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原子层沉积制备VO_2薄膜及特性研究 被引量:8
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作者 李建国 惠龙飞 +3 位作者 冯昊 秦利军 龚婷 安忠维 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期243-249,共7页
原子层沉积(ALD)技术在制备薄膜时因具有厚度精确可控、三维均匀性好以及可以实现大面积成膜和低的成膜温度等优点而使其在各个领域受到广泛关注。本文采用ALD技术,以VO(acac)2和O2分别为钒源和氧源,使用不同的沉积温度(420-480℃... 原子层沉积(ALD)技术在制备薄膜时因具有厚度精确可控、三维均匀性好以及可以实现大面积成膜和低的成膜温度等优点而使其在各个领域受到广泛关注。本文采用ALD技术,以VO(acac)2和O2分别为钒源和氧源,使用不同的沉积温度(420-480℃)和退火条件(自然冷却、4和8h程序降温)在玻璃基底表面制备VO2薄膜。通过X-射线光电子能谱、X-射线衍射以及扫描电镜对薄膜的价态、结晶状况及表面微观形貌进行表征;通过四探针测试仪对所制备薄膜的半导体-金属相变特性进行了研究。实验结果表明:VO2薄膜相变特性与其微观结构和晶体取向有着直接关系。选择ALD脉冲时序为[10s-20s-20s-20s],循环周期数为300,在450℃沉积且采取自然冷却所制备的VO2薄膜结晶状态良好,相变前后薄膜方块电阻突变量大,具有良好的热致相变特性。因此,该ALD技术可以制备相变特性较好的VO2薄膜。 展开更多
关键词 原子层沉积 VO2薄膜 热致相变 温度-电阻特性
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价态和结构对VO_2薄膜热致相变光电性能的影响 被引量:10
2
作者 卢勇 林理彬 +2 位作者 邹萍 何捷 王鹏 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期185-191,共7页
本文通过合理控制真空还原时间和真空还原温度 ,利用真空还原V2 O5的方法制备出具有优良热致相变性能的VO2 薄膜 ;通过研究不同真空还原时间及真空退火温度对VO2 薄膜结构和热致相变过程中光电性能的影响 ,得到最佳真空还原参数 ;制备... 本文通过合理控制真空还原时间和真空还原温度 ,利用真空还原V2 O5的方法制备出具有优良热致相变性能的VO2 薄膜 ;通过研究不同真空还原时间及真空退火温度对VO2 薄膜结构和热致相变过程中光电性能的影响 ,得到最佳真空还原参数 ;制备的薄膜高 /低温电阻变化最大达 3个数量级 ,90 0nm波长光透过率在相变前后改变了 4 0 %左右 ,光学特性相变响应参数较大 ,热致相变性能优良。利用XPS、XRD对不同条件制备薄膜的化学状态和结晶状态进行了研究 ,结果表明较低温度退火有利于V5+ 离子的还原 ,而升高退火温度可改善结晶状态 ,退火时间对VO2 中结晶状况和V离子价态有显著影响。讨论了离子价态和样品结晶状态对VO2 薄膜热相变过程中热滞回线的宽度、相变温度点的影响。 展开更多
关键词 VO2薄膜 热致相变 光电性能 价态 结构
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基于二氧化钒薄膜的太赫兹开关器件 被引量:4
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作者 郭超 罗振飞 +4 位作者 王度 孔维鹏 孙年春 杨存榜 周逊 《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第5期644-646,652,共4页
二氧化钒(VO2)作为一种优质的光电功能材料一直备受人们的关注,在信息存储、光调制器、太阳能电池、光电探测器等方面有着重要应用。采用磁控溅射及原位退火氧化的"两步法"制备了VO2薄膜,并对其进行晶态、形貌表征。设计并搭... 二氧化钒(VO2)作为一种优质的光电功能材料一直备受人们的关注,在信息存储、光调制器、太阳能电池、光电探测器等方面有着重要应用。采用磁控溅射及原位退火氧化的"两步法"制备了VO2薄膜,并对其进行晶态、形貌表征。设计并搭建VO2薄膜热致相变实验系统,研究了VO2薄膜在变温条件下对2.52 THz辐射的开关特性。结果表明,VO2薄膜样品为多晶态,具有明显的太赫兹调制效果,可以实现对2.52 THz波的调制,并可作为太赫兹开关/调制器件的功能材料。 展开更多
关键词 太赫兹 VO2薄膜 开关器件 热致相变
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相变光透射特性具有窗口结构的VO_2薄膜 被引量:3
