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高温超导薄膜红外探测器研究
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作者 何军锋 《陕西工学院学报》 1999年第4期54-55,59,共3页
文章系统阐述了高Tcbolometer的工作原理及性能优势;简要介绍了采用负胶光刻和湿法(化学)刻蚀技术在5×10mm2GdBa2Cu3O7-x薄膜上制备2×2阵列高Tcbolometer器件的工艺过程;并对此工艺优劣性进行了分析。
关键词 负胶光刻 化学刻蚀 高温超导薄膜红外探测器
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