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Compact 2×2 parabolic multimode interference thermo–optic switches based on fluorinated photopolymer
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作者 王继厚 陈长鸣 +7 位作者 胡珂玮 程儒 王春雪 衣云骥 孙小强 王菲 李智勇 张大明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第4期216-223,共8页
In this work, a dual-side parabolic structural(DSPS) multimode interference(MMI) thermo–optic(TO) waveguide switch is designed and fabricated by using novel low-loss fluorinated photopolymer materials. Comparing with... In this work, a dual-side parabolic structural(DSPS) multimode interference(MMI) thermo–optic(TO) waveguide switch is designed and fabricated by using novel low-loss fluorinated photopolymer materials. Comparing with the traditional dual-side linear structural(DSLS) MMI device, the effective length of the MMI coupling region proposed can be effectively reduced by 40%. The thermal stability of the waveguide material is analyzed, and the optical characteristics of the switching chip are simulated. The actual performances of the entire MMI switch are measured with an insertion loss of7 dB, switching power of 15 m W and an extinction ratio of 28 dB. In contrast to the traditional MMI optical switch, the new type of parabolic structural MMI TO waveguide switch exhibits lower power consumption and larger extinction ratio. The compact fluorinated polymer MMI TO switches are suitable well for realizing miniaturization, high-properties, and lower cost of photonic integrated circuits. 展开更多
关键词 FLUORINATED PHOTOPOLYMER materials PARABOLIC structural MMI thermooptic waveguide switches
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二氧化硅平面波导集成光开关器件研究
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作者 郭松 袁硕 +2 位作者 陈益姝 玄洪文 冯吉军 《光学仪器》 2024年第2期69-76,共8页
基于二氧化硅平面光波导平台,设计并制作了一种多模干涉马赫曾德型的低功耗热光开关。该器件结合了多模干涉耦合器的稳定性及二氧化硅波导和热光开关的低损耗等优势。经仿真,对器件参数进行了优化,并讨论了金属层与波导的间距对传输光... 基于二氧化硅平面光波导平台,设计并制作了一种多模干涉马赫曾德型的低功耗热光开关。该器件结合了多模干涉耦合器的稳定性及二氧化硅波导和热光开关的低损耗等优势。经仿真,对器件参数进行了优化,并讨论了金属层与波导的间距对传输光强及功耗的影响。测试结果表明,该器件的结构稳定,偏振依赖小,插入损耗低于2 dB,能实现开关的转换,功耗为450 mW左右,开关响应时间为103µs和113µs,在1564 nm工作波长下消光比超过16 dB,尺寸为2.30 cm×0.25 mm。该器件不仅与互补金属氧化物半导体工艺相兼容,同时与光纤之间也有较好的兼容性。二氧化硅波导光开关器件具有成本低,产量大,性能稳定的优势,能给光通信及光计算的未来发展提供可靠的基础。 展开更多
