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TFT-LCD一种条纹Mura的研究与改善
被引量:
1
1
作者
张正林
曹淑辉
+2 位作者
王炎
吕琛
封振宇
《光电子技术》
CAS
2022年第1期47-52,共6页
针对A机种生产过程中发生的一种条纹Mura问题,通过不良品的解析和数据统计分析,发现Mura异常区的黑色矩阵层(BM)图案边缘有内切(Undercut)问题,是因为制造过程中显影机导轮与玻璃接触部分发生静电累积,静电干扰使BM光阻与玻璃之间的接...
针对A机种生产过程中发生的一种条纹Mura问题,通过不良品的解析和数据统计分析,发现Mura异常区的黑色矩阵层(BM)图案边缘有内切(Undercut)问题,是因为制造过程中显影机导轮与玻璃接触部分发生静电累积,静电干扰使BM光阻与玻璃之间的接触角变小,造成显影后背面曝光工艺中BM未固化层发生热融溢流(Melt Flow)现象,固化工艺后形成BM边缘内切。研究发现,通过优化背面曝光工艺参数和关闭曝光上灯可以有效改善条纹Mura的程度;且将显影机导轮“平行式”排列改造成“之字式”排列,可以进一步改善条纹Mura现象。改善后条纹Mura的发生率由0.8%降至0,改善效果显著。
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关键词
条纹缺陷
内切
背面曝光
静电积累
“之字式”排列
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职称材料
TFT-LCD中像素电极耦合电容对显示画质的影响
被引量:
2
2
作者
赵重阳
苏秋杰
+5 位作者
缪应蒙
高玉杰
王永垚
朱宁
廖燕平
邵喜斌
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期459-464,共6页
研究了TFT-LCD中像素电极与数据线之间的耦合电容(C_(pd))对显示画质的影响,分析了像素电极发生偏移后显示面板产生横纹不良的机理。研究结果表明,像素电极发生偏移后,数据线与左右两侧像素电极之间的C_(pd)耦合电容大小产生差异,造成...
研究了TFT-LCD中像素电极与数据线之间的耦合电容(C_(pd))对显示画质的影响,分析了像素电极发生偏移后显示面板产生横纹不良的机理。研究结果表明,像素电极发生偏移后,数据线与左右两侧像素电极之间的C_(pd)耦合电容大小产生差异,造成相邻行间的像素发生不同方向的电压跳变。实际观察结果显示,当两行像素的亮度差异大于8个灰阶时,即会出现明显可见的横纹不良。提出了一种横纹不良改善方案,通过增加像素电极跨越数据线的条状设计结构,利用二者之间的交叠电容变化来补偿耦合电容的变化。模拟结果显示,当像素电极偏移1.2μm时,相邻行像素的亮度差异为6个灰阶,无水平横纹不良的产生。新型像素结构的开口率无损失,充电率满足产品设计要求,表明此方案可应用于产品设计中。
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关键词
耦合电容
像素电极
横纹不良
显示画质
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职称材料
液晶显示器画面品质分析与改善
3
作者
谢凤兰
倪俊芳
《苏州大学学报(工科版)》
CAS
2010年第4期44-48,共5页
画面品质横条纹不良(Hstripe mura)是专业面板制造商在生产中遇到的主要问题。根据光线折射、反射以及衍射的理论,采用计算机光学软件模拟和实验验证,找出产生横条纹不良的原因,然后在生产线上同步进行大量的实验验证,最终解决了画面品...
画面品质横条纹不良(Hstripe mura)是专业面板制造商在生产中遇到的主要问题。根据光线折射、反射以及衍射的理论,采用计算机光学软件模拟和实验验证,找出产生横条纹不良的原因,然后在生产线上同步进行大量的实验验证,最终解决了画面品质问题。在实际生产中得到成功应用,产品达到了公司的正常量产要求,取得了良好的经济效益。
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关键词
摩尔条纹
横条纹不良
导光板
液晶显示器
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职称材料
TFT-LCD制程对低频横纹色差的影响及研究
被引量:
1
4
作者
顾小祥
杨丽
曾龙
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期160-168,共9页
LC配向的均一性在LCD中是必不可少的,光配向制程是通过施加紫外偏振光照射在IPS(In-Plane Switch)LCD中形成液晶配向沟槽的一种技术,然而紫外光照射的同时会损伤TFT器件,使非晶硅层产生光生载流子,电子发生迁移,导致TFT漏电流从而影响...
