一种集成式多参数硅微传感器

为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成。测量电阻通过离子注入B+形成扩散电阻。为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置。温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿。芯片大小为5mm×5mm。试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度。

应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器(英文)

压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm×3.5mm×0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器,铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程,给出了实验和测试方法。结果表明,压力传感器的精度优于0.05%;温度传感器的精度为0.3%;湿度集成传感器的量程为25%RH～95%RH,其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。

基于SHT10与单片机技术的温室监测系统

本设计基于单片机技术,实现温室的温、湿度自动检测与控制。设计中,以单片机89S52作为控制核心,采用数字温湿度集成传感器SHT10进行数据采集转换,以键盘输入方式进行温湿度值设定,用液晶屏实现温湿度数据的实时显示。温度与湿度的调节装置能够保障温湿度参数的变化不超过设定范围,否则报警并自动调节。系统已经在小型温室大棚中试用,完全达到设计要求。与传统的温湿度测量方案相比,本系统测量精度更高,控制更加精确,外围电路更加简洁,而且节约了人力成本。

基于SHT10单片集成传感器温湿度检测模块设计

测控系统中经常涉及到温度和湿度参数的检测,采用一体化集成的传感器对温湿度进行检测有利于提高系统的抗干扰能力和可靠性。SHT10正是集温度和湿度检测于一体的单片集成传感器。文中介绍SHT10传感器的基本特性和外部接口的时序要求,详细讨论以SHT10为信息源的温湿度模块的软硬件设计。

8位单片机控制的经济型温湿度监控仪研制

介绍以STC89系列单片机为核心,以集成温度传感器AD590为温度检测元件,以HS1100相对湿度传感器为湿度检测元件,具有温度、湿度、露点监控功能的经济型监控系统。系统根据采集到的温度、湿度,计算得出相应情况下的露点,具有露点监视功能。该系统还具有2路12位D/A输出,可控制相应的温度或湿度。成本低、结构简单、可靠性高、操作方便,实现了对温度、湿度的自动监控,可满足一般工业环境的温度、湿度监控及露点显示的要求,具有很好的实用价值。

基于MEMS技术的集成温湿传感器研制

基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构,以及具体测量方法。重点介绍了湿度部分的测量,证实所设计的集成传感器有良好性能。

湿度传感器的选用及发展趋势

湿度传感器在工农业控制领域的应用越来越广泛,介绍了湿度传感器的分类和各自的优缺点以及适用领域,并对湿度传感器选用原则进行了介绍,同时对湿度传感器与湿度变送器进行了区别,最后总结了当前湿度传感器的发展情况及发展的趋势。

新型温湿敏集成传感器研制

本文介绍了一种新的湿敏薄膜材料Ta_2O_5和一种新的硅衬底材料SOI/SDB的制备技术及它们的特性,给出了包含P-N结温敏元件的FET湿度的传感器结构及其特点.

温湿度控制系统设计

温室是设施农业的重要组成部分,提高温室的自动控制和管理水平可充分发挥温室农业的高效性。通过传感器技术、外围接口电路,实现了对温度实时采集、智能监控。

一种新型温湿敏集成传感器研制

研制成由硅温敏二极管和聚酸亚胺湿敏电容集成的温湿度传感器。介绍了它的工作原理、结构设计、制作工艺、测试结果以及为提高它的性能所作的一些研究。

厚膜一体化温湿度传感器中热敏材料的制备工艺及机理研究

概述了一体化温湿度传感器的特点及发展现状,对厚膜一体化温湿度传感器中热敏材料的设计、制备方法及特性进行了深入的研究,对实验结果进行了分析讨论。给出与一体化传感器中湿敏材料相匹配的负温度系数热敏材料的成分与阻温特性的关系,制备工艺对阻温特性及材料粒度、粒度均匀性的影响,同时,还给出了几组热敏材料的实验数据和用此材料制备的一体化厚膜温湿度传感器的特性曲线。

湿度传感器发展方向邹议

本文介绍了湿敏元件的特性,重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度/温度传感器的性能特点及产品分类,最后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。

新型温-湿一体化敏感元件的研究

报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构，温度传感器采用半导体氧化物 Ｎ Ｔ Ｃ 材料的厚膜结构，湿度传感器采用高分子电阻型结构，从而实现了温湿一体化。这种传感器不但给温度和湿度的同时测量带来方便，而且使得湿敏元件的温度补偿更为准确，并且具有体积小、价格廉、易于集成、使用方便等特点。

一体化厚膜高分子温湿度传感器的研制

一体化温湿度传感器是采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在同一Ａｌ２Ｏ３陶瓷基片上而形成一个集成一体化的多功能传感器。湿度传感器采用性能优良的高分子聚合物湿敏电阻，温度传感器采用具有ＮＴＣ特性的ＭｎＣｏＮｉ系氧化物厚膜热敏电阻。它不仅可以将温度和湿度这两个参数同时进行测量，而且给湿度传感器的温度补偿带来了极大的方便。

基于HYT271的SF_6微水密度分析系统

为了保障SF_6气体绝缘设备的绝缘特性和灭弧能力,设计了一种基于HYT271的SF_6微水密度分析系统。系统通过温湿度一体传感器HYT271和压力传感器MS5803分别检测出所处SF_6气室中的温度值、相对湿度值和绝对压力值,并通过微控制器对测量数据进行校准和计算,最后采用RS485总线将测量和分析的数据发送给上位机。实验结果表明,系统具有良好的精度,功耗低,实时性强且设计简洁,方便了对高压电气设备中SF_6的分析与监测。

一种矿用数字式温度湿度监测系统的设计

针对传统温度湿度监测系统的不足,设计了基于STC89C52和DHT11的数字式温度湿度监测系统。主要是利用DHT11温度湿度集成传感器采集矿井温度湿度信号,通过控制器(STC89C52单片机)的处理后,实现了温度湿度的实时监测、显示和预警。该监测系统利用单片机虚拟仿真软件Protues,加快了软硬件的开发速度,同时试验证明了该监测系统可靠性好、精度高,具有一定的应用价值。

基于SHT11的温湿度控制系统设计

设计基于AT89C51和SHT11的温湿度监控系统,实时采集并显示温室内温湿度参数,连接加热排气装置自动控制温度、湿度,还可针对不同应用情况人为设定温室内温湿度的上、下限值。实验表明,该系统能够精确控制温度、湿度参数,具有良好的人机交互特性,为开发集成度高、测量精度高、可靠性高的温湿度测量系统提供技术支持。

多物理量集成传感器在家电领域的应用探讨

本文从消费者需求渐进和家用电器产品设计理念更迭角度,就基于温度传感器的芯片式、结构式集成的温湿度、温压传感器、压差传感器等环境传感器在家用电器领域应用的竞争优势和前景进行了剖析,结合国家政策和行业发展趋势,冀望通过产业协同发展以推动市场应用和行业技术进步。

汽车空调温度湿度控制一体化设计

汽车空调一方面受乘客多少以及开门次数的影响,另一方面又受到行车状况的影响,因此其温度湿度变化较大,难以做到较准确的控制。为改善这一状况,本文提出运用集成温度传感器和集成湿度传感器,并采用一体化设计思想,将强制通风手段运用其中,达到自动调节的功用。

温湿度传感器与变送器一体化产品的研制

本文介绍一种新型的温湿度传感器与变送器一体化产品，无需使用屏蔽线，适用于需要远距离传送的场所；尤其适于与计算机联网，以实现多点巡回监控与测量。