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Surface Treatment of Polyethylene Terephthalate Film Using Atmospheric Pressure Glow Discharge in Air 被引量:6
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作者 方志 邱毓昌 王辉 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第6期2576-2580,共5页
Non-thermal plasmas under atmospheric pressure are of great interest in polymer surface processing because of their convenience, effectiveness and low cost. In this paper, the treatment of Polyethylene terephthalate (... Non-thermal plasmas under atmospheric pressure are of great interest in polymer surface processing because of their convenience, effectiveness and low cost. In this paper, the treatment of Polyethylene terephthalate (PET) film surface for improving hydrophilicity using the non-thermal plasma generated by atmospheric pressure glow discharge (APGD) in air is conducted. The discharge characteristics of APGD are shown by measurement of their electrical discharge parameters and observation of light-emission phenomena, and the surface properties of PET before and after the APGD treatment are studied using contact angle measurement, x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and scanning electron microscopy (SEM). It is found that the APGD is homogeneous and stable in the whole gas gap, which differs from the commonly filamentary dielectric barrier discharge (DBD). A short time (several seconds) APGD treatment can modify the surface characteristics of PET film markedly and uniformly. After 10 s APGD treatment, the 展开更多
关键词 non-thermal plasma dielectric barrier discharge (DBD) atmospheric pressure glow discharge (APGD) surface treatment polyethylene terephthalate (PET)
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Surface Treatment of Polypropylene Films Using Dielectric Barrier Discharge with Magnetic Field 被引量:1
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作者 王长全 张贵新 +1 位作者 王新新 陈志宇 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第10期891-896,共6页
Atmospheric pressure non-thermal plasma is of interest for industrial applications. In this study, polypropylene (PP) films are modified by a dielectric barrier discharge (DBD) with a non-uniform magnetic field in... Atmospheric pressure non-thermal plasma is of interest for industrial applications. In this study, polypropylene (PP) films are modified by a dielectric barrier discharge (DBD) with a non-uniform magnetic field in air at atmospheric pressure. The surface properties of the PP films before and after a DBD treatment are studied by using contact angle measurement, atomic force