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作者 卢勇 林理彬 +1 位作者 廖志君 何捷 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期107-109,共3页
利用无机溶胶凝胶法制备出具有优良热致相变光学特性的VO2薄膜,通过改变制备过程中的条件,发现在一定的制备参数下,可得到光透射特性具有窗口形状的热致相变薄膜,该类薄膜相变前后在600~850nm范围出现显著透光度窗口状... 利用无机溶胶凝胶法制备出具有优良热致相变光学特性的VO2薄膜,通过改变制备过程中的条件,发现在一定的制备参数下,可得到光透射特性具有窗口形状的热致相变薄膜,该类薄膜相变前后在600~850nm范围出现显著透光度窗口状变化现象。利用XRD、XPS对相变光学特性具有窗口结构的薄膜和具有典型相变特性的薄膜进行对比分析,结果显示利用无机溶胶-凝胶法得到的薄膜表面没有衬底离子出现,衬底扩散离子主要存在于薄膜和衬底界面之间。通过对引起相变过程中光透射窗口状变化的原因进行讨论,得到薄膜在相变过程中出现透射光谱窗口状的变化是来源于V3+和衬底扩散离子Na+的共同作用。 展开更多
关键词 热致相变 光学性质 光学材料 二氧化钒薄膜
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射频磁控溅射纳米二氧化钒薄膜的电致相变特性 被引量:2
5
作者 梁继然 胡明 +3 位作者 阚强 后顺保 梁秀琴 陈弘达 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第2期160-164,共5页
采用射频磁控溅射方法和热处理工艺制备了二氧化钒(VO2)薄膜,并制作了金属钨/VO2/金属钨三明治结构,通过改变金属钨/VO2/金属钨三明治结构中VO2薄膜与金属钨电极的接触面积,研究了VO2薄膜的电致相变特性.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电... 采用射频磁控溅射方法和热处理工艺制备了二氧化钒(VO2)薄膜,并制作了金属钨/VO2/金属钨三明治结构,通过改变金属钨/VO2/金属钨三明治结构中VO2薄膜与金属钨电极的接触面积,研究了VO2薄膜的电致相变特性.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针和半导体参数测试仪对VO2薄膜的结晶取向、表面形貌、方块电阻和I-V特性进行了测试.实验结果表明,所制备的VO2薄膜为具有热致相变特性的单一组分VO2纳米薄膜,在热激励下,薄膜的方块电阻相变幅度达到2个数量级;在电压的激励下,VO2薄膜与金属钨的接触面积为12μm×12μm时,电流发生跳变的阈值电压为9.4 V,随着接触面积的减小,阈值电压也逐渐降低. 展开更多
关键词 VO2薄膜 电致相变 热致相变 射频磁控溅射
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VO_(2-x)N_y薄膜的主要制备工艺参数与相变温度系数 被引量:5
6
作者 陈金民 黄志良 +1 位作者 刘羽 王升高 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期512-515,共4页
选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,利用高纯氢和高纯氮作为气源,采用微波等离子体增强法,在低温条件下合成了具有优良热致相变特性的氮杂二氧化钒(VO2-xNy)薄膜。通过正交试验设计对制备VO2薄膜过程中的主要影响因素(反应时间、反... 选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,利用高纯氢和高纯氮作为气源,采用微波等离子体增强法,在低温条件下合成了具有优良热致相变特性的氮杂二氧化钒(VO2-xNy)薄膜。通过正交试验设计对制备VO2薄膜过程中的主要影响因素(反应时间、反应压力、反应功率和N2/H2流量比)进行了分析研究。试验结果表明,VO2薄膜的最终的相变温度明显受到反应时间、反应压力、反应功率和N2/H2流量比的影响。其中以反应时间影响作用最为显著。经分析得到使VO2薄膜具有最低相变温度的优化工艺为:反应时间为7 min,反应压力为1.5 kPa,反应功率为100 W,N2/H2流量比为5/20(mL/min)。文中对试验结果进行了简单讨论。 展开更多
关键词 VO2薄膜 热致相变特性 电阻温度系数 VO2-xNy薄膜 微波等离子
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CoMnNiO非晶薄膜热致相变 被引量:2
7
作者 谭辉 陶明德 宋世庚 《功能材料》 EI CAS CSCD 1994年第4期350-353,369,共5页