关键词 平面光波导 多模干涉器 热光开关 光通信 光计算
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基于MZI结构的二氧化硅波导模式选择开关
3
作者 岳建波 孙小强 +5 位作者 王曼卓 孙朝阳 姚振涛 张越 王菲 张大明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期181-188,共8页
设计并且制备了一种基于马赫-曾德尔干涉仪结构的二氧化硅波导模式选择开关。该器件由不对称定向耦合器及金属电极组成。通过金属电极产生的热场改变单模波导中的模式相位,实现了单模波导中E00模式向多模波导中E10模式的转换。器件采用... 设计并且制备了一种基于马赫-曾德尔干涉仪结构的二氧化硅波导模式选择开关。该器件由不对称定向耦合器及金属电极组成。通过金属电极产生的热场改变单模波导中的模式相位,实现了单模波导中E00模式向多模波导中E10模式的转换。器件采用标准CMOS工艺制备,在调制臂两侧引入空气槽,提高热场调制效率,降低开关功耗。实验结果表明,当输入E00模式时,输出端的串扰小于−17.13 dB,消光比大于16.7 dB;当输入E10模式时,输出端的串扰小于−19.84 dB,消光比大于22.5 dB。模式开关的上升时间和下降时间分别为0.7 ms和1 ms。该模式选择开关在模分复用系统中具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 模式开关 二氧化硅波导 光波导器件 MZI 热光开关
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1×2全内反射型有机聚合物热光开关的研制 被引量:4
4
作者 杨建义 江晓清 +2 位作者 杨方辉 王明华 Ray T Chen 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期741-745,共5页
给出了完整的全内反射型有机聚合物热光开关的设计方案 ,并研制成功了 1× 2光开关 .所研制的X结结构全内反射光开关 ,在交叉态 ,具有约 2 5dB的消光比 ;在全反射状态下 ,消光比达 2 2dB ,相应的驱动功率约为 15 8mW(驱动电压 3 2V ... 给出了完整的全内反射型有机聚合物热光开关的设计方案 ,并研制成功了 1× 2光开关 .所研制的X结结构全内反射光开关 ,在交叉态 ,具有约 2 5dB的消光比 ;在全反射状态下 ,消光比达 2 2dB ,相应的驱动功率约为 15 8mW(驱动电压 3 2V ,相应的驱动电流 49 4mA) . 展开更多
关键词 热光开关 全内反射 X线 有机聚合物 光波导器件
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有机聚合物热光开关的研究进展 被引量:7
5
作者 杨方辉 江晓清 +1 位作者 杨建义 王明华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第9期38-41,48,共5页
对热光开关的研究现状进行了综述,并提出一种推挽式全内反射型新结构。
关键词 有机聚合物 热光开关 集成光学
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一种改进的2×2 SOI Mach-Zehnder热光开关(英文) 被引量:6
6
作者 杨笛 余金中 陈少武 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期931-934,共4页
本文设计并制作了基于强限制多模干涉耦合器的2×2SOI马赫-曾德热光开关.这种光开关采用了深刻蚀结构的多模干涉耦合器和输入/输出波导,较大地提高了干涉耦合器的性能并减少了连接耦合损耗.同时,在调制臂区域采用浅刻蚀结构,保持其... 本文设计并制作了基于强限制多模干涉耦合器的2×2SOI马赫-曾德热光开关.这种光开关采用了深刻蚀结构的多模干涉耦合器和输入/输出波导,较大地提高了干涉耦合器的性能并减少了连接耦合损耗.同时,在调制臂区域采用浅刻蚀结构,保持其单模调制状态.深刻蚀多模干涉耦合器具有优越的特性,在实验中测得不均衡度只有0.03dB,插入损耗-0.6dB.基于这种耦合器的新型热光开关,其插入损耗为-6.8dB,其中包括光纤-波导耦合损耗-4.3dB,开关时间为6.8μs. 展开更多
关键词 热光开关 多模干涉耦合器 SOI
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低功耗聚合物Mach-Zehnder热光开关 被引量:16
7
作者 王微 孙小强 +4 位作者 王希斌 邓玲 高磊 王菲 张大明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期610-613,共4页