microscopy (AFM) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The effect of treatment time on the surface modification with and without a magnetic field is investigated. It is found that the hydrophilic improvement depends on the treatment time and magnetic field. It is also found that surface roughness and oxygen-containing groups are introduced onto the PP film surface after the DBD treatment. Surface roughness and oxygen-containing polar functional groups of the PP films increase with the magnetic induction density. The functional groups are identified as C-O, C=O and O-C=O by using XPS analysis. It is concluded that the hydrophilic improvement of PP films treated with a magnetic field is due to a greater surface roughness and more oxygen-containing groups. 展开更多
关键词 non-thermal plasma dielectric barrier discharge (DBD) surface treatment HYDROPHILICITY magnetic field
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Improving Hydrophobicity of Glass Surface Using Dielectric Barrier Discharge Treatment in Atmospheric Air
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作者 方志 邱毓昌 +1 位作者 王辉 E.KUFFEL 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第5期582-586,共5页
Non-thermal plasmas under atmospheric pressure are of great interest in industrial applications, especially in material surface treatment. In this paper, the treatment of a glass surface for improving hydrophobicity u... Non-thermal plasmas under atmospheric pressure are of great interest in industrial applications, especially in material surface treatment. In this paper, the treatment of a glass surface for improving hydrophobicity using the non-thermal plasma generated by dielectric barrier discharge (DBD) at atmospheric pressure in ambient air is conducted, and the surface properties of the glass before and after the DBD treatment are studied by using contact angle measurement, surface resistance measurement and wet flashover voltage tests. The effects of the applied voltage and time duration of DBD on the surface modification are studied, and the optimal conditions for the treatment are obtained. It is found that a layer of hydrophobic coating is formed on the glass surface after spraying a thin layer of silicone oil and undergoing the DBD treatment, and the improvement of hydrophobicity depends on DBD voltage and treating time. It seems that there exists an optimum treating time for a certain applied voltage of DBD during the surface treatment, The test results of thermal aging and chemical aging show that the hydrophobic layer has quite stable characteristics. The interaction mechanism between the DBD plasma and the glass surface is discussed. It is concluded that CHa and large molecule radicals can react with the radicals in the glass surface to replace OH, and the hydrophobicity of the glass surface is improved accordingly. 展开更多
