硬质合金TiC镀层内的残余应力

根据所谓Sin^Zφ法可以测定出硬质合金化学蒸镀(CVD)法碳化钛(TiC)镀层内的残留应力。得出下列结论:(1)根据TiC镀层的结构,可以定量地求出这种残留应力,使用△φ=0法,求得的残余拉应力为720MPa,(2)在1400k温度条件下,退火1小时,残余拉应力为480MPa。这是由于在界面上形成η相,(W,Ti)C_(1-x)中间层。(3)在1273K和室温之间反复加热冷却20次后,残留应力为390MPa。(4)根据金刚石压头划痕剥离试验结果证实,经1400K退火的剥离强度低。(5)根据有限元法计算出残留应力分布的结果得知在界面附近±0.3μm范围存在异常的应力梯度。