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Dark-field detection method of shallow scratches on the super-smooth optical surface based on the technology of adaptive smoothing and morphological differencing 被引量:2
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作者 李晨 杨甬英 +9 位作者 柴惠婷 张毅晖 吴凡 周林 闫凯 白剑 沈亦兵 许乔 姜宏振 刘旭 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第8期53-57,共5页
In recent years, modern optical processing technologies, such as single point diamond turning, ion beam etching, and magneto-theological finishing, arc getting break- throughs. Machining precisions of super-smooth opt... In recent years, modern optical processing technologies, such as single point diamond turning, ion beam etching, and magneto-theological finishing, arc getting break- throughs. Machining precisions of super-smooth optics have also been significantly improved. However, with increasing demands for the optical surface quality, 展开更多
关键词 Dark-field detection method of shallow scratches on the super-smooth optical surface based on the technology of adaptive smoothing and morphological differencing
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基于运动平台中心对称阵的相干信源DOA估计
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作者 刘长远 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第9期1029-1037,共9页
当存在多径问题时,圆阵的空间谱测向性能会严重下降。对此,提出一种基于运动平台的中心对称阵平滑空间谱估计算法。该算法利用阵列在空间上的平移,得到多个平移后的协方差矩阵;同时利用中心对称阵的对称性,将接收数据反向处理,获得虚拟... 当存在多径问题时,圆阵的空间谱测向性能会严重下降。对此,提出一种基于运动平台的中心对称阵平滑空间谱估计算法。该算法利用阵列在空间上的平移,得到多个平移后的协方差矩阵;同时利用中心对称阵的对称性,将接收数据反向处理,获得虚拟阵列数据的协方差矩阵。之后对所有协方差进行叠加,可获得一个新的满秩的协方差矩阵,实现解相干处理,完成信号的来波方向估计。仿真实验验证了该方法的有效性,并具备较大的工程应用价值。 展开更多
关键词 均匀圆阵 空间平滑算法 超分辨 相干信源
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Magnetic Bingham fluid-assisted deterministic polishing for super-smooth surfaces 被引量:3
3
作者 CHENGHaobo FENGZhijing +1 位作者 WANGYingwei LEIShuting 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2005年第2期172-178,共7页
The characteristics of magnetorheological fin- ishing (MRF) technique such as the behavior of magnetic particles and the magnetic field distribution have been inves- tigated. Based on the established theoretical model... The characteristics of magnetorheological fin- ishing (MRF) technique such as the behavior of magnetic particles and the magnetic field distribution have been inves- tigated. Based on the established theoretical model, material removal function and removal