关键词 non-thermal plasma dielectric barrier discharge (DBD) surface treatment hydrophobicity
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改性熔喷吸油材料研究进展
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作者 李磊 苏静娜 +3 位作者 鞠敬鸽 康卫民 黄宇婷 崔宪峰 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期168-175,共8页
常规的熔喷吸油材料存在吸油倍率低、保油性能较差和强力低等缺点,限制了其作为吸油材料的应用与发展,而通过改性常规熔喷吸油材料来提升其性能的研究受到广泛关注。文中对改性熔喷吸油材料的研究进展进行了全面综述,重点介绍了共混改... 常规的熔喷吸油材料存在吸油倍率低、保油性能较差和强力低等缺点,限制了其作为吸油材料的应用与发展,而通过改性常规熔喷吸油材料来提升其性能的研究受到广泛关注。文中对改性熔喷吸油材料的研究进展进行了全面综述,重点介绍了共混改性、表面改性、复合改性3种改性方法对熔喷吸油材料性能的影响,以及以熔喷吸油材料为基体,通过以上改性方法改变其组分和结构,从而提高材料的吸油倍率、保油率和强力。最后,根据现有吸油材料的发展,对熔喷吸油材料所面临的困难提出了应对策略,展望了其未来的发展方向。 展开更多
关键词 熔喷 吸油材料 非织造材料 共混改性 表面改性 复合改性
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氢分离非钯合金膜表面处理研究进展
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作者 唐柏林 陈修 +6 位作者 杨波 孟野 顾亦诚 陆羽 史晓斌 张世宏 宋广生 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期80-91,230,共13页
镀有Pd层的氢分离纯化用5B族金属膜具有较高的氢选择性和渗透率,但Pd与基底在高温下易发生热扩散,致使氢的解离效率变差,影响合金膜在氢分离时的连续性和稳定性。目前,在合金膜与Pd之间添加中间层或在合金膜表面直接使用非Pd催化材料是... 镀有Pd层的氢分离纯化用5B族金属膜具有较高的氢选择性和渗透率,但Pd与基底在高温下易发生热扩散,致使氢的解离效率变差,影响合金膜在氢分离时的连续性和稳定性。目前,在合金膜与Pd之间添加中间层或在合金膜表面直接使用非Pd催化材料是防止氢分离合金膜因金属间扩散而失效的主要方法。介绍了金属催化氢解离与合金膜渗氢机理,并从中间层材料、非Pd催化材料及影响这2种材料效果的内外因素等方面综述了近年来在氢分离合金膜表面处理方面的研究进展。中间层材料的类型以金属化合物为主,还包括氧化物及稀土金属Y,针对这些材料防金属间扩散的效果采用高温下渗氢稳定时间和渗透率进行评价分析;非Pd催化材料主要分为金属碳化物和钒氧化物2类,重点分析了材料的解离效率和通用性,其解离效率与晶体结构和实验温度有关。在通用性方面,氧化物能够与不同基底合金结合,并获得较高的氢渗透率,表现出更好的适应性。影响中间层和非Pd催化材料发挥效用的因素主要包括材料内在因素和工艺外部因素,分析了涂层结构和厚度的材料因素,举例说明了制备工艺和制备参数选择等外部因素对材料发挥效用的影响。最后指出了现有涂层研究中,加入中间层材料或直接使用非Pd催化材料时的不足及相应的改进措施,并对氢分离5B族合金膜表面处理的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 氢分离 表面处理 非Pd催化材料 中间层 复合膜 金属膜
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NUMERICAL MODELLING OF FREE-SURFACE FLOWS WITH BOTTOM AND SURFACE-LAYER PRESSURE TREATMENT 被引量:18
6
作者 WANG Kun 《Journal of Hydrodynamics》 SCIE EI CSCD 2009年第3期352-359,共8页
A new non-hydrostatic numerical model with the three-dimensional Navier-Stokes equations on structured grids was constructed and discussed. The algorithm is based upon a staggered finite difference Crank-Nicholson sch... A new non-hydrostatic numerical model with the three-dimensional Navier-Stokes equations on structured grids was constructed and discussed. The algorithm is based upon a staggered finite difference Crank-Nicholson scheme on a Cartesian grid. The