采用传统的半导体工艺制作了聚合物Mach-Zehnder型热光开关.利用扫描电镜观测波导形貌,通过红外摄像机观测波导的近场输出光斑,在通信波段1550nm波长下测试了器件的输出光谱.在电极上施加直流信号,测得热光开关的消光比为-15dB,驱动功率... 采用传统的半导体工艺制作了聚合物Mach-Zehnder型热光开关.利用扫描电镜观测波导形貌,通过红外摄像机观测波导的近场输出光斑,在通信波段1550nm波长下测试了器件的输出光谱.在电极上施加直流信号,测得热光开关的消光比为-15dB,驱动功率为16mW.引入直流偏置网络,获得了器件的开关特性曲线,经测量开关上升时间为1.2ms,下降时间为0.8ms. 展开更多
关键词 光学器件 热光开关 Mach—Zehnder干涉仪 有机聚合物
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有机/无机热光开关制备及其测试系统研制 被引量:3
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作者 罗倩倩 郑传涛 +3 位作者 黄小亮 王希斌 张大明 王一丁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期33-38,共6页
结合有机聚合物材料和无机SiO2材料,设计一种1×2多模干涉—马赫曾德尔干涉仪热光开关,优化器件参数,并对其性能进行模拟.利用化学气相沉积、光刻等工艺制备热光开关,并对其波导形貌进行表征.为了测试器件性能,采用ARM7处理器和InG... 结合有机聚合物材料和无机SiO2材料,设计一种1×2多模干涉—马赫曾德尔干涉仪热光开关,优化器件参数,并对其性能进行模拟.利用化学气相沉积、光刻等工艺制备热光开关,并对其波导形貌进行表征.为了测试器件性能,采用ARM7处理器和InGaAs光电探测器,设计并研制了一种光开关性能测试系统.该系统主要由低纹波线性供电电源、光电探测器、前置放大器、主放大器、信号调理器、模数转换器、主控制器、显示器等构成.采用商用光功率计对该测试系统进行标定,其零点漂移小于0.5dBm.在光开关电极上施加不同的直流驱动电压,作为对比,利用自主研制的光功率计和商用光功率计分别测试光开关某端口的输出光功率.实验结果表明,两种情况下测得曲线的变化趋势一致,均在驱动电压为10V时,输出光功率达到最小值.该测试系统具有良好的性能,可满足实际测试需要. 展开更多
关键词 集成光学 光开关 聚合物 热光效应 测试系统 功率计
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基于热光效应的1×4聚合物数字光开关(英文) 被引量:1
9
作者 唐奕 张昊 +2 位作者 杨建义 王明华 江晓清 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期692-695,共4页
提出了基于热光型聚合物的集成有S弯曲光衰减器的1×4Y分叉数字光开关.利用开关与光纤阵列耦合用的S弯曲,将其设计成可变光衰减器,这使得器件更紧凑,并获得低串扰和大分叉角.在小于200mW的驱动功耗下,器件串扰可低至-35dB.
关键词 S弯曲 可变光衰减器 热光效应 数字光开关 集成光学
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一种可以提高热光开关阵列可靠性的驱动电路的设计(英文) 被引量:1
10
作者 李运涛 陈少武 余金中 《电子器件》 CAS 2005年第1期158-160,共3页
分析了加热器对热光开关阵列可靠性的影响并在此基础上提出了一种改进的驱动电路,使4×4 简化树形结构的光开关的阵列的可靠性从78.87%提高到97.04%。模拟及实验结果表明该控制和驱动电路可以为热光开关阵列提供适当的驱动电流。
关键词 驱动电路 热光开关阵列 可靠性
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平均功率普克尔盒热效应数值模拟及应力双折射补偿 被引量:2
11
作者 张君 张雄军 +3 位作者 吴登生 田晓琳 李明中 郑奎兴 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第9期1662-1667,共6页
高能重复频率运转条件下,用作激光隔离、多程放大控制的关键单元普克尔盒遇到了通光口径限制与热效应的双重挑战。在分析电光晶体由于光吸收引起的温度场应变场的基础上,给出电光开关应用于平均功率激光系统中时,透射激光的波前畸变及... 高能重复频率运转条件下,用作激光隔离、多程放大控制的关键单元普克尔盒遇到了通光口径限制与热效应的双重挑战。在分析电光晶体由于光吸收引起的温度场应变场的基础上,给出电光开关应用于平均功率激光系统中时,透射激光的波前畸变及退偏损耗。当入射激光为50 J\10 Hz,光束口径为60 mm×60 mm,填充因子为0.8时,波前畸变峰谷值为0.22λ,最大退偏损耗为3.7%。最后针对纵向电光效应等离子体电光开关,提出了热应力双折射补偿的方案。结果显示:补偿后的电光开关消除了热引起的退偏损耗,同时驱动电压为传统纵向电光效应半波电压的一半,降低了输出高电压脉冲电光开关驱动电源的设计难度。 展开更多