rate experiments involving a K9 glass mirror are designed and carried out. Further experiments are carried out to improve the surface roughness of the workpiece. The final surface roughness with an initial value of 17.58 nm reached 0.4351 nm rms after 35 min of deterministic MRF, and the AFM measurements on microstructures of the polished surface are also improved by 0.445 nm rms without obvious defects. 展开更多
关键词 超平滑 磁性流变学流体 MRF 磨光面 拆换率 宾汉流体
原文传递
弹载雷达阵列幅相误差校正及目标超分辨技术
4
作者 胡衍墨 邓维波 +1 位作者 刘爱华 张鑫 《制导与引信》 2023年第2期13-19,共7页
传统波束形成方法受瑞利限约束,不能有效分辨主瓣内的两个目标,在阵列存在幅相误差时,参数估计精度和分辨率都会下降。针对该问题,研究了利用强回波信号校正二维面阵幅相误差的方法,并给出了采用平滑多重信号分类(MUSIC)算法处理相干回... 传统波束形成方法受瑞利限约束,不能有效分辨主瓣内的两个目标,在阵列存在幅相误差时,参数估计精度和分辨率都会下降。针对该问题,研究了利用强回波信号校正二维面阵幅相误差的方法,并给出了采用平滑多重信号分类(MUSIC)算法处理相干回波信号的阵列平滑方法。仿真实验证明了幅相误差估计算法的有效性,说明了幅相误差对目标分辨的影响较大,在校正后可以恢复目标角度超分辨性能。 展开更多
关键词 幅相误差校正 角度超分辨 平滑多重信号分类算法
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线性液动压抛光流场的循环交变动压力衍生机制
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作者 谢重 文东辉 +1 位作者 成志超 孔凡志 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期2288-2295,共8页
针对线性液动压抛光过程中结构化抛光辊子与抛光工件表面之间形成的周期性流场,研究了该流场中工件表面的动压力作用规律。基于流体动力润滑理论,以楔形槽抛光辊子流场为例推导了工件表面的动压力数学模型,并建立了工件表面动压力随时... 针对线性液动压抛光过程中结构化抛光辊子与抛光工件表面之间形成的周期性流场,研究了该流场中工件表面的动压力作用规律。基于流体动力润滑理论,以楔形槽抛光辊子流场为例推导了工件表面的动压力数学模型,并建立了工件表面动压力随时间变化的全局性数学模型,采用MATLAB语言编程绘制了该全局性数学模型的动压力分布曲线,并与流体力学仿真结果进行了比较验证。基于抛光工艺参数(抛光转速、抛光间隙和抛光液浓度)对动压力幅值的影响,并结合不同转速下工件进给速度对动压力周期的调节作用,建立了线性液动压抛光流场的循环交变动压力衍生机制,实现抛光工件表面动压力大小及其分布均匀性的可调节。 展开更多
关键词 线性液动压抛光 超光滑表面 流场动压力 循环交变特性
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一种基于立体注意力机制的立体图像超分辨算法 被引量:2
6
作者 罗传未 张子慧 +2 位作者 贺子婷 周孟颖 马健 《电视技术》 2023年第1期30-35,共6页
针对因图像采集系统或采集环境本身的限制导致的立体图像模糊、质量低下、感兴趣区域不显著等问题,在最新的基于立体注意力模块的立体图像超分辨算法的基础上,通过在单图超分辨(Single Image Super-Resolution,SISR)的深度网络中引入立... 针对因图像采集系统或采集环境本身的限制导致的立体图像模糊、质量低下、感兴趣区域不显著等问题,在最新的基于立体注意力模块的立体图像超分辨算法的基础上,通过在单图超分辨(Single Image Super-Resolution,SISR)的深度网络中引入立体图像左右两个视点间的互补信息以及平滑损失(Smoothness Loss)函数,增强超分辨后立体图像的视觉效果。在该算法中,梯度更小、更加平滑的立体注意力图可以获得更好的立体图像超分辨效果。为证明引入的函数有效,对改进前后的基于立体注意力机制的立体图像超分辨算法进行对比实验和分析,结果表明,引入平滑损失后,SRCNN和SRResNet模型的峰值信噪比(Peak Signal to Noise Ratio,PSNR)值和结构相似性(Structural Similarity,SSIM)值有明显提高。 展开更多
关键词 图像超分辨 立体图像 立体注意力 平滑损失函数
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医用介入导管和导丝表面亲水涂层研究进展
7
作者 张松林 倪成林 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2023年第6期1-5,共5页