eddy viscosity coefficient was calculated by the efficient k-ε turbulence model. A new surface-layer non-hydrostatic treatment and a local cell bottom treatment were introduced so that the three-dimensional model is fully non-hydrostatic and is free of any hydrostatic assumption. The developed model is second-order accuracy in both time and space when semi-implicit coefficient is set to 0.5. The validity of the present solution algorithm was demonstrated from its application to the three-dimension channel flow and the wave propagation over a submerged bar problems. 展开更多
关键词 Navier-Stokes equations IMPLICIT k turbulence model surface-layer non-hydrostatic treatment local cell bottom treatment
原文传递
湿地生态修复在河道面源污染治理中的工程应用 被引量:1
7
作者 尚文 史笔函 《环境保护与循环经济》 2023年第12期39-43,共5页
受农业面源污染影响,河道水质恶化、生态系统退化,人工湿地技术是河道污染治理与生态修复的有效手段之一。通过对旭光十八涧河道进行底泥清淤、生态护坡、筑坝拦水和生态缓冲带、表面流湿地的构建,修复河道生态缓冲带56940 m^(2),构建... 受农业面源污染影响,河道水质恶化、生态系统退化,人工湿地技术是河道污染治理与生态修复的有效手段之一。通过对旭光十八涧河道进行底泥清淤、生态护坡、筑坝拦水和生态缓冲带、表面流湿地的构建,修复河道生态缓冲带56940 m^(2),构建河道表面流湿地42105 m^(2),河道水质提升至地表Ⅳ类水标准。本项目对非通航缓流河道构建农业面源污染治理技术体系,研究人工湿地对消除河道黑臭、提升水质标准、重建水生态系统的工程效应具有示范作用。 展开更多
关键词 河道治理 农业面源污染 表面流湿地 生态修复
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零件荧光渗透检测典型显示实例分析
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作者 胡嘉蓉 国佳伟 +1 位作者 黄坤 汪洪量 《科技创新与应用》 2023年第28期149-152,共4页
零件经荧光渗透检测时,表面常呈现各种形态的荧光显示。这些显示是由在役使用、加工成型及表面处理等多种因素形成的。为使零件在荧光渗透检测中结果可靠,该文对在役的零件受力及服役情况进行分析,并对零件的荧光显示特征总结,浅谈荧光... 零件经荧光渗透检测时,表面常呈现各种形态的荧光显示。这些显示是由在役使用、加工成型及表面处理等多种因素形成的。为使零件在荧光渗透检测中结果可靠,该文对在役的零件受力及服役情况进行分析,并对零件的荧光显示特征总结,浅谈荧光渗透检测技术在零件检测上的应用,有利于产品荧光渗透检测技术的提升。在实际检测中,往往需要操作人员对荧光显示特征有清晰的认识和辨别的能力,因此操作人员对荧光显示的判断与分析在荧光渗透检测中起着至关重要的作用。 展开更多
关键词 荧光渗透 金属 无损检测 表面处理 疲劳损伤
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WRC-KS82型涡流纺用胶辊的研发与应用
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作者 安建江 沈绒 +1 位作者 邵焕 曹恒坤 《纺织器材》 2023年第5期46-50,共5页
为了解决涡流纺用胶辊回磨周期偏短导致纺企消耗增加、效率降低等问题,分析在超大牵伸、高速、高温纺纱环境下,涡流纺用胶辊技术研发关键及性能创新要点;通过使用WRC-KS82型与进口某型涡流纺用胶辊成纱质量、耐中凹、不同表面处理方式... 为了解决涡流纺用胶辊回磨周期偏短导致纺企消耗增加、效率降低等问题,分析在超大牵伸、高速、高温纺纱环境下,涡流纺用胶辊技术研发关键及性能创新要点;通过使用WRC-KS82型与进口某型涡流纺用胶辊成纱质量、耐中凹、不同表面处理方式等项目的对比试验,表明WRC-KS82型涡流纺用胶辊耐磨、抗压、抗绕、适纺性能优良,纺涤纶和涤纶/粘胶混纺纱成纱质量水平达到进口胶辊水平,且抗中凹性能好,回磨周期达28 d以上。指出:WRC-KS82型涡流纺用胶辊能降低消耗、节约成本,使用时需选择合适硬度与凸台工作宽度的胶辊,制定合理的回磨周期,配套适当宽度的集棉器,以达到涡流纺纱线质量要求与使用周期的平衡。 展开更多
关键词 涡流纺 胶辊 WRC-KS82型 耐磨 抗中凹 回磨周期 表面处理
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细纱胶辊机械波产生原因及解决措施
10
作者 曹恒坤 《纺织器材》 2023年第S01期20-22,共3页
为了提升纺纱质量,避免细纱胶辊产生机械波,介绍胶辊机械波在波谱图的基本特征,从上罗拉轴承及胶管自身精度、胶辊的套制质量、精磨偏心、表面处理、磨削量以及车间温湿度7个方面重点分析胶辊机械波产生的主要原因,从严把轴承和胶管质... 为了提升纺纱质量,避免细纱胶辊产生机械波,介绍胶辊机械波在波谱图的基本特征,从上罗拉轴承及胶管自身精度、胶辊的套制质量、精磨偏心、表面处理、磨削量以及车间温湿度7个方面重点分析胶辊机械波产生的主要原因,从严把轴承和胶管质量关、严格按照操作法制作胶辊、待用胶辊做好存放、上车胶辊做好检查和管理等方面阐述预防胶辊机械波的措施.指出:提升纺纱质量,纺织企业要多尝试新技术、新工艺、新器材;消除胶辊机械波,制造企业要提升胶辊产品质量,纺织企业要做到质量和管理齐手抓. 展开更多
