感应等离子制备喷涂靶材用球化钽粉工艺研究

采用感应等离子技术对喷涂靶材用钽粉进行球化处理,以不规则冶金级钽粉为实验原料,研究了等离子气体流量、等离子功率、载气流量和送粉速率对钽粉球化率的影响。使用扫描电子显微镜(SEM)对粉末形貌进行表征,并采用Image J软件图像处理与分析方法进行粉末球化率测试。结果表明,感应等离子工艺参数的变化可以显著改变粉体球化率,当使用气体流量适当增加、等离子功率增加、载气流量适当降低、送粉速率降低时有利于粉末化率的提高,当优选的球化工艺为氢气流量PG3、等离子功率15 kW、载气流量CG3、送粉速率FR2时,可得到高品质球形钽粉。