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热导传感器TCS208F及其信号调理电路研究 被引量:7
1
作者 冯洋 吴言荪 周平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第9期70-72,共3页
为了准确测量下水道内甲烷气体的体积分数,以避免爆炸事故的发生,基于热导传感器TCS208F,仪表放大器INA122,U/I变换芯片AD694等设计了热导传感器信号调理电路,将传感器得到的微弱电压信号放大,经过U/I变换将电压信号转换成适合... 为了准确测量下水道内甲烷气体的体积分数,以避免爆炸事故的发生,基于热导传感器TCS208F,仪表放大器INA122,U/I变换芯片AD694等设计了热导传感器信号调理电路,将传感器得到的微弱电压信号放大,经过U/I变换将电压信号转换成适合于远距离传输的4-20mA的工业标准电流信号,再将电流信号还原成电压信号送入单片机进行采集。针对调理电路设计过程中出现的问题,对电路设计中的干扰因素进行分析,得出一系列抗干扰措施的方法,在实际应用中得到了较好的效果。 展开更多
关键词 热导传感器 信号调理 仪表放大器 失调电压 抗干扰
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基于TCS208F的氢气体积分数检测仪的设计 被引量:1
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作者 徐海滨 孙冬梅 程明霄 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第2期57-60,共4页
系统采用微流量气体热导传感器TCS208F进行氢气体积分数检测,设计信号调理电路,并在传感器外部设计环境温度控制电路,以实现传感器的恒温检测。传感器输出的微弱信号经测量电桥调理输出,通过集成芯片AD708进行初级放大,经减法电路进行... 系统采用微流量气体热导传感器TCS208F进行氢气体积分数检测,设计信号调理电路,并在传感器外部设计环境温度控制电路,以实现传感器的恒温检测。传感器输出的微弱信号经测量电桥调理输出,通过集成芯片AD708进行初级放大,经减法电路进行二次放大,最后把标准电压信号送入单片机C8051F020的测量系统进行后续处理,完成氢气体积分数检测。理论研究和实验表明:该检测仪克服了传统热导传感器检测误差大、环境温度补偿困难等诸多问题,具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 热导传感器 tcs208F 恒温 信号调理
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A non-destructive method to measure the thermal properties of frozen soils during phase transition 被引量:2
3
作者 Bin Zhang Chanjuan Han Xiong(Bill) Yu 《Journal of Rock Mechanics and Geotechnical Engineering》 SCIE CSCD 2015年第2期155-162,共8页
Frozen soils cover about 40% of the land surface on the earth and are responsible for the global energybalances affecting the climate. Measurement of the thermal properties of frozen soils during phasetransition is im... Frozen soils cover about 40% of the land surface on the earth and are responsible for the global energybalances affecting the climate. Measurement of the thermal properties of frozen soils during phasetransition is important for analyzing the thermal transport process. Due to the involvement of phasetransition, the thermal properties of frozen soils are rather complex. This paper introduces the uses of amultifunctional instrument that integrates time domain reflectometry (TDR) sensor and thermal pulsetechnology (TPT) to measure the thermal properties of soil during phase transition. With this method,the extent of phase transition (freezing/thawing) was measured with the TDR module; and the correspondingthermal properties were measured with the TPT module. Therefore, the variation of thermalproperties with the extent of freezing/thawing can be obtained. Wet soils were used to demonstrate theperformance of this measurement method. The performance of individual modules was first validatedwith designed experiments. The new sensor was then used to monitor the properties of soils duringfreezingethawing process, from which the freezing/thawing degree and thermal properties weresimultaneously measured. The results are consistent with documented trends of thermal propertiesvariations. 2015 Institute of Rock and Soil Mechanics, Chinese Academy of Sciences. Production and hosting byElsevier B.V. All rights reserved. 展开更多
关键词 Frozen soil Phase change materials thermal conductivity Heat capacity sensor fusion
