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小型风速发生装置在风速现场校准量值溯源中的应用与研究
1
作者
彭劲
蔡晓坤
+1 位作者
郑瑞山
周李渊
《环境技术》
2024年第1期112-115,共4页
国内各大型家电企业积极推动空调行业向绿色低碳持续转型,为了适应人们在日常生活中,对房间空调器合理的通风,适当的风速和空气的均匀分布,是取得既定的空气品质和舒适性的关键所在。风速参量可测,成为一个重要的指引性指标。基于本文...
国内各大型家电企业积极推动空调行业向绿色低碳持续转型,为了适应人们在日常生活中,对房间空调器合理的通风,适当的风速和空气的均匀分布,是取得既定的空气品质和舒适性的关键所在。风速参量可测,成为一个重要的指引性指标。基于本文对适用于空调器的性能和工作原理的分析,提出针对现场校准热式风速传感器的校准方法研究,以确保空调器检测线能满足日常检测使用要求。
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关键词
风速
现场校准
热式风速传感器
空气器检测线
校准方法
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职称材料
MEMS热式风速风向传感器输出性能优化研究
2
作者
王志明
韦杰
+6 位作者
田兵
刘胜荣
张伟勋
钟枚汕
张瑶霖
易真翔
秦明
《微电子学》
CAS
北大核心
2023年第6期1098-1103,共6页
环境测温二极管在工作时受传感器芯片热场影响,常引发MEMS热式风速风向传感器加热电压-风速曲线异常。将其更换为外置测温二极管,并调整其与传感器芯片距离,成功解决了输出曲线异常现象。并在此基础上,优化芯片及外置测温二极管的封装方...
环境测温二极管在工作时受传感器芯片热场影响,常引发MEMS热式风速风向传感器加热电压-风速曲线异常。将其更换为外置测温二极管,并调整其与传感器芯片距离,成功解决了输出曲线异常现象。并在此基础上,优化芯片及外置测温二极管的封装方案,消除了热场的相互干扰和不必要的热损耗,同时保证了外置测温二极管与空气的良好接触。风场测试结果表明,传感器的加热电压-风速曲线变得平滑,且重复性好,风速和风向的测量误差分别在±4%和±4°以内,系统的上电稳定时间大幅缩短至15 s左右。
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关键词
MEMS
热式风速风向传感器
二极管
热损耗
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职称材料
低热导率衬底的热风速风向传感器研究
被引量:
11
3
作者
沈广平
秦明
+2 位作者
黄庆安
张骅
吴剑
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期984-989,共6页
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文...
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文分别在玻璃和陶瓷衬底上利用MEMS剥离工艺加工出了热风速传感器,并进行了风洞测试。实验结果表明,两个传感器均可以完成360°风向检测,风速量程超过10m/s。此外,通过对两组测量结果的比较可以发现玻璃衬底传感器的灵敏度比陶瓷衬底高,这与有限元模拟结果完全吻合。
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关键词
MEMS
剥离工艺
风速
风向
流量传感器
热导率
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职称材料
题名
小型风速发生装置在风速现场校准量值溯源中的应用与研究
1
作者
彭劲
蔡晓坤
郑瑞山
周李渊
机构
威凯检测技术有限公司
出处
《环境技术》
2024年第1期112-115,共4页
文摘
国内各大型家电企业积极推动空调行业向绿色低碳持续转型,为了适应人们在日常生活中,对房间空调器合理的通风,适当的风速和空气的均匀分布,是取得既定的空气品质和舒适性的关键所在。风速参量可测,成为一个重要的指引性指标。基于本文对适用于空调器的性能和工作原理的分析,提出针对现场校准热式风速传感器的校准方法研究,以确保空调器检测线能满足日常检测使用要求。
关键词
风速
现场校准
热式风速传感器
空气器检测线
校准方法
Keywords
wind
speed
field calibration
thermal wind speed sensor
air detector line
calibration method
分类号
G [文化科学]
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职称材料
题名
MEMS热式风速风向传感器输出性能优化研究
2
作者
王志明
韦杰
田兵
刘胜荣
张伟勋
钟枚汕
张瑶霖
易真翔
秦明
机构
南方电网数字电网研究院有限公司广东省数字电网技术企业重点实验室
东南大学
出处
《微电子学》
CAS
北大核心
2023年第6期1098-1103,共6页
基金
国家重点研发计划(2022YFB3206800)
南网数研院输电线路微气象MEMS风速风向传感技术研究技术开发项目(2100002022030102JF00021)
文摘
环境测温二极管在工作时受传感器芯片热场影响,常引发MEMS热式风速风向传感器加热电压-风速曲线异常。将其更换为外置测温二极管,并调整其与传感器芯片距离,成功解决了输出曲线异常现象。并在此基础上,优化芯片及外置测温二极管的封装方案,消除了热场的相互干扰和不必要的热损耗,同时保证了外置测温二极管与空气的良好接触。风场测试结果表明,传感器的加热电压-风速曲线变得平滑,且重复性好,风速和风向的测量误差分别在±4%和±4°以内,系统的上电稳定时间大幅缩短至15 s左右。
关键词
MEMS
热式风速风向传感器
二极管
热损耗
Keywords
MEMS
thermal
wind
speed
and direction
sensor
diode
heat loss
分类号
TN389 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
低热导率衬底的热风速风向传感器研究
被引量:
11
3
作者
沈广平
秦明
黄庆安
张骅
吴剑
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期984-989,共6页
基金
国家自然科学基金(90607002
60476019)资助项目
文摘
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文分别在玻璃和陶瓷衬底上利用MEMS剥离工艺加工出了热风速传感器,并进行了风洞测试。实验结果表明,两个传感器均可以完成360°风向检测,风速量程超过10m/s。此外,通过对两组测量结果的比较可以发现玻璃衬底传感器的灵敏度比陶瓷衬底高,这与有限元模拟结果完全吻合。
关键词
MEMS
剥离工艺
风速
风向
流量传感器
热导率
Keywords
MEMS
lift-off
wind
speed
wind
direction
flow
sensor
thermal
conduction
分类号
TN36 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
小型风速发生装置在风速现场校准量值溯源中的应用与研究
彭劲
蔡晓坤
郑瑞山
周李渊
《环境技术》
2024
0
下载PDF
职称材料
2
MEMS热式风速风向传感器输出性能优化研究
王志明
韦杰
田兵
刘胜荣
张伟勋
钟枚汕
张瑶霖
易真翔
秦明
《微电子学》
CAS
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
3
低热导率衬底的热风速风向传感器研究
沈广平
秦明
黄庆安
张骅
吴剑
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
11
下载PDF
职称材料
已选择
0
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统计分析
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