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太赫兹微金属矩形波导凹型微腔电化学制造技术研究
1
作者
毕晓磊
程雪利
《河南工学院学报》
CAS
2023年第4期1-6,26,共7页
随着太赫兹技术的发展,对高工作频段太赫兹金属矩形波导的需求日益迫切,然而,因其腔体端面尺寸和圆角半径较小、表面粗糙度要求严格,精密加工极具挑战性。文章针对太赫兹微金属矩形波导制造用的凹型微腔精密制造问题进行了研究,利用微...
随着太赫兹技术的发展,对高工作频段太赫兹金属矩形波导的需求日益迫切,然而,因其腔体端面尺寸和圆角半径较小、表面粗糙度要求严格,精密加工极具挑战性。文章针对太赫兹微金属矩形波导制造用的凹型微腔精密制造问题进行了研究,利用微细电解线切割加工技术、电化学沉积金及电化学沉积铜等电化学制造技术的组合,实现了端面尺寸为124.3μm×253.2μm、表面粗糙度Ra<0.1μm、圆角半径R<8μm的1THz金属矩形波导凹型微腔的制造,为高工作频段的组合式太赫兹金属矩形波导制造奠定了基础。
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关键词
太赫兹金属空芯矩形波导
微细电解线切割加工
电化学沉积金
电化学沉积铜
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职称材料
题名
太赫兹微金属矩形波导凹型微腔电化学制造技术研究
1
作者
毕晓磊
程雪利
机构
河南工学院机械工程学院
新乡市增材制造工程技术研究中心
河南省机电装备数字化设计与制造工程技术研究中心
出处
《河南工学院学报》
CAS
2023年第4期1-6,26,共7页
基金
河南省重点研发与推广专项(222102220038)
河南工学院高层次人才科研启动基金(KQ2104)。
文摘
随着太赫兹技术的发展,对高工作频段太赫兹金属矩形波导的需求日益迫切,然而,因其腔体端面尺寸和圆角半径较小、表面粗糙度要求严格,精密加工极具挑战性。文章针对太赫兹微金属矩形波导制造用的凹型微腔精密制造问题进行了研究,利用微细电解线切割加工技术、电化学沉积金及电化学沉积铜等电化学制造技术的组合,实现了端面尺寸为124.3μm×253.2μm、表面粗糙度Ra<0.1μm、圆角半径R<8μm的1THz金属矩形波导凹型微腔的制造,为高工作频段的组合式太赫兹金属矩形波导制造奠定了基础。
关键词
太赫兹金属空芯矩形波导
微细电解线切割加工
电化学沉积金
电化学沉积铜
Keywords
terahertz metal hollow-core rectangular waveguide
wire electrochemical micromachining
gold electrochemical deposition
copper electrochemical deposition
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
太赫兹微金属矩形波导凹型微腔电化学制造技术研究
毕晓磊
程雪利
《河南工学院学报》
CAS
2023
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