一种基于超材料的常温太赫兹探测器

基于超材料结构设计、制造并表征了一款工作在2.5THz频率下的常温太赫兹探测器,该探测器上电场耦合电感电容（ELC）结构的超材料谐振子阵列吸收太赫兹辐射后,将电磁能转换为热能,温度升高后引起超材料谐振子结构中铂金属环的电阻变化,通过检测阻值变化实现对太赫兹波的电学读取探测。将该探测器集成到通过MEMS工艺制作的微悬臂梁绝热结构上,实现了较好的隔热效果,从而提高了探测器的响应率。通过太赫兹时域光谱仪（THzTDS）测试该探测器的透射谱,验证了该探测器的吸收峰为2.5THz,达到了设计要求。进一步测试结果显示,该探测器在2.5THz工作频率下的响应率达到2.149×10^5Ω/W,滚降频率达到10Hz。