用于微电子封装的高频压电超声换能器模态优化设计

研究了高频压电超声换能器的优化设计方法,基于四端网络方法和有限元分析软件ANSYS参数化建模,通过不断调节结构参数的大小对换能器进行优化,使工作频率在满足设计要求的前提下,实现了工作频率与其他非工作频率的分离。通过阻抗分析仪和多普勒激光测振仪对换能器进行测试,实验结果表明,该换能器工作频率为110.161 kHz,工作频率附近不存在非纵振模态和其它寄生的振动形式。