射频溅射的CoMnNiO非晶薄膜在一定温度下热处理产生晶化,经历一个非晶-微晶-多晶的相变过程。XRD和TEM分析表明CoMnNiO非晶薄膜在300℃开始晶化,600℃晶化完全,生成尖晶石多晶。其相变机制是原子扩散和... 射频溅射的CoMnNiO非晶薄膜在一定温度下热处理产生晶化,经历一个非晶-微晶-多晶的相变过程。XRD和TEM分析表明CoMnNiO非晶薄膜在300℃开始晶化,600℃晶化完全,生成尖晶石多晶。其相变机制是原子扩散和链状组织的规则排列以及有序集团的凝聚合并。 展开更多
关键词 热致相变 微结构 非晶薄膜 CoMnNiO
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利用制备参数的改变调整VO_2薄膜的电阻温度系数 被引量:6
8
作者 卢勇 林理彬 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期181-183,共3页
利用真空还原方法 ,通过合理控制时间和真空退火温度 ,制备出具有优良热致相变特性的VO2 薄膜 ,并对不同真空还原时间、真空退火温度和衬底条件下制备的VO2 薄膜结构和半导体相的电阻温度系数进行了研究。结果表明 ,不同制备参数对所得... 利用真空还原方法 ,通过合理控制时间和真空退火温度 ,制备出具有优良热致相变特性的VO2 薄膜 ,并对不同真空还原时间、真空退火温度和衬底条件下制备的VO2 薄膜结构和半导体相的电阻温度系数进行了研究。结果表明 ,不同制备参数对所得薄膜的结构和价态有显著影响 ,从而对VO2 的电阻温度系数产生较大调整。 展开更多
关键词 热致相变 电阻温度系数 二氧化钒薄膜
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溶液中聚(N-异丙基-2-甲基丙烯酰胺)热相变可逆性的杂合二维相关红外光谱研究 被引量:2
9
作者 王立旭 王德秋 吴玉清 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期2319-2322,共4页
基于聚(N-异丙基-2-甲基丙烯酰胺)(PNiPMA)在升温和降温两个过程中测得的变温红外光谱构筑样本-样本杂合二维相关(Hybrid 2D Correlation)光谱,揭示其在热诱导相变过程中初始组分的恢复程度、相转变温度以及转变速率等物理参数的可逆性.
关键词 PNiPMA 热相变可逆性 FFIR 杂合二维相关光谱
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HMX晶体热致相变对损伤的影响 被引量:1
10
作者 杨昆 吴艳青 黄风雷 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期37-44,共8页
HMX基PBX炸药混合体系中炸药晶体在发生高温熔化和分解反应之前,会率先发生非均匀热膨胀和固相晶型转变,使材料的力学性能和安全性能发生突变。为探究HMX晶体的热致相变对材料内部损伤演化的影响机制,发展了考虑HMX晶体热膨胀和相变等... HMX基PBX炸药混合体系中炸药晶体在发生高温熔化和分解反应之前,会率先发生非均匀热膨胀和固相晶型转变,使材料的力学性能和安全性能发生突变。为探究HMX晶体的热致相变对材料内部损伤演化的影响机制,发展了考虑HMX晶体热膨胀和相变等变形机制的热力耦合晶体本构模型,从力学角度揭示了黏结剂包覆HMX晶体相变对体积变形、应力状态以及裂纹成核演化过程的影响机理,量化分析了升温速率对材料相变和裂纹损伤状态的影响规律。结果表明:随着加载温度升高,HMX晶体的热膨胀和β→δ相变导致体积增大,晶体内部形成拉伸应力状态,同时晶体与黏结剂相互挤压形成的局部压剪作用使晶体内部出现裂纹成核和扩展现象。相变温度附近HMX晶体内部裂纹成核和扩展数量显著增加,晶体内部发生不可逆损伤。外界升温速率对晶体内部裂纹形核扩展与损伤造成显著影响,较高的升温速率会加大晶体损伤程度,增加炸药内潜在热点源及意外点火风险。 展开更多
关键词 HMX单晶 热致相变 热膨胀 裂纹扩展 损伤
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一种光致相变型偶氮苯基柔性光热转换器件的制备及性能
11
作者 苗桂美 陈隆旋 +3 位作者 公丕文 韩吉姝 赵瑞阳 刘福胜 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期47-54,共8页
设计合成了一种具有室温光致固液转换性能的偶氮苯衍生物1-[4-(烯丙氧基)苯基]-2-(对甲苯基)二氮烯(AD-Azo)用于制备太阳热能燃料(STFs),结合其固液转换过程中的相变潜热,较大幅度提高了偶氮苯衍生物的能量存储密度.在光/热诱导下使其... 设计合成了一种具有室温光致固液转换性能的偶氮苯衍生物1-[4-(烯丙氧基)苯基]-2-(对甲苯基)二氮烯(AD-Azo)用于制备太阳热能燃料(STFs),结合其固液转换过程中的相变潜热,较大幅度提高了偶氮苯衍生物的能量存储密度.在光/热诱导下使其与普通商用布料结合,制备了环境友好、即用式柔性太阳热能燃料器件AD-Azo STF.利用织物内分子间超分子作用(氢键),增强了能量存储密度和储能寿命,使其总储能密度高达199.12 J/g,储能半衰期为50 h.该柔性AD-Azo STF器件具有良好的柔韧性、溶剂稳定性和循环使用性,在环境友好型太阳热能燃料中具有良好的应用前景. 展开更多