介绍了高值医疗器械中的医用介入导管和导丝表面超滑亲水涂层的研究和应用现状,以及提高超滑亲水涂层牢固度的主要方法。指出超滑亲水涂层是一种在医疗器械表面形成的亲水聚合物交联网络膜,可提高医疗器械的润滑性和生物相容性,降低摩... 介绍了高值医疗器械中的医用介入导管和导丝表面超滑亲水涂层的研究和应用现状,以及提高超滑亲水涂层牢固度的主要方法。指出超滑亲水涂层是一种在医疗器械表面形成的亲水聚合物交联网络膜,可提高医疗器械的润滑性和生物相容性,降低摩擦和损伤,提高治疗效果和安全性。 展开更多
关键词 医疗器械 介入治疗 超滑亲水涂层 涂层牢固度
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磨料液体射流抛光技术研究进展 被引量:11
8
作者 陈逢军 苗想亮 +1 位作者 唐宇 尹韶辉 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第22期3116-3123,共8页
论述了磨料液体射流抛光过程中的材料去除机理,介绍了磨料液体射流加工系统平台的国内外研究成果。从速度变化、材料去除、表面演化、表面粗糙度、数值模拟五个方面阐述了磨料液体射流数学模型的构建状况。系统分析了主要工艺参数如磨... 论述了磨料液体射流抛光过程中的材料去除机理,介绍了磨料液体射流加工系统平台的国内外研究成果。从速度变化、材料去除、表面演化、表面粗糙度、数值模拟五个方面阐述了磨料液体射流数学模型的构建状况。系统分析了主要工艺参数如磨粒动能、射流压力、磨料、喷射角度、喷射距离、添加剂对加工结果的影响规律,并总结了磨料液体射流抛光技术发展历程。最后针对其将来的研究方向与内容给出了进一步的建议与展望。 展开更多
关键词 磨料射流 磨粒磨料 流体抛光 超光滑加工 材料去除
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SiC悬浊液超光滑表面加工技术 被引量:4
9
作者 赵继 陈德祥 +2 位作者 张富 詹建明 张恩忠 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期518-522,共5页
以纳米SiC颗粒悬浊液作为超光滑加工的载体,研制了适合进行超光滑表面加工且具有良好分散性和稳定性的纳米SiC颗粒悬浊液,阐述了悬浊液浮超光滑表面加工的机理,并用该悬浊液对K9光学玻璃进行了加工试验研究,并进行了AFM测试。验证结果表... 以纳米SiC颗粒悬浊液作为超光滑加工的载体,研制了适合进行超光滑表面加工且具有良好分散性和稳定性的纳米SiC颗粒悬浊液,阐述了悬浊液浮超光滑表面加工的机理,并用该悬浊液对K9光学玻璃进行了加工试验研究,并进行了AFM测试。验证结果表明,加工获得的K9光学玻璃表面粗糙度可以达到Ra=0.84 nm的水平。 展开更多
关键词 机床 超光滑表面加工 悬浊液 加工机理
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一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪 被引量:8
10
作者 张贵彦 袁宏韬 缪同群 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期533-537,共5页
运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14~0.19 nm之间,说明了此抛光工艺的稳定性;用原子力... 运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14~0.19 nm之间,说明了此抛光工艺的稳定性;用原子力显微镜测量值为0.143 nm均方根粗糙度的超光滑硅片作为参考样片,比较了其他三片相同工艺制备的硅表面的全积分散射测量结果,结果显示与标准片的测量结果非常接近,均在0.14~0.18 nm之间,验证了全积分散射法的合理性;进一步分析了锗、铝、碳化硅等表面的全积分散射测量结果,结果呈现出明显的差异,说明该方法具有较高的灵敏度和较大的动态范围。 展开更多
关键词 全积分散射 积分球 均方根粗糙度 超光滑
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高温超导薄膜衬底材料LaAlO_3单晶的超光滑表面抛光研究 被引量:5
11
作者 张连翰 孙敦陆 +1 位作者 钱小波 杭寅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期121-123,共3页
本文以化学机械抛光为手段 ,以原子力显微镜 (AFM)为工具 ,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3 单晶的超光滑表面抛光进行研究。既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程 ,又观察到了超光滑表面加工的结果—表面的本征化。
关键词 高温超导薄膜 衬底材料 LaAlO3单晶 超光滑表面抛光 研究 铝酸镧单晶
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散射法表面粗糙度测量 被引量:15
12
作者 尼启良 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期151-154,共4页
介绍了标量和矢量两种散射理论 ,并用软 X射线反射率计对超光滑表面进行散射测量 ,同时应用这两种理论计算了超光滑表面粗糙度均方根值 ,从计算结果来看 ,两种理论所得结果与