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Research on influence factors of rock-soil thermal properties by laboratory test 被引量:1
4
作者 YIN Renchao ZHANG Yanjun +2 位作者 WU Fan GAO Ping MEI Zhenzhou 《Global Geology》 2014年第1期34-37,共4页
In order to discover the relation between rock-soil thermal properties and strata during the process of engineering investigation,the authors studied the measuring principle of Thermal Conductivity Scanner( TCS)and me... In order to discover the relation between rock-soil thermal properties and strata during the process of engineering investigation,the authors studied the measuring principle of Thermal Conductivity Scanner( TCS)and measured the thermal properties of 45 drilling samples from Qinghai with TCS in the laboratory. The results show that the specific heat capacity( SHC) decreases while the thermal conductivity( TC) increases with the increase of the depth. With the lithological change,the specific heat capacity and thermal conductivity have the opposite trend. The depth and lithology have a greater influence on the thermal conductivity than the specific heat capacity. 展开更多
关键词 tcs rock-soil thermal properties thermal conductivity specific heat capacity
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TCS岩石热导率测试与特征分析
5
作者 于琪 朱焕来 杨霄宇 《中国锰业》 2020年第3期45-50,共6页
岩石热导率是计算大地热流值的关键参数,对于地热资源量的估算以及地热资源有利区的优选有着重要的参考价值。利用TCS热导率扫描仪器对徐家围子地区四深1井不同地层深度20个岩石样品进行室内导热系数的测试,分析各个地层的岩心受地层深... 岩石热导率是计算大地热流值的关键参数,对于地热资源量的估算以及地热资源有利区的优选有着重要的参考价值。利用TCS热导率扫描仪器对徐家围子地区四深1井不同地层深度20个岩石样品进行室内导热系数的测试,分析各个地层的岩心受地层深度、岩性、温度、压力、岩石结构等因素的影响。结果表明:地层岩石导热系数呈现随着深度的增而增加的趋势。对于同一地层,岩石的导热系数和深度成正比,深度越深,岩石导热系数越大;对于不同地层的岩体,结构越致密、颗粒越大、颗粒间接触面越大胶结作用越强、岩石孔隙度越小结构越稳定的岩体岩石热导率越大。 展开更多
关键词 热导率 岩石 tcs 热流值 地热资源
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Effects of Cryogenic Treatment on the Thermal Physical Properties of TC4 Titanium Alloy
6
作者 Ying Xiao 《材料科学与工程(中英文A版)》 2018年第1期43-46,共4页
A cryogenic treatment test was carried on TC4 titanium alloy,and the effects of cryogenic treatment on the thermal physical properties of TC4 titanium under the temperature range of 25~600°C were investigated thr... A cryogenic treatment test was carried on TC4 titanium alloy,and the effects of cryogenic treatment on the thermal physical properties of TC4 titanium under the temperature range of 25~600°C were investigated through comparing the variation of the thermal conductivity and thermal expansion coefficient of the alloy before and after cryogenic treatment.The results show that the thermal conductivity of the cryogenic treated alloy is first less and then greater than that of the untreated alloy,however,its thermal expansion coefficient is first greater and then less than that of the untreated alloy with the increase of temperature.When the temperature is up to 600°C,the thermal conductivity and thermal expansion coefficient of the cryogenic treated alloy are 7.24 W·m-1·K-1 and 11.71×10-6°C-1,and increased and decreased by 3.18%and 1.65%than that of the untreated alloy at the same temperature,respectively. 展开更多
关键词 TC4 titanium alloy CRYOGENIC treatment thermal conductivity thermal EXPANSION coefficient.