关键词 太阳热能燃料 偶氮苯衍生物 光热转化 光致相变 柔性器件
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壳聚糖/β-甘油磷酸钠混合比对溶液-凝胶转变性能的影响
12
作者 姚勇波 周志军 +3 位作者 申屠宝卿 张军峰 徐华伟 祝玲玲 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期2527-2533,共7页
将质量分数为2%壳聚糖溶液(以浓度为0.1 mol/L的稀盐酸为溶剂)与质量分数为24%的β-甘油磷酸钠(β-GP)水溶液按不同体积比混合后配成壳聚糖/β-GP溶液,再制成壳聚糖/β-GP膜。通过动态流变实验测定壳聚糖/β-GP溶液的储能模量与损耗模量... 将质量分数为2%壳聚糖溶液(以浓度为0.1 mol/L的稀盐酸为溶剂)与质量分数为24%的β-甘油磷酸钠(β-GP)水溶液按不同体积比混合后配成壳聚糖/β-GP溶液,再制成壳聚糖/β-GP膜。通过动态流变实验测定壳聚糖/β-GP溶液的储能模量与损耗模量,用SEM、XRD表征壳聚糖/β-GP膜的结构。结果发现,4℃时,壳聚糖/β-GP溶液保持稳定的溶液状态;25℃下壳聚糖/β-GP溶液能保持溶液状态700 s,体积比为6∶4的壳聚糖/β-GP溶液(CP64)开始形成弱凝胶;温度>30℃后,壳聚糖/β-GP溶液迅速发生溶液-凝胶的转变,β-GP溶液加入量的增加不仅能提高溶液-凝胶转变速率,还能使壳聚糖膜的结构更疏松。壳聚糖溶液/β-GP溶液体积比变化能影响溶液-凝胶转变过程,调控壳聚糖/β-GP膜的结构。 展开更多
关键词 壳聚糖 β-甘油磷酸钠 流变 热致溶液-凝胶转变 相互作用 医药原料
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基于反铁电PLZST厚膜相变脉冲电流的温度传感方法 被引量:1
13
作者 夏文新 《大学物理实验》 2014年第3期4-6,共3页
采用LTCC低温共烧工艺制备了(Pb0.97La0.0 3)(Zr0.75Sn0.25-xTix)O3(x=0.10,0.105,0.11)系列组分反铁电陶瓷厚膜功能材料。实现了对预定温度的灵敏热电换能响应,温度诱导相变电流密度达10-5A·cm-2量级。采用电流/电压转换、自动增... 采用LTCC低温共烧工艺制备了(Pb0.97La0.0 3)(Zr0.75Sn0.25-xTix)O3(x=0.10,0.105,0.11)系列组分反铁电陶瓷厚膜功能材料。实现了对预定温度的灵敏热电换能响应,温度诱导相变电流密度达10-5A·cm-2量级。采用电流/电压转换、自动增益控制和负载增强模块构成的信号处理电路系统,产生面向后级控制应用的TTL脉冲触发信号(4.8±0.2 V),实现基于PLZST厚膜相变电流的温度传感方法与系统,为新型功能材料温度传感控制提供了一种新的技术途径。 展开更多
关键词 反铁电厚膜 热致相变 脉冲电流 温度传感
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Thermal expansion in lead zirconate titanate
14
作者 Yujun Feng Zhuo Xu Xi Yao 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2002年第16期1351-1355,共5页
The volume anomalies with temperature variations in tin-modified lead zirconate titanate ceramics are investigated. Experimental results show that the volume changes are related to the phase transitions induced with t... The volume anomalies with temperature variations in tin-modified lead zirconate titanate ceramics are investigated. Experimental results show that the volume changes are related to the phase transitions induced with temperature. The magnitude and orientation of crystal volume changes are dependent on the