关键词 电光开关 热应力双折射 平均功率 应变 退偏损耗
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有机聚合物热光器件热场的解析模型 被引量:4
12
作者 余辉 江晓清 +2 位作者 杨建义 李锡华 王明华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期995-999,共5页
根据傅里叶导热定律 ,采用分离变量的方法 ,导出有机聚合物热光器件热场分布的解析表达式 ,该解析计算结果同采用 FD- BPM法计算机模拟结果进行比较 ,平均相对误差不超过 4 % ,并运用光线法分析全内反射型热光开关的光束在热场中的传输... 根据傅里叶导热定律 ,采用分离变量的方法 ,导出有机聚合物热光器件热场分布的解析表达式 ,该解析计算结果同采用 FD- BPM法计算机模拟结果进行比较 ,平均相对误差不超过 4 % ,并运用光线法分析全内反射型热光开关的光束在热场中的传输规律 。 展开更多
关键词 热场 解析表达式 热光效应 全内反射型光开关 集成光学
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8×8重排无阻塞型SOI热光波导开关阵列 被引量:1
13
作者 陈媛媛 余金中 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期46-49,共4页
设计并制作了一种重排无阻塞型的8×8SOI热光波导开关阵列。开关单元采用了MMI—MZI结构的2×2光开关。整个器件的开关时间约为2μs。器件中开关单元功耗小于240mw。消光比在17-22dB范围内变化。功耗和开关速度都明显优于SiO2... 设计并制作了一种重排无阻塞型的8×8SOI热光波导开关阵列。开关单元采用了MMI—MZI结构的2×2光开关。整个器件的开关时间约为2μs。器件中开关单元功耗小于240mw。消光比在17-22dB范围内变化。功耗和开关速度都明显优于SiO2基和聚合物基的开关阵列。 展开更多
关键词 开关阵列 热光 SOI
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有机聚合物热光效应光电器件研究进展 被引量:2
14
作者 惠迎雪 牛小玲 《西安文理学院学报(自然科学版)》 2005年第3期67-71,共5页
综述了基于有机聚合物热光效应的各种光电器件的研究进展,重点介绍了聚合物热光开关和聚合物热光衰减器的发展状况、技术特点和发展趋势,并提出了一种新的利用有机聚合物热光效应研制非制冷热成像器件的热探测机制.
关键词 有机聚合物 热光效应 热光开关 光可变衰减器 非制冷热成像
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热光开关及其几种低串扰集成单元的设计
15
作者 方来付 林绵锋 +3 位作者 王建全 张杰 纪越峰 顾畹仪 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期131-135,共5页
光开关是光网络中的关键器件 ,也是限制光网络发展的重要障碍。文中在概述光开关现状的基础上 ,研究了 1× 2 Y分支器型和 2× 2 MZI型两种热光开关基本单元的原理和结构 ,提出了几种新型的集成光开关单元的结构 ,这些结构的串... 光开关是光网络中的关键器件 ,也是限制光网络发展的重要障碍。文中在概述光开关现状的基础上 ,研究了 1× 2 Y分支器型和 2× 2 MZI型两种热光开关基本单元的原理和结构 ,提出了几种新型的集成光开关单元的结构 ,这些结构的串扰可以和机械光开关相比拟 ,得到 60 d B左右的水平 ,这些结构在集成光开关中的应用将对集成开关的发展产生建设性的影响 ,并在此基础上分析了 N× N开关矩阵 。 展开更多
关键词 热光开光 光网络 集成电路 设计 串扰 集成单元
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SOI热光开关调制区结构与速度和功耗关系的有限元法分析
16
作者 刘敬伟 王小龙 +1 位作者 陈少武 余金中 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1324-1330,共7页
利用有限元法分析了调制区内二维温度场的静态和动态分布 .结果表明 ,上包层 Si O2 厚度的减小 ,有利于开关速度的提高和功耗的减小 .增加埋层 Si O2 的厚度或引入绝缘槽 ,能有效降低器件功耗 ,但开关时间随之增加 .电极的尺寸对开关性... 利用有限元法分析了调制区内二维温度场的静态和动态分布 .结果表明 ,上包层 Si O2 厚度的减小 ,有利于开关速度的提高和功耗的减小 .增加埋层 Si O2 的厚度或引入绝缘槽 ,能有效降低器件功耗 ,但开关时间随之增加 .电极的尺寸对开关性能影响较小 .如果采用全体硅材料制作光开关 ,开关速度能达到 5 μs,但功耗将增至 0 .92 W. 展开更多
