期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
高温超导薄膜红外探测器研究
1
作者
何军锋
《陕西工学院学报》
1999年第4期54-55,59,共3页
文章系统阐述了高Tcbolometer的工作原理及性能优势;简要介绍了采用负胶光刻和湿法(化学)刻蚀技术在5×10mm2GdBa2Cu3O7-x薄膜上制备2×2阵列高Tcbolometer器件的工艺过程;并对此工艺优劣性进行了分析。
关键词
负胶光刻
化学刻蚀
高温超导薄膜红外探测器
下载PDF
职称材料
题名
高温超导薄膜红外探测器研究
1
作者
何军锋
机构
陕西工学院基础课部
出处
《陕西工学院学报》
1999年第4期54-55,59,共3页
文摘
文章系统阐述了高Tcbolometer的工作原理及性能优势;简要介绍了采用负胶光刻和湿法(化学)刻蚀技术在5×10mm2GdBa2Cu3O7-x薄膜上制备2×2阵列高Tcbolometer器件的工艺过程;并对此工艺优劣性进行了分析。
关键词
负胶光刻
化学刻蚀
高温超导薄膜红外探测器
Keywords
super_conductive
bolometer
negative-working photoresist
chemical film corrosion
分类号
TN215.05 [电子电信—物理电子学]
O511.9 [理学—低温物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高温超导薄膜红外探测器研究
何军锋
《陕西工学院学报》
1999
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部