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基于TCS208 F的氢含量检测传感器设计
7
作者 何涛焘 文华北 万乐仪 《传感器世界》 2021年第4期1-5,共5页
含氢量是影响钢材质量的主要因素,因此,准确而快速地测定含氢量对提高钢材质量具有重要意义。设计基于热导芯片TCS208F为检测核心和STC12C5A60S2单片机为控制核心的氢含量检测传感器。传感器通过内部温控电路和PID算法,实现测量气室温... 含氢量是影响钢材质量的主要因素,因此,准确而快速地测定含氢量对提高钢材质量具有重要意义。设计基于热导芯片TCS208F为检测核心和STC12C5A60S2单片机为控制核心的氢含量检测传感器。传感器通过内部温控电路和PID算法,实现测量气室温度稳定,有效抑制了温漂对测量精度的影响,最大误差<1%FS。同时设计了信号调节电路和V/Ⅰ转换电路,传感器可以直接输出4〜20 m A信号,以便长距离传送信号。该传感器具有测量精度高、体积小、功耗低、响应迅速、适用范围广等优点。 展开更多
关键词 tcs208F 热导传感器 恒温控制 氢含量检测
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氢气传感器在电解制氧系统中的应用研究
8
作者 钱力 李森 +3 位作者 黄刚 彭卓 王飞 潘点飞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第4期21-24,共4页
针对电解制氧系统中氢气浓度测量受环境因素影响大、测量准确性低等问题,选取了半导体型、催化燃烧型、热导型三类不同原理的氢气传感器,对其在电解制氧系统中的应用进行了试验验证,并对试验结果进行了讨论,分析了各类氢气传感器的使用... 针对电解制氧系统中氢气浓度测量受环境因素影响大、测量准确性低等问题,选取了半导体型、催化燃烧型、热导型三类不同原理的氢气传感器,对其在电解制氧系统中的应用进行了试验验证,并对试验结果进行了讨论,分析了各类氢气传感器的使用局限性。 展开更多
关键词 半导体型 催化燃烧型 热导型 氢气传感器 电解制氧系统
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三维碳气凝胶材料的制备与应用研究进展 被引量:3
9
作者 韩露 王一帆 +4 位作者 崔文琦 魏春艳 周兴海 高原 吕丽华 《工程科学学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期447-457,共11页
依据碳气凝胶制备原料的不同对其进行了分类,主要分为石墨基碳气凝胶、有机碳气凝胶和杂化碳气凝胶三大类.介绍了三维碳气凝胶的常用制备方法,主要包括溶胶–凝胶法、水热法、化学气相沉积法和冰模板法,简述了每种制备方法的优缺点,并... 依据碳气凝胶制备原料的不同对其进行了分类,主要分为石墨基碳气凝胶、有机碳气凝胶和杂化碳气凝胶三大类.介绍了三维碳气凝胶的常用制备方法,主要包括溶胶–凝胶法、水热法、化学气相沉积法和冰模板法,简述了每种制备方法的优缺点,并分析了不同制备工艺对碳气凝胶材料结构和性能的影响.概述了碳气凝胶材料在吸油、储能、隔热、催化、吸波、光热转化和柔性传感器等领域的应用.碳气凝胶材料质轻、比表面积大、吸附容量高等优点,使其优于传统吸油材料;高导电性以及电化学性能稳定,可被用作超级电容器电极材料、燃料电池催化剂、催化剂载体材料和柔性传感器;超低的导热系数,使其具有优异的隔热性能;较高的阻抗匹配特性,使其能够作为高效的电磁吸波材料;宽的光吸收范围,使其在光热转化应用中具有良好的前景.分析了目前碳气凝胶材料制备和应用领域所存在的问题,基于此展望了其未来的发展趋势和方向,包括开发低成本、可再生的环境友好的前驱体材料,优化碳气凝胶制备工艺,缩短生产周期以及拓宽其高端应用领域. 展开更多
关键词 碳气凝胶 多孔结构 低热导率 传感器 超级电容器 光热转化
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NaF-AlF_(3)体系热导率的有限元数值模拟
10
作者 肖镭 赵雪 +1 位作者 王聪 高炳亮 《有色金属科学与工程》 CAS 北大核心 2024年第1期15-24,共10页