关键词 有限元法 SOI热光开关 开关速度 功耗
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基于Ag(TCNQ)热透镜效应的全光型开关
17
作者 陈国荣 莫晓亮 +8 位作者 陈殿勇 彭建军 徐华华 华中一 平贺隆 守谷哲郎 田中教雄 上野一郎 田公二 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第2期85-87,共3页
Ag(TCNQ)是一种电荷转移型金属有机络合物。用真空蒸发与真空热压相结合的方法使它分散到PMMA ,PHPMA ,PC等高分子树脂中 ,制成了不含任何有机溶剂的透明光学薄膜 ,并证实了它具有光热透镜效应。
关键词 Ag(TCNQ) 全光开关器件 光热透镜 光通讯
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基于VO_(2)热相变的光子晶体波导开关
18
作者 刘海 邵齐元 +3 位作者 张砚曾 赵嘉 陈聪 白冰冰 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期267-271,293,共6页
基于相变材料VO_(2),设计了一款光子晶体波导结构的光开关。通过在硅波导中填充SU-8包层对温度灵敏度做补偿,降低了波导开关的温度敏感特性。采用热驱动开关实现了1591 nm波长处约9.5 dB的消光比。同时提出一种新型级联波导来优化开关结... 基于相变材料VO_(2),设计了一款光子晶体波导结构的光开关。通过在硅波导中填充SU-8包层对温度灵敏度做补偿,降低了波导开关的温度敏感特性。采用热驱动开关实现了1591 nm波长处约9.5 dB的消光比。同时提出一种新型级联波导来优化开关结构,实现了27.46 dB的消光比。 展开更多
关键词 光学开关设备 光子晶体 热光效应 波导
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有机/无机复合功能材料倒脊型波导热光开关 被引量:5
19
作者 王辉 张峰 +4 位作者 刘天际 王菲 孙小强 陈长鸣 张大明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1303-1306,共4页
利用溶胶-凝胶技术自主合成了一种具有优良光学特性和高热稳定性的有机/无机复合芯层材料.这种功能材料的分子中含有有机柔性侧链,可形成环氧交联.与无机SiO2-TiO2体系相比,具有较高的热光系数(量级为10-4/K),以及更好的成膜性和可加工... 利用溶胶-凝胶技术自主合成了一种具有优良光学特性和高热稳定性的有机/无机复合芯层材料.这种功能材料的分子中含有有机柔性侧链,可形成环氧交联.与无机SiO2-TiO2体系相比,具有较高的热光系数(量级为10-4/K),以及更好的成膜性和可加工性.通过与实验室自行配制的P(MMA-GMA)包层材料相匹配,设计制备了基于这种有机/无机复合功能材料的倒脊型波导马赫-曾德尔型热光开关.器件的波导与热电极性能良好.插入损耗为10dB,驱动功率15mW,开关时间小于1ms,消光比15dB. 展开更多
关键词 有机/无机复合功能材料 聚合物 倒脊型波导 热光开关
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一种基于聚合物材料的延迟线阵列与热光开关集成器件的设计 被引量:4
20
作者 李然 王雷 +8 位作者 陈曦 陈长鸣 衣云骥 段宁 徐帅 刘楠 孙雨 王菲(指导) 张大明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期46-50,共5页
设计了一种基于聚合物材料的延迟线阵列与热光开关的集成器件.利用Rsoft软件设计并模拟了多模干涉热光开关的性能,可实现输出光场强度随电极加热温度变化.设计了螺旋结构的延迟线阵列,利用BPM软件对螺旋结构波导进行数值模拟,综合考虑... 设计了一种基于聚合物材料的延迟线阵列与热光开关的集成器件.利用Rsoft软件设计并模拟了多模干涉热光开关的性能,可实现输出光场强度随电极加热温度变化.设计了螺旋结构的延迟线阵列,利用BPM软件对螺旋结构波导进行数值模拟,综合考虑器件尺寸和损耗参量设计出螺旋结构的弯曲半径.将延迟线阵列结构与热光开关进行集成,能够实现热光控制的聚合物延迟线阵列,该器件可实现的最大延迟时间为399.4ps,延迟间隔为9.2ps.以SiO2为下包层,SU-8紫外固化光刻胶为波导芯层,聚甲基丙烯酸甲脂为上包层,采用旋涂、光刻、湿法腐蚀等工艺制备了1×4延迟线阵列与MMI热光开关的集成器件,测试得到了延迟线阵列的近红外输出光斑,插入损耗为15~19dB. 展开更多
关键词 相控阵天线 延迟线阵列 热光开关 聚合物 集成器件 热光效应 螺旋结构
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