-
题名阵列式芯片特定区域内微流体加热研究
被引量:2
- 1
-
-
作者
王保成
章安良
-
机构
襄阳职业技术学院电子信息工程学院
常州工学院电气与光电子工程学院
-
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期790-793,共4页
-
基金
常州工学院科研基金资助项目(YN1404)
江苏省创新基金资助项目(201511055039X)
-
文摘
提出了阵列式芯片特定区域内微流体的加热方法,研制了4×4阵列式聚二甲基硅氧烷芯片及其特定区域的加热组件。在128°YX-LiNbO3基片上光刻16个叉指换能器,其激发的SAW驱动压电基片上油相流体,使其输运到待加热区的传热柱上,在油相流体两侧的叉指换能器上加电信号,激发SAW加热油相流体,并通过传热柱加热阵列式芯片受热区内微流体。以石蜡油微流体为实验对象进行阵列式芯片特定区域微流体加热实验,结果表明,SAW可有效加热阵列式芯片特定区域内石蜡油微流体,在30.0dBm电信号功率作用下,使7.5μL石蜡油温度从22.3℃上升到33.5℃。
-
关键词
声表面波
叉指换能器
阵列式芯片
微流器件
加热
-
Keywords
surfac e aco us tic wa v e
in te rd ig i ta l tran sd u c e r
a r ra y c h ip
micro fluidic d ev ic e
h eat
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
-