固态/液态铝电解质热导率是开展铝电解槽热平衡计算的重要参数,对预测电解槽侧壁上的电解质炉帮厚度变化具有重要意义。本文采取传感器测量与有限元数值模拟相结合的方法,开发研究了一种确定熔盐热导率的新方法。使用ANSYS/Fluent软件... 固态/液态铝电解质热导率是开展铝电解槽热平衡计算的重要参数,对预测电解槽侧壁上的电解质炉帮厚度变化具有重要意义。本文采取传感器测量与有限元数值模拟相结合的方法,开发研究了一种确定熔盐热导率的新方法。使用ANSYS/Fluent软件中的流体体积模块、离散坐标辐射模块和熔化/凝固模块对传感器冷却过程的热行为进行数值模拟,以测试值和模拟值的残差分析为标准来确定铝电解质的热导率。研究结果表明,该方法对单组元熔盐的热导率和双组元熔盐的热导率的计算都有效。利用该方法,建立了NaF-AlF_(3)体系的固态热导率和熔融态热导率的温度分段函数方程,用于计算该体系随着分子比变化和温度变化的热导率,计算结果与文献数据良好吻合。 展开更多
关键词 NaF-AlF_(3)体系 有限元数值模拟 热导率 热分析传感器
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MEMS热导甲烷传感器设计与研究
11
作者 颜培宇 《煤矿机电》 2024年第4期10-15,共6页
热导气体传感器在煤矿井下检测高浓甲烷方面有着重要应用。为了解决传统热导气体传感器在功耗以及灵敏度等方面的不足,开发了一种新型MEMS热导甲烷传感器。利用MEMS工艺在硅基底上沉积Pt电阻薄膜作为敏感元件,同时深刻蚀出微型热导池。... 热导气体传感器在煤矿井下检测高浓甲烷方面有着重要应用。为了解决传统热导气体传感器在功耗以及灵敏度等方面的不足,开发了一种新型MEMS热导甲烷传感器。利用MEMS工艺在硅基底上沉积Pt电阻薄膜作为敏感元件,同时深刻蚀出微型热导池。建立MEMS热导元件热平衡模型,利用COMSOL软件进行热传导和热辐射仿真,分析热传递情况。基于恒温检测方法,对MEMS热导元件进行应用电路开发,设计恒温电路、测温电路、采样电路等。分析环境温度对传感器造成的信号漂移影响,建立温度补偿算法模型。在温湿度箱中标定新设计的热导甲烷传感器,通过拟合曲线得到浓度计算系数和温度补偿系数。经过试验测试表明,该热导甲烷传感器在4%~100%量程范围内测量误差可以达到真值的±10%。 展开更多
关键词 恒温检测方法 MEMS工艺 传热仿真 热导甲烷传感器 温度补偿
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高导热聚合物基复合材料研究进展 被引量:30
12
作者 杜伯学 孔晓晓 +2 位作者 肖萌 李进 钱子明 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第14期3149-3159,共11页
电子与电力设备的不断集成化、小型化及大功率化带来了越来越严重的发热问题,实现高效的散热成为提高设备性能和延长其使用寿命的重要手段。拥有优异的电气、力学性能及低廉的价格而广泛应用于各类电子与电力设备中的聚合物材料,则因此... 电子与电力设备的不断集成化、小型化及大功率化带来了越来越严重的发热问题,实现高效的散热成为提高设备性能和延长其使用寿命的重要手段。拥有优异的电气、力学性能及低廉的价格而广泛应用于各类电子与电力设备中的聚合物材料,则因此成为了未来高导热材料的研究重点。在阐述聚合物材料微观导热机理的基础上,总结复合材料导热性能的影响因素(尤其是复合材料的界面特性)。特别地,针对目前广泛关注的微观导热结构设计的研究进展进行了重点描述。同时,综述高导热聚合物基复合材料的电气性能研究状况。最后,对未来应用于电子与电气领域的高导热聚合物复合材料的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 聚合物基复合材料 导热性能 界面特性 微观结构设计
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影响热导传感器气体检测性能的原因分析 被引量:19
13
作者 黄为勇 任子晖 童敏明 《计算机测量与控制》 CSCD 2004年第10期1005-1007,1010,共4页
热导气体传感器具有检测范围大,可检测多种气体,检测装置简单、成本低廉等许多优点,但也存在检测精度差、灵敏度低等缺陷,限制了该传感器的广泛应用。文中介绍了热导传感器气体检测的基本原理和传统的检测方法,根据传热学理论建立了热... 热导气体传感器具有检测范围大,可检测多种气体,检测装置简单、成本低廉等许多优点,但也存在检测精度差、灵敏度低等缺陷,限制了该传感器的广泛应用。文中介绍了热导传感器气体检测的基本原理和传统的检测方法,根据传热学理论建立了热导传感器的热平衡方程,在此基础上对传统气体检测方法进行了分析和研究,得出了传感器温度随被测气体浓度的变化而变化的特性是影响气体检测性能的根本原因的结论,并指出采用恒温检测方法是一个有效的解决办法。 展开更多
关键词 热导传感器 气体检测 检测性能 原因分析