关键词 胶辊 机械波 波谱图 套制 压圆 磨削量 偏心 表面处理
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有色金属及合金表面机械研磨处理的研究进展 被引量:13
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作者 俞燕明 饶锡新 +1 位作者 刘勇 王智海 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第6期36-41,共6页
介绍了表面机械研磨处理(SMAT)的原理和设备,概括了有色金属及合金经SMAT处理后的组织结构特征和晶粒细化机制。综述了近年来有色金属及合金的SMAT研究进展,分析了其对有色金属及合金的拉伸性能、耐磨性能、腐蚀性能和疲劳性能的影响,... 介绍了表面机械研磨处理(SMAT)的原理和设备,概括了有色金属及合金经SMAT处理后的组织结构特征和晶粒细化机制。综述了近年来有色金属及合金的SMAT研究进展,分析了其对有色金属及合金的拉伸性能、耐磨性能、腐蚀性能和疲劳性能的影响,展望了该技术的应用前景和发展方向。 展开更多
关键词 有色金属及合金 表面机械研磨处理 组织 性能
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表面处理对特种覆膜砂强度的影响 被引量:6
12
作者 刘向东 肖柯则 +1 位作者 王文清 戴绪绮 《铸造技术》 CAS 北大核心 1999年第6期43-46,共4页
在满足型芯砂性能要求的前提下,充分发挥粘结剂的粘结效率是降低覆膜砂发气量,防止铸件产生与气体有关的缺陷,降低铸件成本,提高生产效益的关键;研究了表面处理工艺对覆膜特种砂强度、发气性及溃散性的影响;结果表明,对原砂进行... 在满足型芯砂性能要求的前提下,充分发挥粘结剂的粘结效率是降低覆膜砂发气量,防止铸件产生与气体有关的缺陷,降低铸件成本,提高生产效益的关键;研究了表面处理工艺对覆膜特种砂强度、发气性及溃散性的影响;结果表明,对原砂进行表面处理可以提高粘结剂的粘结效率,提高覆膜砂的强度,减少树脂加入量,降低发气量。 展开更多
关键词 表面处理 偶联剂 溃散剂 覆膜砂 强度 铸造
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木材表面的功能性改良 被引量:16
13
作者 李坚 段新芳 刘一星 《东北林业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期95-101,共7页
论述了木材表面功能性改良的目的、介绍了木材染色、表面强化、无电解电镀处理、化学表面修饰、等离子体聚合和表面活性化的功能性改良方法.概述了改良木材的性能和用途。
关键词 木材染色 表面强化 无电解电镀处理
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难粘塑料表面低温等离子体处理研究进展 被引量:6
14
作者 刘乃亮 齐暑华 +1 位作者 理莎莎 吴波 《中国胶粘剂》 CAS 北大核心 2009年第12期53-59,共7页
分析了难粘塑料(如聚乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯和全氟乙丙烯等)难粘的原因,讨论了难粘塑料表面处理的途径,以及低温等离子体对其表面处理的原理,分别从反应型等离子体和非反应型等离子体两方面对其研究现状进行了介绍,并对等离子体表面... 分析了难粘塑料(如聚乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯和全氟乙丙烯等)难粘的原因,讨论了难粘塑料表面处理的途径,以及低温等离子体对其表面处理的原理,分别从反应型等离子体和非反应型等离子体两方面对其研究现状进行了介绍,并对等离子体表面处理的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 难粘塑料 聚乙烯 聚四氟乙烯 低温等离子体 表面处理
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表面机械研磨/异步轧制无取向硅钢薄带的渗硅行为 被引量:5
15
作者 莫成刚 黄凯 +2 位作者 刘刚 黄璞 左良 《材料与冶金学报》 CAS 2011年第3期216-219,共4页
对w(Si)=3%无取向硅钢进行表面机械研磨处理(SMAT)和异步轧制(CSR),获得表面纳米结构,再进行550~650℃、4 h固体粉末渗硅处理,用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究表层组织演变。结果表明:经过SMAT后,w(Si)=3%无取... 对w(Si)=3%无取向硅钢进行表面机械研磨处理(SMAT)和异步轧制(CSR),获得表面纳米结构,再进行550~650℃、4 h固体粉末渗硅处理,用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究表层组织演变。结果表明:经过SMAT后,w(Si)=3%无取向硅钢表面形成了等轴状、取向呈随机分布的、晶粒尺寸为10 nm的纳米晶组织;异步轧制后,表面纳米晶组织保持不变;550~650℃、4 h渗硅处理后,SMAT+CSR样品表面形成化合物层,其厚度随着温度的升高由17μm增加到52μm;化合物层由Fe3Si和FeSi相组成. 展开更多
关键词 无取向硅钢 表面机械研磨处理 异步轧制 渗硅
