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椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法
被引量:
7
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作者
李秋俊
莫党
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第6期35-39,共5页
采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据,可以同时得到样品的厚度和光学常数谱.2个计算实例,①为SiO2薄膜,②为新型的掺镧的锆钛酸铅(PLZT)非晶类铁电薄膜.该方法精度高,具有较好的通用性.
关键词
椭圆偏振光谱
数据处理
分段多项法
铁电薄膜
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职称材料
题名
椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法
被引量:
7
1
作者
李秋俊
莫党
机构
中山大学物理学系
出处
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第6期35-39,共5页
基金
国家自然科学基金
广东省高等学校重点学科资助
文摘
采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据,可以同时得到样品的厚度和光学常数谱.2个计算实例,①为SiO2薄膜,②为新型的掺镧的锆钛酸铅(PLZT)非晶类铁电薄膜.该方法精度高,具有较好的通用性.
关键词
椭圆偏振光谱
数据处理
分段多项法
铁电薄膜
Keywords
spectroscopic ellipsometry
,
data analysis
,
piecewise polynomial method
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
O433 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法
李秋俊
莫党
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1998
7
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