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改进型导热系数测量仪的研制与实验 被引量:22
14
作者 杨永华 曾辉 陈美华 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2011年第3期20-23,35,共5页
研制了一种基于FD-TC-B型导热系数测量仪的加热平台。采用DS18B20集成温度传感器对温度信号采集,由AVR单片机结合上位机编辑LabVIEW软件功能模块进行数据处理,通过PID算法稳定控制加热盘温度,实现全自动数据采集和处理,实时显示温度曲线... 研制了一种基于FD-TC-B型导热系数测量仪的加热平台。采用DS18B20集成温度传感器对温度信号采集,由AVR单片机结合上位机编辑LabVIEW软件功能模块进行数据处理,通过PID算法稳定控制加热盘温度,实现全自动数据采集和处理,实时显示温度曲线,数据自动存储和计算,良好人机界面功能的改进型导热系数测量仪。介绍了系统硬件和软件设计,并通过测量验证了改进型导热系数测量仪装置可靠,数据直观准确、精度高、测量时间短和测量方法简单,能满足科研测试和教学实验的要求。 展开更多
关键词 导热系数 FD—TC—B型 单片机 LABVIEW软件
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低热导率衬底的热风速风向传感器研究 被引量:11
15
作者 沈广平 秦明 +2 位作者 黄庆安 张骅 吴剑 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期984-989,共6页
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文... 为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文分别在玻璃和陶瓷衬底上利用MEMS剥离工艺加工出了热风速传感器,并进行了风洞测试。实验结果表明,两个传感器均可以完成360°风向检测,风速量程超过10m/s。此外,通过对两组测量结果的比较可以发现玻璃衬底传感器的灵敏度比陶瓷衬底高,这与有限元模拟结果完全吻合。 展开更多
关键词 MEMS 剥离工艺 风速 风向 流量传感器 热导率
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运城黄土吸力特性的试验研究 被引量:14
16
作者 王钊 骆以道 +1 位作者 肖衡林 姚政法 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期51-54,共4页
应用张力计、热传导探头等吸力量测手段,对山西省运城地区黄土的吸力特性进行试验研究,测出了该黄土在脱湿过程的土-水特征曲线,该法较压力板法简单,还用FredlundandXing(1994)方程对实测数据进行了拟合。
关键词 黄土 吸力特性 试验 土-水特征曲线
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采用热导传感器检测气体浓度的新方法研究 被引量:32
17
作者 黄为勇 童敏明 任子晖 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期973-975,共3页
为了克服传统热导传感器气体检测方法的诸多缺陷,提出了一种使传感器保持在恒温状态的气体浓度检测的新方法。介绍了该方法的检测原理,并根据传热学理论证明了该方法的可行性。理论与实践表明,该方法具有许多传统检测方法所不具备的突... 为了克服传统热导传感器气体检测方法的诸多缺陷,提出了一种使传感器保持在恒温状态的气体浓度检测的新方法。介绍了该方法的检测原理,并根据传热学理论证明了该方法的可行性。理论与实践表明,该方法具有许多传统检测方法所不具备的突出优点,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 热导传感器 气体浓度检测 恒温
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江苏东海超高压榴辉岩的热导率及对大陆科学钻探研究的意义 被引量:5
18
作者 欧新功 金振民 +1 位作者 金淑燕 徐海军 《地球科学(中国地质大学学报)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期129-136,共8页