LC配向的均一性在LCD中是必不可少的,光配向制程是通过施加紫外偏振光照射在IPS(In-Plane Switch)LCD中形成液晶配向沟槽的一种技术,然而紫外光照射的同时会损伤TFT器件,使非晶硅层产生光生载流子,电子发生迁移,导致TFT漏电流从而影响图像品质,产生横纹色差。在低频时,栅极开关时间延长,相邻扫描线之间容易发生混充电现象,部分充电截止的像素重新充电,从而使横纹色差变严重。本文从制程和电性调整方面对低频横纹色差进行了研究,结果表明:(1)紫外光照射后进行烘烤,可以有效降低漏电流,高温度(240℃)+长时间(4 200s)改善低频横纹色差效果佳(比例:0.00%);(2)延长Out Enable(4.8μs)+降低V_(gh)(18V)+提高GOA(Gate On Array)电路中电压V_(SS_Q)(-7.5V),改善低频横纹色差效果佳(比例:0.00%)。
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关键词
光配向
低频横纹色差
漏电流
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职称材料
题名
TFT-LCD一种条纹Mura的研究与改善
被引量:
1
1
作者
张正林
曹淑辉
王炎
吕琛
封振宇
机构
南京京东方显示技术有限公司
山东大学化学与化工学院
出处
《光电子技术》
CAS
2022年第1期47-52,共6页
文摘
针对A机种生产过程中发生的一种条纹Mura问题,通过不良品的解析和数据统计分析,发现Mura异常区的黑色矩阵层(BM)图案边缘有内切(Undercut)问题,是因为制造过程中显影机导轮与玻璃接触部分发生静电累积,静电干扰使BM光阻与玻璃之间的接触角变小,造成显影后背面曝光工艺中BM未固化层发生热融溢流(Melt Flow)现象,固化工艺后形成BM边缘内切。研究发现,通过优化背面曝光工艺参数和关闭曝光上灯可以有效改善条纹Mura的程度;且将显影机导轮“平行式”排列改造成“之字式”排列,可以进一步改善条纹Mura现象。改善后条纹Mura的发生率由0.8%降至0,改善效果显著。
关键词
条纹缺陷
内切
背面曝光
静电积累
“之字式”排列
Keywords
stripe mura
undercut
backside exposure
electrostatic accumulation
Zigzag arrangement
分类号
TN383 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
TFT-LCD中像素电极耦合电容对显示画质的影响
被引量:
2
2
作者
赵重阳
苏秋杰
缪应蒙
高玉杰
王永垚
朱宁
廖燕平
邵喜斌
机构
北京京东方显示技术有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期459-464,共6页
文摘
研究了TFT-LCD中像素电极与数据线之间的耦合电容(C_(pd))对显示画质的影响,分析了像素电极发生偏移后显示面板产生横纹不良的机理。研究结果表明,像素电极发生偏移后,数据线与左右两侧像素电极之间的C_(pd)耦合电容大小产生差异,造成相邻行间的像素发生不同方向的电压跳变。实际观察结果显示,当两行像素的亮度差异大于8个灰阶时,即会出现明显可见的横纹不良。提出了一种横纹不良改善方案,通过增加像素电极跨越数据线的条状设计结构,利用二者之间的交叠电容变化来补偿耦合电容的变化。模拟结果显示,当像素电极偏移1.2μm时,相邻行像素的亮度差异为6个灰阶,无水平横纹不良的产生。新型像素结构的开口率无损失,充电率满足产品设计要求,表明此方案可应用于产品设计中。
关键词
耦合电容
像素电极
横纹不良
显示画质
Keywords
coupling capacitance
pixel electrode
horizontal
stripe
s
mura
display quality
分类号
TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
液晶显示器画面品质分析与改善
3
作者
谢凤兰
倪俊芳
机构
苏州大学机电工程学院
出处
《苏州大学学报(工科版)》
CAS
2010年第4期44-48,共5页
文摘
画面品质横条纹不良(Hstripe mura)是专业面板制造商在生产中遇到的主要问题。根据光线折射、反射以及衍射的理论,采用计算机光学软件模拟和实验验证,找出产生横条纹不良的原因,然后在生产线上同步进行大量的实验验证,最终解决了画面品质问题。在实际生产中得到成功应用,产品达到了公司的正常量产要求,取得了良好的经济效益。
关键词
摩尔条纹
横条纹不良
导光板
液晶显示器
Keywords
moire fringes
H
stripe mura
light guide plate
liquid crystal display
分类号
TS262.2 [轻工技术与工程—发酵工程]
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
TFT-LCD制程对低频横纹色差的影响及研究
被引量:
1
4
作者
顾小祥
杨丽
曾龙
机构
昆山龙腾光电有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期160-168,共9页
文摘
LC配向的均一性在LCD中是必不可少的,光配向制程是通过施加紫外偏振光照射在IPS(In-Plane Switch)LCD中形成液晶配向沟槽的一种技术,然而紫外光照射的同时会损伤TFT器件,使非晶硅层产生光生载流子,电子发生迁移,导致TFT漏电流从而影响图像品质,产生横纹色差。在低频时,栅极开关时间延长,相邻扫描线之间容易发生混充电现象,部分充电截止的像素重新充电,从而使横纹色差变严重。本文从制程和电性调整方面对低频横纹色差进行了研究,结果表明:(1)紫外光照射后进行烘烤,可以有效降低漏电流,高温度(240℃)+长时间(4 200s)改善低频横纹色差效果佳(比例:0.00%);(2)延长Out Enable(4.8μs)+降低V_(gh)(18V)+提高GOA(Gate On Array)电路中电压V_(SS_Q)(-7.5V),改善低频横纹色差效果佳(比例:0.00%)。
关键词
光配向
低频横纹色差
漏电流
Keywords
photo-alignment
low frequency
stripe
d
mura
leakage current
分类号
O753.2 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TFT-LCD一种条纹Mura的研究与改善
张正林
曹淑辉
王炎
吕琛
封振宇
《光电子技术》
CAS
2022
1
下载PDF
职称材料
2
TFT-LCD中像素电极耦合电容对显示画质的影响
赵重阳
苏秋杰
缪应蒙
高玉杰
王永垚
朱宁
廖燕平
邵喜斌
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
下载PDF
职称材料
3
液晶显示器画面品质分析与改善
谢凤兰
倪俊芳
《苏州大学学报(工科版)》
CAS
2010
0
下载PDF
职称材料
4
TFT-LCD制程对低频横纹色差的影响及研究
顾小祥
杨丽
曾龙
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019
1
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职称材料
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