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题名纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势
被引量:3
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作者
唐普洪
宋仁国
柴国钟
陈小明
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机构
浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期18-21,共4页
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基金
浙江省自然科学基金青年科技人才培养项目(R405031)资助课题
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文摘
分别从溅射法和蒸发法两个方面评述了近年来纳米多层膜制备工艺的最新进展,在此基础上介绍了脉冲激光沉积(PLD)工艺制备纳米超硬多层膜的新方法。对典型的超硬膜TiN、(Ti,Zr)N、(Ti,Al)N、TiN/SiO2、B1-SiC、TiN/SiN4进行了简单回顾,并对其硬度、残余应力、摩擦磨损和抗氧化性能等方面做了详细的比较。最后,简述了纳米超硬多层膜表征的一般手段,并展望了发展前景。
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关键词
纳米超硬多层膜
脉冲激光沉积
制备
表征
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Keywords
superhard nano-multilayer films, pulsed laser deposition, preparation, properties characterisation
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
O484.1
[理学—固体物理]
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