对采自江苏东海毛北地区 (中国大陆科学钻探先导孔附近 )的新鲜榴辉岩样品进行了岩石热导率的测定 ,初步查明了该区榴辉岩热导率随矿物组成的变化关系 ,探讨了岩石结构特征和温度变化对热导率的影响 .本次所测东海超高压榴辉岩的热导率... 对采自江苏东海毛北地区 (中国大陆科学钻探先导孔附近 )的新鲜榴辉岩样品进行了岩石热导率的测定 ,初步查明了该区榴辉岩热导率随矿物组成的变化关系 ,探讨了岩石结构特征和温度变化对热导率的影响 .本次所测东海超高压榴辉岩的热导率介于 3 .2 2 2~ 3.716Wm-1·K-1之间并随岩石中 2种主要矿物的相对含量比而变化 ,随着榴辉岩中石榴石对绿辉石体积比 (VGrt/VOmp)的增加而降低 ,近似的函数关系满足K =3 .76 7- 0 .18× (VGrt/VOmp) .岩石中矿物分布的不均匀性和面状构造的发育对榴辉岩热导率的影响较大 ,由此产生的热导率各向异性可达近 10 % .温度是影响热导率的另外一个重要因素 .结合本次的实测资料和相应的热导率 -温度关系 ,建立了东海地区榴辉岩热导率随温度的变化关系方程K(T)=1/ ( 7.85× 10 -2 +6 .95× 10 -4 ×T) ,根据这一方程并结合东海地区的地热梯度资料推算了榴辉岩热导率随 5 0 0 0m钻孔深度的变化关系 ,推测东海地区科学钻探施工至 5 0 0 0m深度时 ,榴辉岩的热导率将比地表平均降低 2 4% .该成果为钻探测井资料的解释以及该区地热结构模型的建立提供了重要依据和约束资料 . 展开更多
关键词 超高压榴辉岩 热导率 稳态半环型热导仪 大陆科学钻探 江苏 温度
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压力/温度复合柔性触觉传感器用导电橡胶的外场特性 被引量:4
19
作者 黄英 刘平 +2 位作者 赵兴 仇怀利 葛运建 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期95-98,共4页
分析了不同填料用量及种类对导电橡胶外场特性(压力、温度)的影响。结果表明,导电网络密度的增大与损伤使得导电橡胶呈现"电阻-负压力系数"(NPC)和"电阻-正压力系数"(PPC),热膨胀和热扰动共同作用使得导电橡胶呈现&... 分析了不同填料用量及种类对导电橡胶外场特性(压力、温度)的影响。结果表明,导电网络密度的增大与损伤使得导电橡胶呈现"电阻-负压力系数"(NPC)和"电阻-正压力系数"(PPC),热膨胀和热扰动共同作用使得导电橡胶呈现"电阻-负温度系数"(NTC)和"电阻-正温度系数"(PTC)。热膨胀起主导表现出PTC效应,热扰动起主导则表现出NTC效应。填料用量与种类对于导电橡胶的外场特性影响显著,炭黑(8%)(质量分数,下同)和石墨(5.2%)并用填充导电橡胶,同时消除了PPC和NTC效应,可用于制作压力/温度复合柔性触觉传感器用敏感材料。 展开更多
关键词 负(正)压力系数 负(正)温度系数 导电橡胶 柔性触觉传感器
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AlN微热板气体传感器阵列热失稳特性研究 被引量:6
20
作者 周真 赵文杰 +2 位作者 施云波 王婷 于洋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2757-2762,共6页
采用微机电系统(MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(AlN)基陶瓷微热板2单元气体传感器阵列。传感器单元由加热器电极和信号电极组成,中间加热区周围通过激光微加工刻蚀有4个热隔离通孔以减少热传导损失,并通过4个梁与边缘相连接。利... 采用微机电系统(MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(AlN)基陶瓷微热板2单元气体传感器阵列。传感器单元由加热器电极和信号电极组成,中间加热区周围通过激光微加工刻蚀有4个热隔离通孔以减少热传导损失,并通过4个梁与边缘相连接。利用ANSYS软件对传感器阵列热结构进行了热场耦合有限元仿真分析,验证了设计的合理性及工艺的可行性。通过热干扰测试分析得出,传感器单元1工作在300 mW时,加热温度为130.6℃,对另一单元产生的热干扰温度为119.1℃,两单元同时工作在300 mW时产生的热温差仅为3.9℃,两单元的热响应速率均为6 000 ms。可见,研究传感器稳态下单元之间的热干扰大小和瞬态下热平衡速率对集成传感器阵列热稳定性具有重要意义。 展开更多
关键词 传感器阵列 氮化铝 热传导 微机电系统
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