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硅一金属温差电堆结构及性质研究
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作者 卢建国 熊斌 林成鲁 《传感技术学报》 CAS CSCD 1993年第1期15-18,共4页
本文研究的温差电堆的单元对为多晶硅-金属(Au或Al)结构,其中多晶硅经连续波A_r^+激光再结晶处理后,电阻值降低,温差电堆器件的塞贝克系数和响应率得到提高.所制温差电堆最大集成达76对.
关键词 温差电堆 硅-金属 结构 性质
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