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纳米氮化铝粉末表面修饰的研究 被引量:10
16
作者 马文石 董安辉 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期62-64,共3页
以活化指数和pH值为考核指标,通过变化改性剂的用量、处理温度以及处理时间等,研究了偶联剂–苯乙烯接枝改性剂对纳米AlN粉末的表面改性效果。结果表明:纳米AlN粉末经偶联剂–苯乙烯接枝进行表面修饰可显著提高其抗水解的能力,室温下长... 以活化指数和pH值为考核指标,通过变化改性剂的用量、处理温度以及处理时间等,研究了偶联剂–苯乙烯接枝改性剂对纳米AlN粉末的表面改性效果。结果表明:纳米AlN粉末经偶联剂–苯乙烯接枝进行表面修饰可显著提高其抗水解的能力,室温下长达一个月遇水不发生变化;在70℃的热水浴浸泡24h,其悬浮液pH值仍能保持在7.0。并对工艺条件进行了优化,其最佳工艺条件是:以无水乙醇为溶剂、处理剂的加入量为5%(质量分数)、70℃反应3h,活化指数可以达到1.0。 展开更多
关键词 无机非金属材料 ALN 表面改性 活化指数 抗水解
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AlN基板表面处理对薄膜附着力的影响 被引量:2
17
作者 刘刚 王从香 符鹏 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期45-47,共3页
用扫描电镜和X射线能谱分析仪研究高温氧化及薄膜工艺过程中主要溶液对氮化铝陶瓷(AlN)基板的影响。结果表明:高温氧化使表面氧含量增加,在1000℃氧化2h,表面已形成致密的氧化层。碱性溶液清洗和去离子水煮会使表面产生多孔的疏松化合... 用扫描电镜和X射线能谱分析仪研究高温氧化及薄膜工艺过程中主要溶液对氮化铝陶瓷(AlN)基板的影响。结果表明:高温氧化使表面氧含量增加,在1000℃氧化2h,表面已形成致密的氧化层。碱性溶液清洗和去离子水煮会使表面产生多孔的疏松化合物。采用高温氧化、酸性清洗、溅射前加强离子轰击等措施,磁控溅射TiCu,其薄膜膜层附着力不低于15MPa。 展开更多
关键词 无机非金属材料 AIN 表面处理 薄膜 附着力
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3%无取向硅钢薄板的表面纳米化结构与性能 被引量:2
18
作者 莫成刚 刘刚 +2 位作者 刘金阳 武保林 左良 《材料与冶金学报》 CAS 北大核心 2012年第1期43-46,53,共5页
为了探索金属薄板表面纳米化制备方法,本工作选取3%无取向硅钢热轧板进行表面机械研磨处理(SMAT)和异步轧制(CSR),研究深度方向结构和硬度的变化.结果表明:SMAT过程中,3%无取向硅钢通过位错的演变,在表面形成了等轴状、尺寸约为10 nm的... 为了探索金属薄板表面纳米化制备方法,本工作选取3%无取向硅钢热轧板进行表面机械研磨处理(SMAT)和异步轧制(CSR),研究深度方向结构和硬度的变化.结果表明:SMAT过程中,3%无取向硅钢通过位错的演变,在表面形成了等轴状、尺寸约为10 nm的、取向呈随机分布的纳米晶,纳米晶层厚度约为20μm;SMAT样品经过CSR后,表面的显微组织基本不变,但纳米晶层的厚度明显减小;SMAT和CSR处理使表面硬度显著提高(约为85%).本工作表明,SMAT与CSR复合工艺可以制备大尺寸的、具有纳米结构表层的金属薄板. 展开更多
关键词 3%无取向硅钢 表面机械研磨处理 异步轧制 组织演变 硬度 纳米结构表层
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多针-平板介质阻挡放电提高玻璃表面憎水性的研究 被引量:5
19
作者 方志 王辉 邱毓昌 《绝缘材料》 CAS 2005年第4期23-26,31,共5页
用大气压空气中多针-平板电极结构的DBD对玻璃表面进行憎水性改性。通过测量水接触角、表面电阻和湿闪电压等研究了这两种形式DBD产生的等离子体处理前后玻璃的表面特性以及处理电压和处理时间对改性效果的影响,结果表明:在玻璃表面涂... 用大气压空气中多针-平板电极结构的DBD对玻璃表面进行憎水性改性。通过测量水接触角、表面电阻和湿闪电压等研究了这两种形式DBD产生的等离子体处理前后玻璃的表面特性以及处理电压和处理时间对改性效果的影响,结果表明:在玻璃表面涂一层二甲基硅油并经等离子体处理后,能在玻璃表面生成一层长效、致密的憎水膜。随处理电压和处理时间的不同,改性效果不同,当处理电压10kV、处理时间8min时提高憎水性效果最明显。 展开更多
关键词 常压低温等离子体 介质阻挡放电 多针-平板电极 表面改性 憎水性
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锑化铟焦平面器件背面减薄后的表面处理方法研究 被引量:3
20
作者 肖钰 李家发 +2 位作者 王淑艳 曹凌霞 李海燕 《红外》 CAS 2020年第6期7-11,共5页
经传统的背面减薄工艺处理后,锑化铟焦平面器件的表面上经常会有细微划道;采用传统的表面清洗方式时也容易对器件表面造成划道,导致工艺重复性差。因此,当器件经过背面减薄后,利用腐蚀液去除划道,并采用基于石油醚和无水乙醇的非接触式... 经传统的背面减薄工艺处理后,锑化铟焦平面器件的表面上经常会有细微划道;采用传统的表面清洗方式时也容易对器件表面造成划道,导致工艺重复性差。因此,当器件经过背面减薄后,利用腐蚀液去除划道,并采用基于石油醚和无水乙醇的非接触式清洗方法,有效降低了器件表面产生划道的几率,同时避免了由于表面腐蚀速率不均匀导致测试时部分区域电平较高、在测试图像上出现亮斑等情况;另外还提高了工艺的重复性,使锑化铟器件的红外成像均匀且没有划道,从而提高了该器件的成品率。 展开更多
关键词 锑化铟 非接触式清洗 表面处理 划道
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