关键词 散射 软X射线 超光滑表面 光洁度测量 表面粗糙度
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纳米磨料硬度对超光滑表面抛光粗糙度的影响 被引量:13
13
作者 陈志刚 陈杨 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1075-1080,共6页
通过均相沉淀法制备了纳米CeO2和Al2O3粉体,研究了在相同抛光条件下纳米CeO2、Al2O3和SiO2磨料对硅片的抛光效果,用原子力显微镜观察了抛光表面的微观形貌并测量其表面粗糙度。结果表明:纳米CeO2磨料抛光后表面具有更低的表面粗糙度,在5... 通过均相沉淀法制备了纳米CeO2和Al2O3粉体,研究了在相同抛光条件下纳米CeO2、Al2O3和SiO2磨料对硅片的抛光效果,用原子力显微镜观察了抛光表面的微观形貌并测量其表面粗糙度。结果表明:纳米CeO2磨料抛光后表面具有更低的表面粗糙度,在5μm×5μm范围内表面粗糙度Ra值为0.240nm,而且表面的微观起伏更趋向于平缓;考虑了纳米磨料在抛光条件下所发生的自身变形,其变形量相当于一部分抵消了纳米磨料嵌入基体材料的切削深度,而这个切削深度最终决定了抛光表面的粗糙度;分析指出这个变形量与纳米磨料的硬度成反比,硬度低的纳米磨料由于自身变形量大,导致切削深度小,抛光后表面的粗糙度值低。解释了在相同的抛光条件下不同硬度的纳米磨料具有不同的抛光表面粗糙度的原因。 展开更多
关键词 纳米磨料 硬度 粗糙度 超光滑表面 抛光
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掠入射X射线散射法测量超光滑表面 被引量:6
14
作者 王永刚 孟艳丽 +2 位作者 马文生 陈斌 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期60-68,共9页
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱... 介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数(PSD)与使用原子力显微镜(AFM)所测量的结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度<0.02mm,入射光发散度<43″时,在空间频率>0.03μm-1的范围内,由其引起的PSD函数测量误差<2%。随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,PSD函数的误差随频率的增加而减小,仪器的重复精度优于2.6%。 展开更多
关键词 掠入射X射线散射法 超光滑表面 微扰理论 功率谱密度(PSD) 原子力显微镜(AFM) 系统误差
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Li_2O-Al_2O_3-SiO_2微晶玻璃超光滑表面纳米划痕产生机理及抑制实验研究 被引量:3
15
作者 向勇 任杰 +2 位作者 白满社 陈静 张晋宽 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第3期189-193,共5页
对Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃超光滑表面进行了纳米划痕实验,测得微晶玻璃超光滑表面弹性-塑性与塑性-脆性转变的临界载荷分别为3.906 mN和29.78 mN.通过对微晶玻璃超光滑表面划痕产生机理进行分析,得出在纳米尺度的抛光加工过程中,抛光... 对Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃超光滑表面进行了纳米划痕实验,测得微晶玻璃超光滑表面弹性-塑性与塑性-脆性转变的临界载荷分别为3.906 mN和29.78 mN.通过对微晶玻璃超光滑表面划痕产生机理进行分析,得出在纳米尺度的抛光加工过程中,抛光颗粒的载荷越接近弹塑转变临界载荷,则样品表面产生的划痕越少,越易获得无划痕的超光滑表面.通过对比抛光工艺优化前后的实验结果,可以看出优化后的抛光工艺对超光滑表面划痕的抑制效果较明显,证实了上述研究结果的正确性.该研究结果对于Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃超光滑表面加工具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 塑性-脆性转变 纳米划痕 超光滑表面
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超光滑表面加工方法 被引量:4
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作者 李宝贵 熊昌友 +1 位作者 李成贵 张庆荣 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2006年第6期60-62,66,共4页
超光滑表面的一个最直接的评价参数就是表面粗糙度,它要求Ra≤1nm。在这样高的要求下,传统抛光由于磨料的存在限制了表面粗糙度进一步减小,传统的机械加工已经满足不了要求。文中着重阐述了现有的超光滑表面的加工方法,对于各种方法都... 超光滑表面的一个最直接的评价参数就是表面粗糙度,它要求Ra≤1nm。在这样高的要求下,传统抛光由于磨料的存在限制了表面粗糙度进一步减小,传统的机械加工已经满足不了要求。文中着重阐述了现有的超光滑表面的加工方法,对于各种方法都做了原理性的介绍及评价。 展开更多
