溶胶-凝胶技术在氧化物薄膜制备方面的应用

从溶胶制备、涂覆和热处理三个步骤介绍了溶胶-凝胶技术制备氧化物薄膜基本原理和工艺过程;对有关三个步骤的研究成果进行了综述。