particular phase transition. When antiferroelectrics is transformed to ferroelectrics or paraelectrics the volume expands. Oppositely when ferroelectrics is transformed to antiferroelectrics or paraelectrics the volume contracts. In the transition of antiferroelectric orthorhombic structure to tetragonal structure or ferroelectric low-temperature rhombohedral structure to high-temperature rhombohedral structure, there are also revealed apparent anomalies in the curves of thermal expansion. Among them, the volume strain caused by the transition between antiferroelectrics and ferroelectrics is the biggest in magnitude, and the linear expansion dL/L0 and the expansion coefficient (dL/L0)/dT can reach 2. 展开更多
关键词 LEAD ZIRCONATE TITANATE thermal EXPANSION PHASE transi-tions induced by temperature.
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超细VO_2粉末的制备及其可逆相变的原位表征 被引量:2
15
作者 张少鸿 付娟 +2 位作者 苏秋成 付春红 李新军 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期738-742,共5页
采用氧化还原法,在N2保护气氛中,通过程序控温,用草酸还原V2O5制备VO2超细粉末,重点考察原料配比对还原产物物相纯度的影响。采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)及X射线能量色散谱仪(EDS)分析产物的相组成和微观形貌,通... 采用氧化还原法,在N2保护气氛中,通过程序控温,用草酸还原V2O5制备VO2超细粉末,重点考察原料配比对还原产物物相纯度的影响。采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)及X射线能量色散谱仪(EDS)分析产物的相组成和微观形貌,通过同步热分析(STA)和原位XRD研究VO2粉体的热致可逆相变特性。结果表明:V2O5和草酸以1:1.2~1.4的摩尔比混合,可制得较纯的单斜晶系VO2超细粉末,颗粒呈近球形,平均晶粒度约为50 nm。低温为M相(单斜晶系,P21/c),升温时可转化为R相(正方晶系,P42/mnm),升温相变点为68.1℃,降温相变点为60.2℃,滞后7.9℃。具有良好的热致可逆循环相变稳定性,M/R相多次循环转换的DSC热滞回线呈现很好的重现性。 展开更多
关键词 二氧化钒 氧化还原 热致相变 X射线衍射 同步热分析 热滞回线
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V_2O_5薄膜在连续激光防护中的应用研究 被引量:6
16
作者 骆永全 王伟平 罗飞 《应用激光》 CSCD 北大核心 2005年第6期381-383,共3页
用磁控离子溅射法在玻片上沉积了V2O5薄膜,并进行了X射线衍射和常温下光谱透过率测量。分别用1064nm和1319nm连续激光辐照样品,实时测量了V2O5薄膜的温度变化,以及由于温度变化引起相变后对激光透过率的变化。结果表明:在平均入射功率为... 用磁控离子溅射法在玻片上沉积了V2O5薄膜,并进行了X射线衍射和常温下光谱透过率测量。分别用1064nm和1319nm连续激光辐照样品,实时测量了V2O5薄膜的温度变化,以及由于温度变化引起相变后对激光透过率的变化。结果表明:在平均入射功率为8.1W、光斑直径2mm时,V2O5薄膜对1064nm激光的透过率由相变前的55%变为相变后的25.5%,响应时间约24ms;在平均入射功率为8.9W、光斑直径2mm时,其对1319nm激光的透过率由相变前的63%变为相变后的27.9%,响应时间约40ms。对实验结果进行了分析并介绍了V2O5薄膜的相变原理及其在激光防护上的应用。 展开更多
关键词 激光防护 光限幅 V2O5薄膜 热致相变
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