关键词 超光滑表面 纳米表面 抛光 加工技术 粗糙度
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化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工 被引量:2
17
作者 公发全 肖鹏 +3 位作者 黄润兰 李刚 刘万发 董闯 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期327-329,共3页
利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4μm到1μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱... 利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4μm到1μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱性水溶液进行抛光,表面粗糙度达到0.6 nm(RMS),表面纳米级划痕得到很好改善,获得了较高表面质量的超光滑表面。 展开更多
关键词 化学气相沉积 SIC材料 光学加工 超光滑表面 纳米加工 表面粗糙度
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超光滑光学基片表面激光清洗机理与技术 被引量:7
18
作者 徐传义 史兴宽 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期128-131,共4页
分析了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片表面应用中的难点和可行性,并利用Nd:YAG脉冲激光器对超光滑光学玻璃表面进行了激光清洗实验,实验结果表明了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片方面非常有效。在此基础上建立了激光清洗的热... 分析了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片表面应用中的难点和可行性,并利用Nd:YAG脉冲激光器对超光滑光学玻璃表面进行了激光清洗实验,实验结果表明了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片方面非常有效。在此基础上建立了激光清洗的热学模型,结合气泡成长动力学和流体力学理论,分析了超光滑光学基片表面激光清洗的机理,量化了作用于杂质微粒上的去除力。 展开更多
关键词 超光滑光学基片 激光清洗 清洗机理 热学模型 光学器件
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LBO晶体超光滑表面抛光机理 被引量:4
19
作者 李军 朱镛 陈创天 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期18-21,共4页
胶体SiO2抛光LBO晶体获得无损伤的超光滑表面,结合前人对抛光机理的认识,探讨了超光滑表面抛光的材料去除机理,分析了化学机械抛光中的原子级材料去除机理。在此基础上,对胶体SiO2抛光LBO晶体表面材料去除机理和超光滑表面的形成进行了... 胶体SiO2抛光LBO晶体获得无损伤的超光滑表面,结合前人对抛光机理的认识,探讨了超光滑表面抛光的材料去除机理,分析了化学机械抛光中的原子级材料去除机理。在此基础上,对胶体SiO2抛光LBO晶体表面材料去除机理和超光滑表面的形成进行了详细的描述,研究抛光液的pH值与材料去除率和表面粗糙度的关系。LBO晶体超光滑表面抛光的材料去除机理是抛光液与晶体表面的活泼原子层发生化学反应形成过渡的软质层,软质层在磨料和抛光盘的作用下很容易被无损伤的去除。酸性条件下,随抛光液pH值的减小抛光材料的去除率增大;抛光液pH值为4时,获得最好的表面粗糙度。 展开更多
关键词 LBO晶体 化学机械抛光 超光滑表面 抛光机理 材料去除
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无机材料超光滑表面的制备 被引量:2
20
作者 周永恒 苏英 黄武 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第3期41-44,共4页
随着光学、微电子、航天和激光技术的发展,在晶体或玻璃等无机材料上制备亚纳米级的超光滑无损伤表面已成为现代精密加工技术领域的重点研究课题。近年来,此项技术研究进展迅速,不仅改进了传统的抛光技术,还出现了浮法抛光、离子束加工... 随着光学、微电子、航天和激光技术的发展,在晶体或玻璃等无机材料上制备亚纳米级的超光滑无损伤表面已成为现代精密加工技术领域的重点研究课题。近年来,此项技术研究进展迅速,不仅改进了传统的抛光技术,还出现了浮法抛光、离子束加工和弹性发射加工等新技术。系统介绍了超光滑表面的检测、制备技术及其发展,并讨论了抛光过程中的机械化学作用机理。 展开更多
关键词 无机材料 制备 超光滑表面 亚表面缺陷 抛光 机械化学 表面质量检测 光学器件
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