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片状微电机的发展概况 被引量:4
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作者 唐苏亚 《微电机》 北大核心 1993年第4期34-38,共5页
根据片状微电机的国内外有关资料,对片状微电机的定义、结构特点、线圈制造技术以及发展动向进行了阐述,指出微电机的片状化将是实现电子产品高密度组装技术和电路小型化的重要途经之一。
关键词 片状微电机 线圈 微电机
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